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3:極板區(qū)根據(jù)被處理氣體的流量,極板間的電壓分12KV、16KV至42KV,極板間加以足夠高的電壓,在引風的作用下,極區(qū)由于負壓的作用,按照法拉第暗區(qū)理論、光致電離理論、自由離理論,在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現(xiàn)低溫等離子體。根據(jù)三類的功能區(qū),集中的目的是實現(xiàn)低溫等離子體,由于理論和實際使用條件上的區(qū)別,單一的方法獲得低溫等離子體,從功率上,外部條件上都存在差距。




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