光柵結(jié)構(gòu)仿真的案例
光 · 學堂 | 基于VirtualLab Fusion的微結(jié)構(gòu)仿真設(shè)計與加工技術(shù)（光柵、超表面、蛾眼結(jié)構(gòu)的仿真與加工技術(shù)）2026/5/19-5/20
授課時間
2026/5/19（二）-5/20（三）
AM 9:00-PM 16:00
授課地點
上海市嘉定區(qū)南翔銀翔路819號中暨大廈18樓1805室
課程講師
訊技光電工程團隊及資深顧問
課程費用
4800RMB/1人次
(課程包含課程材料費、開票稅金、午餐費)
課程簡介
微結(jié)構(gòu)元件作為現(xiàn)代光學系統(tǒng)的核心組成部分，應用廣泛，其設(shè)計精度與加工質(zhì)量直接影響器件性能。本課程借助光之數(shù)字模型平臺VirtualLab Fusion，結(jié)合多種仿真算法，開展各類微結(jié)構(gòu)的仿真設(shè)計與性能優(yōu)化教學。
課程涵蓋衍射光學元件、光柵、超表面等多種微結(jié)構(gòu)類型，包括蛾眼減反射表面、偏振無關(guān)光柵、超構(gòu)透鏡等，涉及結(jié)構(gòu)建模、參數(shù)優(yōu)化、性能驗證等核心環(huán)節(jié)，無需深厚軟件基礎(chǔ)即可參與學習。
本課程講解VirtualLab Fusion在微結(jié)構(gòu)仿真中的應用方法，為微結(jié)構(gòu)加工提供可靠的仿真支撐與理論依據(jù)。加工方面主要介紹微納加工工藝選型、加工參數(shù)把控及質(zhì)量檢測等內(nèi)容，呈現(xiàn)微結(jié)構(gòu)從仿真設(shè)計到實際加工的完整技術(shù)思路。
展開 面向光柵薄膜光學性能探究的Rsoft建模與仿真
在本案中由于是2D仿真，所以Y軸方向長度不需要考慮與編輯。設(shè)定X軸方向的區(qū)域極大值和極小值分別為-period/2和period/2的前提是幾何體的中心x坐標本身設(shè)置為0。這樣保證計算區(qū)域邊界分布在光柵兩邊。
6. 查看計算結(jié)果
本案中仿真求解300~1200nm波段的反射和吸收。仿真計算結(jié)束后會自動跳出結(jié)果作圖，可在窗口中查看反射率和吸收率。同樣可以將結(jié)果進行格式輸出，如圖片或txt等。
后續(xù)可根據(jù)光譜進行定向光柵結(jié)構(gòu)優(yōu)化。通常影響光柵減反射效果的因素有材料、光柵常數(shù)、薄膜厚度、光柵形貌等。
本案為用戶介紹了利用Rsoft軟件進行簡單的矩形光柵的反射率和吸收率的仿真計算。比起其他數(shù)值模擬軟件，Rsoft有著計算速度快，計算結(jié)果更加嚴格精確等特點。
最后，歡迎大家關(guān)注我們的微信公眾號聯(lián)系我們。
展開 雙層石墨烯/砷化鎵的等離子體共振光柵結(jié)構(gòu)光電探測器數(shù)值仿真 ￥500
<p>本案例設(shè)計了一雙層石墨烯/砷化鎵光柵結(jié)構(gòu)，基于COMSOL軟件的半導體及相關(guān)模塊，模擬了石墨烯和砷化鎵之間的載流子分離和轉(zhuǎn)移異質(zhì)結(jié)區(qū)域產(chǎn)生的電磁場分布，如圖1所示，并進一步分析得到不同波長下的吸收率曲線，如圖2所示。</p><p><img src="https://img.jishulink.com/202206/imgs/80019830f9304a1799118885f068db17.gif" alt="Untitled.gif"></p><p class="ql-align-center"><strong>圖1 電磁場仿真結(jié)果</strong></p><p><img src="https://img.jishulink.com/202206/imgs/47ce638fc01b4bf3972ae6a3aec043ea.png" alt="Untitled2.png"></p><p class="ql-align-center"><strong>圖2 吸收率隨波長變化曲線</strong></p><p>感興趣的朋友可下載模型源文件，歡迎交流合作</p><p><br></p><p><br></p>
展開 使用界面配置光柵結(jié)構(gòu)
光柵結(jié)構(gòu)廣泛用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等多種應用。VirtualLab Fusion通過應用傅立葉模態(tài)方法（FMM）以簡易的方式提供對任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴格分析。在光柵工具箱中，可以通過使用堆棧內(nèi)的各種接口或/和介質(zhì)來配置光柵結(jié)構(gòu)。 用于設(shè)置堆棧幾何形狀的用戶界面是人性化的，并且可用于生成更復雜的光柵結(jié)構(gòu)。 本用例中，介紹了基于界面的光柵結(jié)構(gòu)的配置具體操作流程。
摘要
可直接選擇特定的光路圖。
?注意：使用特殊類型的光柵，例如： 矩形形狀，
通用光柵光路圖
光柵?
