納米顯微測量的案例
納米級材料尺寸測量：從微觀到宏觀，納米精度，中圖智造
納米級材料尺寸如何測量？
在納米科技的浪潮中，材料尺寸的精確測量成為了科研和工業(yè)應(yīng)用的關(guān)鍵。納米級材料因其物理化學(xué)特性，在電子、醫(yī)藥、能源等多個領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用前景。然而，如何準(zhǔn)確測量這些材料的尺寸，尤其是當(dāng)尺寸達(dá)到納米級別時，對技術(shù)提出了高要求。中圖儀器作為一家專注于3D測量技術(shù)的高新技術(shù)企業(yè)，在這方面取得了顯著的成就。
創(chuàng)新驅(qū)動，技術(shù)領(lǐng)先
中圖儀器專注于精密儀器研發(fā)、制造和銷售，服務(wù)于顯微尺寸、常規(guī)尺寸和大尺寸等工業(yè)制造過程中的各種測量需求。在納米顯微測量領(lǐng)域，基于納米傳動與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)、共聚焦測量等技術(shù)積累，推出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的白光干涉儀（Z向分辨率可高達(dá)0.1納米）和共聚焦顯微鏡，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C電子、高校科研等行業(yè)領(lǐng)域。
微納米超精密測量技術(shù)，精確捕捉微觀世界
納米級測量技術(shù)是中圖儀器科技創(chuàng)新的重要體現(xiàn)。公司采用的白光干涉三維重建技術(shù)、微納米顯微測量3D軟件平臺以及微納米運(yùn)動設(shè)計制造平臺，為納米級材料的尺寸測量提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支撐。這些技術(shù)不僅能夠?qū)崿F(xiàn)對材料表面微觀形貌的高精度測量，還能夠?qū)Σ牧系暮穸取⒋植诙鹊葏?shù)進(jìn)行精確分析。
產(chǎn)品解決方案全面覆蓋，滿足多樣化需求
從納米到宏觀，中圖產(chǎn)品線全面覆蓋各個尺度的測量需求。
1、光學(xué)3D表面輪廓儀
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀利用白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，能夠?qū)Ω鞣N精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。
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在納米顯微測量領(lǐng)域，中圖儀器基于納米傳動與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)、共聚焦測量等技術(shù)積累，推出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的白光干涉儀（Z向分辨率可高達(dá)0.1納米）和共聚焦顯微鏡，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C電子、高校科研等行業(yè)領(lǐng)域。
從納米到宏觀，產(chǎn)品解決方案全面覆蓋，滿足多樣化需求：
1、光學(xué)3D表面輪廓儀
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀利用白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，能夠?qū)Ω鞣N精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。
2、共聚焦顯微鏡
VT6000系列共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量。
3、臺階儀
CP系列臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。
中圖儀器以深厚的技術(shù)積累、創(chuàng)新的產(chǎn)品解決方案和全球化的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，為全球客戶提供精準(zhǔn)、可靠的測量產(chǎn)品和服務(wù)。未來公司將不斷推動科技創(chuàng)新，繼續(xù)在精密測量領(lǐng)域發(fā)揮領(lǐng)導(dǎo)作用，助力科技進(jìn)步和工業(yè)發(fā)展。
展開 顯微測量|共聚焦顯微鏡大傾角超清納米三維顯微成像
VT6000共聚焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。高度顯示分辨率達(dá)到0.5nm，具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。如在光伏行業(yè)中，不僅可以對柵線進(jìn)行快速檢測，還可以對電池板絨面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建。
