而硅外延設(shè)備在感應(yīng)加熱高溫控制技術(shù)、氣流場、溫度場模擬仿真技術(shù)等方面取得了重大的突破,達(dá)成了優(yōu)秀的外延工藝結(jié)果,獲得多家國內(nèi)主流生產(chǎn)線批量采購。面向LED領(lǐng)域介質(zhì)膜沉積的PECVD設(shè)備,憑借優(yōu)秀的工藝性能和產(chǎn)能優(yōu)勢,已成為LED客戶擴(kuò)產(chǎn)優(yōu)選設(shè)備。中微公司中微公司在MOCVD領(lǐng)域有非常深厚的技術(shù)積累。
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半導(dǎo)體材料與工藝設(shè)備 ??? 3年前