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拓荊科技 SACVD 也是國內唯一一家產業化生產該設備的廠商，而北方華創 CVD 產 品除 PECVD 外主要為 LPCVD、APCVD。ALD 產品方面，拓荊科技與北方華創產品應用工藝有 所差異（拓荊科技ALD應用于SADP工藝、STI表面薄膜；北方華創ALD應用于HKMG工藝）。由此可見，拓荊科技與北方華創尚不存在直接競爭。

Top 5 拓荊科技 拓荊科技聚焦于半導體薄膜沉積設備，于2022年4月上市，2022年半導體裝備相關營收16.9億元，同比增長122%。 Top 6 華海清科 華海清科主營化學機械拋光設備，適用于晶圓制造及先進封裝的關鍵制程，于2022年6月上市，2022年半導體裝備相關營收16.5億元，同比增長105%。

從股權結構來看，中科共芯的執行事務合伙人為廣州中科齊芯半導體科技有限責任公司，持股0.0555%；拓荊科技、中科飛測全資子公司珠海中科飛測科技有限公司、微導納米均持股27.7624%，盛美上海則持股16.6574%。

最為亮眼的拓荊科技業績預告顯示，預計公司2022年年度實現歸屬于母公司所有者的凈利潤與上年同期相比增長381.85%至484.06%。

Top 4 拓荊科技拓荊科技聚焦于半導體薄膜沉積設備，主要產品包括PECVD、ALD和SACVD設備，Q3'23半導體裝備相關營收7.0億元，同比增長49.2%。Top 5 華海清科華海清科主營化學機械拋光設備，適用于晶圓制造及先進封裝的關鍵制程，Q3'23半導體裝備相關營收6.1億元，同比增長45.6%。

目前公司正加速平臺化布局，現已組建團隊開發LPCVD設備和EPI設備，同時通過外延式發展方式持有拓荊科技、睿勵儀器、理想萬里暉、山東天岳、德龍激光等公司股權，與德國DAS公司戰略合作以開拓半導體行業尾氣處理設備領域。公司技術積累深厚，正逐步打造成為國際一流的平臺型設備企業。

Top 9 拓荊科技聚焦于半導體薄膜沉積設備，2021年營收7.6億元，同比增長74%。Top 10 至純科技主營業務包括高純工藝集成系統、半導體濕制程設備、光傳感及光器件等，2021年半導體設備業務營收7.0億元，同比增長222%。注：(1)本排名包含集成電路制造、封測及LED等功率器件半導體設備商；(2)本次統計數據中未納入非申報上市的企業。

沈陽拓荊拓荊科技股份有限公司成立于2010年4月，是國家高新技術企業，主要從事高端半導體專用設備的研發、生產、銷售與技術服務。

薄膜沉積設備方面，中國的國產化相對還較低，北方華創CVD、PVD等相關設備已具備28nm工藝水平，拓荊科技CVD和ALD相關設備已成功應用于14nm及以上制程集成電路制造產線，和更先進制程的產品驗證測試。

其他設備方面，北方華創、中微、盛美、拓荊、華海清科、芯源微、萬業、精測等國內半導體設備廠商的產品滿足成熟工藝的標準，產品管線覆蓋除光刻機外的所有領域，產品性能得到持續驗證，半導體設備國產化率不斷提升。 ③ 成本/工藝：隨著先進制程不斷演進，制造工藝的研發和生產成本逐代上漲，高漲的技術難度和成本高筑進入壁壘。

國內設備廠商進行差異化布局，在PVD領域，北方華創是國內第一大龍頭；在PECVD和SACVD領域，拓荊率先實現產業化應用；在ALD領域，由于ALD設備制程和工藝進步帶來的新興市場增量，布局玩家較多，包括拓荊科技、北方華創、微導納米等；在電鍍領域，盛美設備實現量產，同時LPCVD設備穩定量產，也在布局其他CVD設備的研發；在MOCVD領域，中微公司10年前便開始布局，在2018下半年，便實現在全球GaN