此外還具備表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能。
應(yīng)用領(lǐng)域
在材料學(xué)領(lǐng)域，共聚焦顯微鏡能夠用來觀察材料的三維結(jié)構(gòu)和特性。可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
通過共聚焦顯微鏡超高分辨率的三維顯微成像測量，可以清晰地觀察到材料的表面形貌、表層結(jié)構(gòu)和納米尺度的缺陷。這對于理解材料的微觀特性和材料工程設(shè)計具有重要意義。
展開 顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準(zhǔn)捕捉三維形貌
顯微測量的原理及其在先進(jìn)制造業(yè)中的意義
顯微測量是利用顯微鏡實(shí)現(xiàn)對微小尺寸和形狀的測量的一種技術(shù)手段。它能以高精確度測量微觀尺寸，幫助制造業(yè)實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的產(chǎn)品。
顯微測量的原理主要基于光學(xué)和機(jī)械原理。在顯微鏡的幫助下，可以放大被測物體的面積和形狀，使其更容易被觀察和測量。這種技術(shù)的應(yīng)用范圍非常廣泛，涵蓋了諸多領(lǐng)域。
在先進(jìn)制造業(yè)中，不管是零件尺寸的測量還是表面質(zhì)量的評估，顯微測量都可以提供高精度的數(shù)據(jù)支持。這對于確保產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性至關(guān)重要；通過測量微小尺寸的變化和形狀的改變，顯微測量還可以獲取加工過程中的有價值的信息，幫助制造業(yè)進(jìn)行工藝優(yōu)化。
中圖儀器顯微測量儀集合光學(xué)干涉、3D成像算法、納米驅(qū)動關(guān)鍵技術(shù)，為制造業(yè)提供了準(zhǔn)確、可靠的測量手段：
1、三維顯微成像
W系列光學(xué)3D表面輪廓儀，Z向測量精度達(dá)到納米級。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。典型結(jié)果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）、幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。
針對超光滑凹面弧形所需同時滿足的高精度、大掃描范圍測量需求，W1的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。
VT6000共聚焦顯微鏡，大傾角超清納米測量。它用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。
展開 
共聚焦、光學(xué)顯微鏡與測量顯微鏡的區(qū)分
共聚焦顯微鏡介紹
共聚焦顯微鏡是一種光學(xué)顯微鏡。它結(jié)合了光學(xué)成像技術(shù)和計算機(jī)處理，能夠提供高分辨率的二維圖像以及三維圖像重構(gòu)。
共聚焦顯微鏡的工作原理基于“共聚焦”概念，即只有處于物鏡焦平面上的點(diǎn)才能清晰成像，而焦平面以外點(diǎn)的成像則被排除掉。這是通過使用特殊的光學(xué)系統(tǒng)，如共聚焦孔徑（pinhole）實(shí)現(xiàn)的。在共聚焦顯微鏡中，光源（通常是激光）照射在樣品上，然后收集從樣品反射或發(fā)出的光。只有來自焦平面的光能夠通過共聚焦孔徑，而其他位置的光則被阻擋，從而生成非常清晰的焦平面圖像。
此外，共聚焦顯微鏡能夠通過逐層掃描樣品并收集每一層的圖像數(shù)據(jù)，然后利用這些數(shù)據(jù)重建成樣品的三維形貌。這種逐層掃描的方式提供了比傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡更高的分辨率，尤其是在樣品的垂直方向上。
共聚焦顯微鏡也可以被稱為測量顯微鏡。在它用于精確測量樣品的尺寸、形狀、表面粗糙度或其他物理特性時，能夠提供非常精確的三維形貌圖像，這使得它成為測量樣品表面特征的強(qiáng)大工具。在材料科學(xué)和半導(dǎo)體工業(yè)等多個領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用，特別是在需要高分辨率和三維成像能力的情況下。測量特點(diǎn)如下：
1、高精度測量：共聚焦顯微鏡能夠提供納米級別的分辨率，使其能夠測量非常微小的樣品特征。
2、三維形貌：通過在不同深度層面上掃描樣品，共聚焦顯微鏡能夠生成樣品的三維圖像，這對于分析樣品的立體結(jié)構(gòu)非常有用。
3、表面粗糙度分析：共聚焦顯微鏡可以精確測量和分析樣品表面的粗糙度。它具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力，能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)，顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果。這對于材料科學(xué)和工程應(yīng)用非常重要。
