但是,對於包含 DOE 或超穎透鏡的系統(tǒng)進行模擬和設(shè)計總是很棘手的。沒有通用的方法可以處理所有情況。設(shè)計人員需要根據(jù)具體情況決定其系統(tǒng)的策略。許多設(shè)計過程需要兩種不同的光學(xué)理論/算法來分別處理光束在自由空間和微結(jié)構(gòu)中的傳播,而其他一些過程僅使用純光線追跡來達到目標。由於模擬技術(shù)發(fā)展迅速,因此本文可能沒有涵蓋所有可用方法。
相反,光柵的表面是由周期性的微結(jié)構(gòu)組成的。為了對SRG進行建模,需要採用類似傅里葉模態(tài)法(也叫RCWA)的算法。本文將介紹VHG的工具。關(guān)於SRG的工具,請參見知識庫文章Simulating diffraction efficiency of surface-relief grating using the RCWA method。