- 開始?
?初始化
光柵工具箱初始化
?如何在計算之前更改高級選項并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
- 正弦光柵界面
- 鋸齒光柵界面
- 過渡點列表界面
- 矩形光柵界面
?如何使用界面配置光柵工具箱中的光柵結(jié)構(gòu)，例如：
本用例展示了......
?在堆棧編輯器的視圖中，根據(jù)折射率（黑暗表示更高），其他顏色表示不同的材料。
?為此，增加了一個平面界面，以便將光柵結(jié)構(gòu)與基塊分開。
展開 
使用特殊介質(zhì)的光柵結(jié)構(gòu)的配置
摘要
光柵結(jié)構(gòu)廣泛用于多個應用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。通過應用傅里葉模態(tài)方法（FMM），VirtualLab Fusion以一種簡單的方法提供了任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴格分析。在光柵軟件包中，通過使用堆棧中的多個界面或/和介質(zhì)可以配置光柵結(jié)構(gòu)。用于設(shè)置堆棧的幾何結(jié)構(gòu)的用戶界面是友好型的，可以用于產(chǎn)生更加復雜的光柵結(jié)構(gòu)。在這個用例中，解釋了基于特殊介質(zhì)光柵結(jié)構(gòu)的配置。
該用例展示了…
? 在光柵工具箱中通過使用特殊介質(zhì)如何配置光柵結(jié)構(gòu)，如：
傾斜光柵介質(zhì)
體光柵介質(zhì)
? 如何在計算前改變高級選項&檢查定義的結(jié)構(gòu)
光柵工具箱初始化
? 初始化
開始->
光柵->
通用光柵光路圖
? 注意：對于特殊類型光柵的使用，如體光柵，可以直接選擇特定的光路圖
光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置
? 首先，需要定義基底（底座）材料和厚度
? 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)在所謂的堆棧中定義
? 堆?？梢怨潭ǖ交椎囊贿吇騼蛇?? 這個例子中，第一個界面上的堆棧已經(jīng)選中
堆棧編輯器
堆棧編輯器
涂層傾斜光柵介質(zhì)
? 在目錄分類“LightTrans定義”中，可以找到涂層傾斜光柵介質(zhì)。
展開 構(gòu)造二維周期性光柵結(jié)構(gòu)
復雜光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion 軟件用傅立葉模態(tài)法（FMM,或者RCWA）一種簡易的仿真方法來嚴格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面，可以設(shè)置堆棧的幾何圖形，從而生成復雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。
? 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 ? 基于介質(zhì)定義的類型 ? 基于界面定義的類型
? 計算之前修改高級選項和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。
? 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱作二維光柵。
初始化光柵工具箱
通用光柵光路圖（三維光柵） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
光柵菜單欄(Grating) ?
?
開始菜單欄 (Start)?
?
初始化
Path Diagram(3D Gratings))
設(shè)置光柵結(jié)構(gòu)
?
首先，需要定義基底(Base Block)的厚度和介質(zhì)。
?
VirtualLab中光柵結(jié)構(gòu)在堆棧(stack) 中定義。
?