展開 顯微測量|臺階儀二維超精密測量微觀形貌
了解工作原理和性能特點(diǎn)
臺階儀利用掃描探針在樣品表面上進(jìn)行微觀測量，通過探測探針和樣品表面之間的相互作用力，獲取表面形貌信息。具體而言，掃描探針通過細(xì)微的力變化，測量樣品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通過數(shù)據(jù)處理，形成高分辨率的圖像。
它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級別的測量，對微觀結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)進(jìn)行觀測和分析，揭示出表面的微觀特征；還具備高速掃描的能力，實(shí)現(xiàn)快速獲取樣品的形貌數(shù)據(jù)。
功能和作用介紹
作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，臺階儀可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。測量參數(shù)：
（1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度；
（2）粗糙度與波紋度：可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數(shù)；
（3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲。
臺階儀的應(yīng)用
臺階儀具有廣泛的適用范圍，在科學(xué)研究、材料表征、納米技術(shù)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域都有應(yīng)用。如在半導(dǎo)體制造中，臺階儀可以用于檢測半導(dǎo)體材料表面的缺陷和形貌，為半導(dǎo)體器件的開發(fā)和生產(chǎn)提供可靠的數(shù)據(jù)參考。
測量晶圓表面粗糙度
臺階儀具備出色的精確性和穩(wěn)定性，而且樣品適應(yīng)面廣，對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求。在材料科學(xué)、制造業(yè)、科研等領(lǐng)域都有著重要的應(yīng)用價值。相信隨著科技的不斷發(fā)展，臺階儀將會在測量領(lǐng)域發(fā)揮更加重要的作用。
臺階儀優(yōu)勢總結(jié)
1、高精度的測量能力
臺階儀在微觀表面形貌的測量中非常準(zhǔn)確，能夠滿足高精度測量的需求。
展開 國產(chǎn)自主三坐標(biāo)測量機(jī)推動產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展
相信通過微納米顯微測量、常規(guī)尺寸測量及大尺寸測量全系列產(chǎn)品，能夠幫助企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量，從而增強(qiáng)市場競爭力，推動中國產(chǎn)業(yè)的升級，向高質(zhì)量、高效率的發(fā)展邁進(jìn)。
從0.1nm到1mm：中圖儀器顯微測量儀在拋光至粗糙表面測量中的技術(shù)突破
顯微測量儀是納米級精度的表面粗糙度測量技術(shù)。它利用光學(xué)、電子或機(jī)械原理對微小尺寸或表面特征進(jìn)行測量，能夠提供納米級甚至更高級別的測量精度，這對于許多科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用至關(guān)重要。
在拋光至粗糙表面測量中，中圖儀器的顯微測量儀器具有從0.1nm到1mm的測量范圍，每種儀器都有其獨(dú)特的功能和應(yīng)用范圍。
三種不同顯微測量技術(shù)在測量表面粗糙度方面的優(yōu)勢詳解
一、光學(xué)3D表面輪廓儀
工作原理：
1.光源與分光：儀器的光源發(fā)出的光束首先通過擴(kuò)束準(zhǔn)直，然后通過分光棱鏡分成兩束光。一束光直接投射到被測表面，另一束光則投射到參考鏡上。
2.反射與干涉：從被測表面反射回來的光束與從參考鏡反射回來的光束在分光棱鏡處匯聚，由于兩束光在不同的路徑上行進(jìn)，它們之間存在光程差。當(dāng)兩束光的光程差為半波長的整數(shù)倍時，它們會發(fā)生干涉，形成明暗相間的干涉條紋。
3.成像與分析：光學(xué)3D表面輪廓儀將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號。通過測量這些干涉條紋的變化，可以推算出被測表面的三維形貌。系統(tǒng)軟件對這些數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析，從而得到表面的粗糙度、臺階高度、幾何輪廓等參數(shù)。
測量能力：
1.粗糙度測量范圍：SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀能夠測量從超光滑表面（0.1nm粗糙度）到相對粗糙表面（1mm粗糙度）的三維形貌。
2.垂直分辨率：SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀可以達(dá)到0.1nm的垂直分辨率，這對于測量光滑表面的微小高度變化至關(guān)重要。
