光氧等離子一體機，分為等離子和紫外線，惡臭氣體先經等離子，再經過UV紫外線，兩級凈化后達標排出。

等離子技術，是利用高壓的電場，使空氣中的O2電離產生O3，其臭氧產生效率要比紫外燈管高很多。但等離子管幾乎不發射出紫外線。缺少了紫外線的催化作用，在單純采用等離子工藝的廢氣處理裝置中廢氣的反應變得緩慢困難，同樣制約了設備的處理效能。UV是利用特殊的低壓紫外燈管能同時發射出185nm紫外線波段和254nm紫外線波段的雙光譜特性。燈管發射出的185nm紫外線，能觸發空氣中的O2，轉化為O3。臭氧具有很強的氧化能力，其與廢氣中的碳氫化合物如苯類、烴類、醇類、脂類等充分混合接觸后，在燈管發射出的254nm紫外線的照射催化條件下，能將這些有害污染物，直接氧化分解為水和二氧化碳。由此可見，紫外燈管發射出的185nm紫外線，起到了提供氧化反應物的作用；而燈管發射出的254nm紫外線，起到了提供光解反應順利進行的反應條件的作用。但紫外燈管的臭氧產生能力較低，如現在使用普遍的150W U形臭氧紫外線燈管，在氧氣充足的條件下，每小時的臭氧產生量約為900mg左右，即其單位功率每小時的臭氧產生量僅為6mg/w。而臭氧作反應中的一種主要的反應物質，其產生量的多少，直接影響著處理效果的好壞。