可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時添加堆棧(stack)。
展開 真實結(jié)構(gòu)光柵效應的研究
對混合目鏡中衍射透鏡的真實結(jié)構(gòu)引入的影響進行建模
在本周的簡訊中，我們展示了兩個例子，說明這些求解器的作用，在不同領(lǐng)域的應用中發(fā)揮它們的作用。
VirtualLab Fusion為這一任務提供了大量不同的專門求解器，從近似但快速的方法，如薄元近似法（TEA），到嚴格的方法，如傅里葉模態(tài)法（FMM）/嚴格耦合波分析（RCWA）。
光柵是許多不同的現(xiàn)代應用和技術(shù)中使用的一種基本光學元件。這種元件有時可以通過函數(shù)方法進行足夠精確的建模。然而，為了徹底研究光柵對光學系統(tǒng)的影響，需要一個考慮到實際結(jié)構(gòu)的建模策略。
研究真實光柵對光導的效率和均勻性的影響是非常重要的。本案例展示了一個以斜面光柵為耦入器，以二元表面刻蝕光柵為EPE和耦出器的例子。
展開 VirtualLab：如何建立一個真實光柵結(jié)構(gòu)的光導
局部光柵區(qū)域(所謂的區(qū)域)可以定義在光導表面的耦合和擴瞳的目的。光柵對光場的影響可以嚴格建模，也可以用理想化的函數(shù)建模，這需要用戶手動輸入不同級次的效率值。在這個用例中，我們關(guān)注如何將之前設(shè)計的真正光柵結(jié)構(gòu)導入光波導組件，并討論所有相關(guān)設(shè)置和查找表的預計算。
任務描述
系統(tǒng)化的光導的設(shè)計
對于每一個設(shè)計步驟，我們都推薦一個系統(tǒng)化的辦法來處理所要完成的任務。
光導布局設(shè)計
光柵專用操作系統(tǒng)中光柵的設(shè)計與分析
光導光學裝置中光導的設(shè)計與分析
耦合光柵的結(jié)構(gòu)
耦合光柵的結(jié)構(gòu)
EPE/耦出耦合光柵的結(jié)構(gòu)
EPE/耦出耦合光柵的結(jié)構(gòu)
將光柵導入光導組件
將光柵導入光導組件
FMM設(shè)置
查找表
提前計算查找表
文檔信息
展開 [VirtualLab] 二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置
摘要
復雜光學光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。
1. 本案例主要說明：
? 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過：
- 基于介質(zhì)的定義類型
- 基于表面的定義類型
? 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
? 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。
2. 光柵工具箱初始化
? 初始化
- 開始→
光柵→
一般光柵光路圖(3D光柵)
? 注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。
3. 光柵結(jié)構(gòu)配置
? 首先，必須先定義基底的厚度與材料
? 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)有一個所謂的堆棧進行定義
? 堆棧可以附屬在基底的一側(cè)或兩側(cè)。
? 例如，堆棧選擇附屬在第一表面。
基于介質(zhì)的定義類型
(例如：柱狀光柵)
1. 堆棧編輯器
? 在堆棧編輯器中，可以從庫中增加和插入界面和介質(zhì)。
? 為了以特殊材料定義光柵，必須添加兩個平面界面作為邊界。
? 兩個平面界面間的介質(zhì)可以使均勻的，也可以是調(diào)制的。
? 通過使用后者，可以非常有效地描述復雜的光柵結(jié)構(gòu)，如柱狀光柵。、
2.
展開 利用界面配置光柵結(jié)構(gòu)
摘要
光學光柵結(jié)構(gòu)在多種應用中被廣泛使用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。VirtualLab 利用傅里葉模態(tài)方法(FMM)提供了對各種光柵結(jié)構(gòu)的嚴格分析功能。在光柵工具箱中，光柵結(jié)構(gòu)可以通過不同的插入表面和/或者材料堆棧配置。堆棧的幾何結(jié)構(gòu)通過友好的用戶界面設(shè)置，并更加復雜的光柵結(jié)構(gòu)同樣可以利用堆棧表達。在本實用案例中，闡述了基于界面的光柵結(jié)構(gòu)外形設(shè)置。
1. 案例展示內(nèi)容
? 如何使用界界面在光柵工具箱中配置光柵結(jié)構(gòu)：
- 矩形光柵界面
- 轉(zhuǎn)換點列表界面
- 鋸齒光柵界面
- 正弦光柵界面
? 如何在計算前改變高級選項&檢查定義的結(jié)構(gòu)。
2. 光柵工具箱初始化
3. 光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置
? 首先，必須定義基底(Base Block)的厚度和材料。
? 在VirtualLab中定義光柵的結(jié)構(gòu)稱作Stack。
? Stack可以附著在基底的一側(cè)或兩側(cè)
? 例如，選擇在第一個表面上的Stack。
4. Stcak 編輯器
? 在Stcak 編輯器中，界面可以從庫中添加或插入。
? VirtualLab 的庫中提供了多種類型的界面。而且所有這些表面類型都可用于定義一個光柵
5. 矩形光柵界界面
6. 矩形光柵界面參數(shù)
7. 高級選項&信息
轉(zhuǎn)接點列表界面
1. 轉(zhuǎn)接點列表界面
2. 轉(zhuǎn)接點列表參數(shù)
3. 高級選項&信息
正弦光柵界界面
1. 正弦光柵界面
2.