3.水平分辨率：水平分辨率取決于儀器的掃描范圍和傳感器的像素大小，它決定了可以測量的最小特征尺寸。
展開 中圖儀器補(bǔ)齊國產(chǎn)精密測量短板
中圖儀器在追求新質(zhì)生產(chǎn)力的過程中，不斷創(chuàng)新，從納米到百米，全自主研發(fā)高質(zhì)量幾何量測量儀器設(shè)備，高強(qiáng)度研發(fā)補(bǔ)齊國產(chǎn)精密測量短板。
在納米顯微測量領(lǐng)域，中圖顯微測量儀基于納米傳動與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)、共聚焦測量等技術(shù)，能夠?qū)ξ⑿ο筮M(jìn)行高精度、高分辨率的測量和分析，引領(lǐng)精細(xì)化生產(chǎn)。特別在半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，能以0.1nm分辨率檢測微小元件的尺寸、形狀和表面特征，確保產(chǎn)品達(dá)到嚴(yán)格的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。
半導(dǎo)體制造·IC晶圓磨劃應(yīng)用
在國之重器領(lǐng)域，“工業(yè)測量皇冠上的明珠”——GTS激光跟蹤儀，歷時6年之久終于問世。它集合了激光干涉測距技術(shù)、光電探測技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理論等各種先進(jìn)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對空間運(yùn)動目標(biāo)進(jìn)行跟蹤并實(shí)時測量目標(biāo)的空間三維坐標(biāo)。
大型裝備的穩(wěn)定運(yùn)行和精準(zhǔn)控制是生產(chǎn)效率和質(zhì)量的關(guān)鍵因素。而GTS激光跟蹤儀可用于航空航天領(lǐng)域?qū)︼w機(jī)零部件及裝配精度的測量，在高端制造中對運(yùn)動機(jī)器人位置的精確標(biāo)定，又或是在汽車制造中對車型的在線測量等大型裝備的運(yùn)動控制，是保障大型裝備運(yùn)行的智能守護(hù)者。
顯微測量儀和激光跟蹤儀正成為各個行業(yè)實(shí)現(xiàn)智能制造的關(guān)鍵工具。通過將顯微測量儀和激光跟蹤儀的數(shù)據(jù)進(jìn)行集成和分析，可以實(shí)現(xiàn)對整個生產(chǎn)過程的全面監(jiān)控和優(yōu)化，從原材料的檢測到產(chǎn)品的裝配，再到最終的質(zhì)量控制，它們不僅提高了生產(chǎn)效率和質(zhì)量，還推動了生產(chǎn)方式的轉(zhuǎn)型升級，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化和升級。我們有理由相信，顯微測量儀和激光跟蹤儀在未來將為制造業(yè)帶來新的生產(chǎn)力和競爭力。
展開 激光共聚焦顯微鏡測量技術(shù)在汽車工業(yè)上的應(yīng)用
共焦技術(shù)能夠測量各種表面反射特性的材料并獲得有效的測量數(shù)據(jù)。
以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。在汽車工業(yè)中，非接觸式共聚焦測量技術(shù)精確地確定了氣缸運(yùn)行缸孔表面、凸輪軸、連桿、涂層或金屬板在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)過程中的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量。
1、激光焊接焊縫
利用三維線傳感器檢測激光焊接焊縫的質(zhì)量，包括氣孔和砂眼等。此外，焊縫的完整性和一致性可以完全自動化檢測。如果軟件判定測量結(jié)果為不良，則需要重新焊接和檢測。通過這種方式，可以降低廢品率。
2、車身涂層表面(外觀)
涂漆和未涂漆的噴涂和未噴涂金屬片的表面外觀在微觀上是由微觀結(jié)構(gòu)和波紋決定的。使用激光共聚焦顯微鏡可以用于測量事先定義的不同部位和不同生產(chǎn)工藝流程的車身表面并記錄單個波長范圍內(nèi)的幅值。通過這些數(shù)據(jù)可以評估材料和制造條件的影響。一某個區(qū)域剖面的測量結(jié)果可以與汽車模型的設(shè)定值進(jìn)行比較。
3、墊圈
激光共聚焦顯微鏡的測量速度比接觸式測量快數(shù)百倍。此外，共聚焦顯微系統(tǒng)以更高的精度對亞微米范圍的結(jié)構(gòu)進(jìn)行非接觸式測量。在短短幾分鐘內(nèi)，不僅可以測量整個面板表面密封件的性能，還可以測量其與表面組成相關(guān)的各種數(shù)據(jù)點(diǎn)。
4、金屬板
通過軋制形成的油穴不僅可以用于儲油而且能夠改善金屬板成型性能。經(jīng)過實(shí)踐檢驗(yàn)的相關(guān)分析工具同樣適用于評估這些重要的功能性三維結(jié)構(gòu)。除粗糙度評價標(biāo)準(zhǔn)外，還可以計算和評估表面封閉區(qū)域的微體積。應(yīng)用拼接功能可以將測量范圍擴(kuò)大到幾個毫米。
