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3)驅動電極：MZM的長度通常為幾個mm，根據微波傳輸線理論，當器件的長度大于工作波長的十分之一時，集總電極不再適用，而需要采用行波電極。MZM的行波電極通常采用共面波導結構，即把信號電極，其中的一個地電極與PN結相連。影響行波MZM的帶寬主要因素由：①微波傳輸損耗；②微波-光速匹配條件；③阻抗匹配條件。

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