展開 [VirtualLab] 使用界面配置光柵結(jié)構(gòu)
摘要
光柵結(jié)構(gòu)廣泛用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等多種應用。VirtualLab Fusion通過應用傅立葉模態(tài)方法（FMM）以簡易的方式提供對任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴格分析。在光柵工具箱中，可以通過使用堆棧內(nèi)的各種接口或/和介質(zhì)來配置光柵結(jié)構(gòu)。 用于設(shè)置堆棧幾何形狀的用戶界面是人性化的，并且可用于生成更復雜的光柵結(jié)構(gòu)。 本用例中，介紹了基于界面的光柵結(jié)構(gòu)的配置具體操作流程。
本用例展示了......
?如何使用界面配置光柵工具箱中的光柵結(jié)構(gòu)，例如：
- 矩形光柵界面
- 過渡點列表界面
- 鋸齒光柵界面
- 正弦光柵界面
?如何在計算之前更改高級選項并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
光柵工具箱初始化
?初始化
- 開始?
光柵?
通用光柵光路圖
?注意：使用特殊類型的光柵，例如： 矩形形狀，
可直接選擇特定的光路圖。
光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置
?首先，必須定義基板（基塊“Base Block”）的厚度和材料。
?在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)在所謂的堆棧（stack）中定義。
?堆?？梢愿降交宓囊粋?cè)或兩側(cè)。
?例如，選擇第一個界面上的堆棧。
堆棧編輯器
?在堆棧編輯器(Stack Editor)中，可以從目錄中添加或插入界面。
?VirtualLab的目錄提供了幾種類型的界面。
展開 
二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置
摘要
復雜光學光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。
1. 本案例主要說明：
? 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過：
- 基于介質(zhì)的定義類型
- 基于表面的定義類型
? 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
? 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。
2. 光柵工具箱初始化
? 初始化
- 開始→
光柵→
一般光柵光路圖(3D光柵)
? 注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。
3. 光柵結(jié)構(gòu)配置
? 首先，必須先定義基底的厚度與材料
? 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)有一個所謂的堆棧進行定義
? 堆?？梢愿綄僭诨椎囊粋?cè)或兩側(cè)。
? 例如，堆棧選擇附屬在第一表面。
基于介質(zhì)的定義類型
(例如：柱狀光柵)
1. 堆棧編輯器
? 在堆棧編輯器中，可以從庫中增加和插入界面和介質(zhì)。
? 為了以特殊材料定義光柵，必須添加兩個平面界面作為邊界。
? 兩個平面界面間的介質(zhì)可以使均勻的，也可以是調(diào)制的。
? 通過使用后者，可以非常有效地描述復雜的光柵結(jié)構(gòu)，如柱狀光柵。、
2. 柱狀光柵介質(zhì)
? 在庫目錄“LightTrans Defined”中，在柱狀介質(zhì)庫中可以找到鉻柱。
展開 使用界面配置光柵結(jié)構(gòu)
摘要
光柵結(jié)構(gòu)廣泛用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等多種應用。VirtualLab Fusion通過應用傅立葉模態(tài)方法（FMM）以簡易的方式提供對任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴格分析。在光柵工具箱中，可以通過使用堆棧內(nèi)的各種接口或/和介質(zhì)來配置光柵結(jié)構(gòu)。 用于設(shè)置堆棧幾何形狀的用戶界面是人性化的，并且可用于生成更復雜的光柵結(jié)構(gòu)。 本用例中，介紹了基于界面的光柵結(jié)構(gòu)的配置具體操作流程。
本用例展示了......