VT6000激光共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
展開 用于X射線顯微鏡，科學(xué)家一分鐘內(nèi)3D打印出納米鏡片
2018年10月16日，南極熊從外媒獲悉，Max Planck智能系統(tǒng)研究所的科學(xué)家們發(fā)現(xiàn)了3D打印技術(shù)的一項新應(yīng)用，他們使用雙光子3D打印技術(shù)從聚合物材料中制造出具有納米尺寸特征和出色聚焦能力的X射線透鏡。
而整個制造過程僅僅需要花費(fèi)一分鐘，這項技術(shù)制造出具X射線光學(xué)特性的單透鏡，大大降低了原型制造的成本。
據(jù)悉，X射線顯微鏡是獨(dú)特地結(jié)合納米尺寸分辨率和大穿透深度的成像工具，它允許您在不破壞計算機(jī)中央處理單元的情況下查看其中的缺陷，X射線顯微鏡或XRM是唯一能夠以高分辨率研究埋藏特征的技術(shù)。
然而，X射線的聚焦并非那么容易，它需要納米級幾何形狀的光學(xué)器件。由于其復(fù)雜的納米制造方法，單個鏡頭可能花費(fèi)高達(dá)數(shù)萬歐元，制造成本非常高昂。
該研究所的現(xiàn)代磁系統(tǒng)和物理智能部門共同合作，試圖尋找一種更便宜的方法來制作該光學(xué)器件，能夠有效地聚焦X射線。這就是3D打印技術(shù)的特點(diǎn)得到應(yīng)用的地方，他們發(fā)現(xiàn)飛秒雙光子3D納米打印是制造這種衍射X射線光學(xué)元件的最佳方法。
此前，南極熊也曾多次報道過國內(nèi)外的雙光子3D打印技術(shù)，下圖中是雙光子聚合加工的技術(shù)原理。
南極熊曾參觀過中國院理化所的雙光子3D打印設(shè)備，可以進(jìn)行微納米級別的3D打印。
Umut T. Sanli博士解釋說：“我們使用了飛秒脈沖紅外（IR）激光器，以及可以通過同時吸收多個紅外光子來聚合的光刻膠，以寫入小于光波長的結(jié)構(gòu)。通過這種方式，我們實(shí)現(xiàn)了極具挑戰(zhàn)性的X射線透鏡幾何結(jié)構(gòu)，具有納米級特征和非常高的聚焦效率，他繼續(xù)說道。初步結(jié)果顯示，使用直接軟X射線成像和3D打印的透鏡表現(xiàn)出優(yōu)越的性能，效率高達(dá)20％。”
由于輻射損壞，幾乎每年都需要更換XRM的X射線光學(xué)系統(tǒng)。
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從微納米到百米測量，中圖國產(chǎn)智能精密測量儀器著力突破核心技術(shù)，增強(qiáng)高端供給
針對我國智能檢測裝備產(chǎn)業(yè)仍存在技術(shù)基礎(chǔ)薄弱、創(chuàng)新能力不強(qiáng)、高端供給不足等問題，中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團(tuán)隊，勇于創(chuàng)新，著力突破從微納米到百米測量的核心技術(shù)，堅持高質(zhì)量出品，增強(qiáng)高端供給，打造質(zhì)量強(qiáng)國。
從微納米到百米測量，中圖智能精密測量儀器著力突破核心技術(shù)，增強(qiáng)高端供給
1、融合創(chuàng)新檢測技術(shù)、新型制造工藝與前沿科技領(lǐng)域基礎(chǔ)理論，研發(fā)生產(chǎn)一批前沿智能精密測量檢測裝備。
納米級精密測量儀器
VT6000共聚焦顯微鏡
共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
SuperViewW1白光干涉儀
光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的光學(xué)檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
百米級精密測量儀器
GTS激光跟蹤儀
激光跟蹤儀主要用于百米大尺度空間三維坐標(biāo)的精密測量，集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理論于一體，在大尺度空間測量工業(yè)科學(xué)儀器中具有高精度和重要性，是同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。
展開 “軟件即儀器”——全新架構(gòu) Xtreme Vision顯微測量軟件平臺
“軟件即儀器”，工業(yè)測量軟件較為復(fù)雜，涵蓋了軟件架構(gòu)、信號處理、圖像處理、數(shù)值計算、空間幾何、三維建模、3D渲染、并行計算、人機(jī)交互等多種交叉軟學(xué)科，是測量儀器系統(tǒng)極為重要的組成部分，中圖儀器一直致力于自主化工業(yè)測量軟件的開發(fā)和應(yīng)用。
Xtreme Vision顯微測量軟件是中圖儀器為SuperView系列光學(xué)3D表面輪廓儀、VT系列共聚焦顯微鏡打造的一款功能強(qiáng)大的微觀形貌測量分析平臺,廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求極高的光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造與封裝、超精密加工、3C產(chǎn)業(yè)鏈、航空航天、國防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域。
XtremeVision顯微測量軟件平臺集成了3D形貌重建，多工具測量分析，影像觀察測量以及自動化測量四大功能模塊，全力滿足不同領(lǐng)域材料的高精度形貌表征需求：
1、非接觸式無損檢測，高精度全面三維成像，簡明流暢的界面設(shè)計致力于為用戶帶來更加舒適的測量體驗(yàn)，告別繁瑣流程，新手小白也能迅速上手;
2、3D測量界面可以對掃描數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，豐富的測量工具包可還原樣品微小細(xì)節(jié)；
3、2D影像可用于直接對視場內(nèi)樣品標(biāo)注測量，記錄樣品二維尺寸；
4、自動化綜合了所有測量場景，模板一鍵導(dǎo)入，就能自動高效完成任意多點(diǎn)位的測量分析所有流程，解放雙手省心省力。
展開 共聚焦顯微鏡在光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)測量中的應(yīng)用
針對具有四個測量難點(diǎn)的光學(xué)膜片檢測需求，在微納級檢測儀器領(lǐng)域面臨著精度夠的角度測量能力不足、角度測量能力夠的精度無法滿足要求的窘境。
共聚焦顯微鏡搭配50×、100×高數(shù)值孔徑的APO復(fù)消色差物鏡。在測量時由于其基于鏡頭焦深的原理不會受到樣件本身輕微抖動的影響，同時高倍APO物鏡所具有的大角度測量能力搭配儀器自身納米級的掃描分辨率，能夠輕松實(shí)現(xiàn)透明表面微結(jié)構(gòu)的3D圖像重建和輪廓尺寸的高精度測量，在下述視頻中可直觀的了解光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)的測量過程。
中圖儀器共聚焦顯微鏡能夠?qū)鈱W(xué)膜表面微結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)快速自動化測量，并提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數(shù)對表面質(zhì)量進(jìn)行表征，幫助客戶實(shí)現(xiàn)光學(xué)膜片表面質(zhì)量的檢測與管控。
如圖所示，在實(shí)現(xiàn)表面微結(jié)構(gòu)3D圖像的高精度重建與測量的同時，共聚焦顯微鏡以其明顯優(yōu)于金相顯微鏡的橫向分辨率，也能夠提供表面微結(jié)構(gòu)的清晰影像圖片，幫助更細(xì)致的觀察微結(jié)構(gòu)的表面特征，從圖像可知，在高倍率鏡頭下，棱鏡峰側(cè)壁的刀具磨損紋路痕跡明顯，金字塔頂和底部界限分明，微透鏡表面粒子邊緣清晰。
隨著液晶顯示屏在朝著輕薄化、高清化的方向發(fā)展，其核心材料光學(xué)膜片也在往薄型化、高亮度化、高色域化的方向發(fā)展，屆時其表面微結(jié)構(gòu)的特征尺寸也將更加多樣化和小型化，這勢必將對測量儀器提出更高的要求。
展開 中圖共聚焦顯微鏡3D成像更清晰，精準(zhǔn)測量表面形貌
半導(dǎo)體大規(guī)模生產(chǎn)過程中需要在晶圓上沉積集成電路芯片，然后再分割成各個單元，最后再進(jìn)行封裝和焊接，因此對晶圓切割槽尺寸進(jìn)行精準(zhǔn)控制和測量，是生產(chǎn)工藝中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。
VT6000系列共聚焦顯微鏡是中圖儀器傾力推出的一款顯微檢測設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝，能夠?qū)哂袕?fù)雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進(jìn)行非接觸式掃描并重建三維形貌。
VT6000系列共聚焦顯微鏡具有優(yōu)異的光學(xué)分辨率，通過清晰的成像系統(tǒng)能夠細(xì)致觀察到晶圓表面的特征情況，例如：觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷。電動塔臺可以自動切換不同的物鏡倍率，軟件自動捕捉特征邊緣進(jìn)行二維尺寸快速測量，從而更加有效的對晶圓表面進(jìn)行檢測和質(zhì)量控制。
在對晶圓進(jìn)行激光切割的過程中，需要進(jìn)行精準(zhǔn)定位，以此來保證能在晶圓上沿著正確的輪廓開出溝槽，通常由切割槽的深度和寬度來衡量晶圓分割的質(zhì)量。VT6000系列共聚焦顯微鏡，其以共聚焦技術(shù)為原理，配合高速掃描模塊，專業(yè)的分析軟件具有多區(qū)域、自動測量功能，能夠快速重建出被測晶圓激光鐳射槽的三維輪廓并進(jìn)行多剖面分析，獲取截面的槽道深度與寬度信息。
VT6000系列共聚焦顯微鏡能夠?qū)す鉁喜鄣妮喞M(jìn)行精準(zhǔn)測量，專業(yè)化的軟件設(shè)計能夠讓用戶輕松使用的同時獲得精準(zhǔn)的測量數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體晶圓檢測行業(yè)助力！
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