?如何使用界面配置光柵工具箱中的光柵結(jié)構(gòu)，例如：
- 矩形光柵界面
- 過渡點列表界面
- 鋸齒光柵界面
- 正弦光柵界面
?如何在計算之前更改高級選項并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
光柵工具箱初始化
?初始化
- 開始?
光柵?
通用光柵光路圖
?注意：使用特殊類型的光柵，例如： 矩形形狀，
可直接選擇特定的光路圖。
光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置
?首先，必須定義基板（基塊“Base Block”）的厚度和材料。
?在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)在所謂的堆棧（stack）中定義。
?堆?？梢愿降交宓囊粋?cè)或兩側(cè)。
?例如，選擇第一個界面上的堆棧。
堆棧編輯器
?在堆棧編輯器(Stack Editor)中，可以從目錄中添加或插入界面。
?VirtualLab的目錄提供了幾種類型的界面。 所有界面都可以用來定義光柵。
矩形光柵界面
?一種可能的界面是矩形光柵界面。
?此類界面適用于簡單二元結(jié)構(gòu)的配置。
?在此示例中，由銀制成的光柵位于玻璃基板上。
?為此，增加了一個平面界面，以便將光柵結(jié)構(gòu)與基塊分開。
展開 [VirtualLab] 構(gòu)造二維周期性光柵結(jié)構(gòu)
復雜光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion 軟件用傅立葉模態(tài)法（FMM,或者RCWA）一種簡易的仿真方法來嚴格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面，可以設(shè)置堆棧的幾何圖形，從而生成復雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。
? 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 ? 基于介質(zhì)定義的類型 ? 基于界面定義的類型
? 計算之前修改高級選項和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。
? 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱作二維光柵。
初始化光柵工具箱
? 初始化
? 開始菜單欄 (Start)?
光柵菜單欄(Grating) ?
通用光柵光路圖（三維光柵） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
? 提示：對于特殊類型的光柵，例如柱形光柵，
可以在光柵工具箱中直接點擊柱形光柵光路
圖（三維光柵）(Pillar Grating Light
Path Diagram(3D Gratings))
設(shè)置光柵結(jié)構(gòu)
? 首先，需要定義基底(Base Block)的厚度和介質(zhì)。
? VirtualLab中光柵結(jié)構(gòu)在堆棧(stack) 中定義。
? 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時添加堆棧(stack)。
展開 VirtualLab運用：光柵結(jié)構(gòu)中場分布的嚴格分析
案例024(3.0)
該案例主要說明了周期性結(jié)構(gòu)內(nèi)電磁場分布的嚴格計算。出于此目的，研究了兩種不同的系統(tǒng)：具有狹縫的矩形光柵和具有三角形狀的介質(zhì)光柵(等腰三角形)。
1.建模任務1：金屬光柵
?在Ey (TE)偏振光照明下的光柵內(nèi)部場分布的嚴格仿真。
?對于這個仿真，采用傅里葉模態(tài)法。
2.建模任務2：介質(zhì)光柵
?在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光柵內(nèi)部場分布的嚴格仿真。
?對于這個仿真，采用傅里葉模態(tài)法。
3.建模任務
?VirtualLab的光柵工具箱提供了場內(nèi)部分量分析器，用戶可以對光柵結(jié)構(gòu)中的電磁場分布進行嚴格計算。
?通過該分析器，可以對任意形狀的光柵進行研究。
?場分布計算能夠檢測結(jié)構(gòu)內(nèi)部的熱點
4.TE和TM照明線性光柵
5.鉻狹縫的分析
?通過計算場分量，可描述多種場量，如振幅、位相、振幅平方。
?左圖顯示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，這是唯一一個不為零的場量。
?對于金屬結(jié)構(gòu)，由于集膚效應，場合能量主要位于狹縫（空氣）內(nèi)。
?紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀（手動添加）
6.三角光柵的分析
?左圖為三角介質(zhì)光柵，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
?如果是介質(zhì)光柵結(jié)構(gòu)，場合能量主要集中在光柵脊內(nèi)。
?由于三角高度輪廓是在x-z平面內(nèi)變化，電場的y分量幾乎沒有影響。
?紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀（手動添加）。
?左圖顯示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。
?與TE偏振光照明對比，由于三角光柵形狀，場和能量分布受到強烈的影響。
?紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀（手動添加）。
展開 