掃描光源仿真的案例
如何設置掃描光源
摘要
VirtualLab Fusion中的掃描源定義了一組理想平面波，被孔徑截斷并向不同方向輻射。方向配置為角度空間中的柵格。這種光源在許多不同領域都有應用：例如，在激光掃描系統中，分析不同掃描角度的性能；或者在成像系統中對視野進行采樣。與參數運行一起，可以在不同模式下掃描方向/角度，并且可以針對特定應用靈活配置。
基本參數
特定參數-強度
特定參數-角度設置
特定參數-坐標系統
光線選擇
偏振設置
模式選擇
模式選擇
ParameterRun–掃描列/行
ParameterRun–在每個方向上掃描
文件信息
更多閱覽
- F-θ掃描透鏡的性能評估
- 如何設置面板類型源
- 帶導光元件的全息透鏡1型布局的建模
展開 [VirtualLab] 如何建立掃描光源
摘要
使用VirtualLab Fusion中的掃描源，可以定義輻射到不同預定義方向的多模式光源。 掃描光源可用于例如激光掃描系統中以分析不同掃描角度下的性能，或用于成像系統中以對特定視場建模。 結合參數運行，可以以不同的模式掃描方向/角度，并且可以針對特定應用靈活地定義方向/角度。
2. 基礎參數
? 對于每一個掃描角度方向，都有一個模式用來表示光場。
? 所有的模式共有相同的孔徑形狀和尺寸(定義在與模式方向正交的平面上)，而且這些參數可在基礎參數標簽中進行配置。
? 此外，還可以配置相對或絕對邊緣寬度。
3. 指定參數-強度
? “Specific Parameters” 選項卡控制光源的強度和角度設置。
? 強度分布可以根據以下條件設置：
- 通過指定顏色場或導入圖像文件來達到所需的變化。 在這種情況下，波長是從輸入中選擇的。
- 或可在一個波長保持所有掃描角度恒定。 在這種情況下，可以設置方向數，這意味著沿x和y方向的掃描步長。
4. 具體參數-角度設置
? “Specific Parameters” 選項卡控制光源的強度和角度設置。
? 您可以設置中心方向，即整個光場中心傳播的方向。
? 可以根據一個指定的視場或者各掃描方向的角距配置掃描范圍。
5. 光線選擇
? 在“Ray Selection”標簽下，對于每種模式，可以指定所需的選擇方法和光線數量。
6. 偏振設置
? “Polarization”設置選項卡提供所有掃描方向的偏振選項。
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摘要
VirtualLab Fusion中的掃描源定義了一組理想平面波，被孔徑截斷并向不同方向輻射。方向配置為角度空間中的柵格。這種光源在許多不同領域都有應用：例如，在激光掃描系統中，分析不同掃描角度的性能；或者在成像系統中對視野進行采樣。與參數運行一起，可以在不同模式下掃描方向/角度，并且可以針對特定應用靈活配置。
基本參數
特定參數-強度
特定參數-角度設置
特定參數-坐標系統
光線選擇
偏振設置
模式選擇
模式選擇
ParameterRun–掃描列/行
ParameterRun–在每個方向上掃描
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摘要
使用VirtualLab Fusion中的掃描源，可以定義輻射到不同預定義方向的多模式光源。 掃描光源可用于例如激光掃描系統中以分析不同掃描角度下的性能，或用于成像系統中以對特定視場建模。 結合參數運行，可以以不同的模式掃描方向/角度，并且可以針對特定應用靈活地定義方向/角度。
2. 基礎參數
? 對于每一個掃描角度方向，都有一個模式用來表示光場。? 所有的模式共有相同的孔徑形狀和尺寸(定義在與模式方向正交的平面上)，而且這些參數可在基礎參數標簽中進行配置。? 此外，還可以配置相對或絕對邊緣寬度。
3. 指定參數-強度
? “Specific Parameters” 選項卡控制光源的強度和角度設置。? 強度分布可以根據以下條件設置：- 通過指定顏色場或導入圖像文件來達到所需的變化。 在這種情況下，波長是從輸入中選擇的。- 或可在一個波長保持所有掃描角度恒定。 在這種情況下，可以設置方向數，這意味著沿x和y方向的掃描步長。
4. 具體參數-角度設置
? “Specific Parameters” 選項卡控制光源的強度和角度設置。? 您可以設置中心方向，即整個光場中心傳播的方向。? 可以根據一個指定的視場或者各掃描方向的角距配置掃描范圍。
5. 光線選擇 ? 在“Ray Selection”標簽下，對于每種模式，可以指定所需的選擇方法和光線數量。
6. 偏振設置? “Polarization”設置選項卡提供所有掃描方向的偏振選項。? 偏振態可以是：?線偏振?圓偏振?橢圓偏振?通過輸入瓊斯矩陣
7. 模式選擇 ? 在“Mode Selection”選項卡中，可以選擇不同的光譜成分和掃描方向。
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基于VirtualLab Fusion的復合光源仿真
摘要
能夠在一個系統中包含多個光源是許多應用的基礎，如成像或照明。VirtualLabFusion提供了解決這類問題的高級選項。在本文檔中，我們簡要概述了如何設置復合光源，并給出了幾個仿真示例。
概覽
復合光源可以：
·包含任意數量的主光源。
·支持所有部分相干的光源（平板類型和掃描光源除外）。
·支持多色主光源的相干組合。
多光源的配置
使用參數耦合來鏈接參數
使用參數耦合來鏈接參數-定位
添加物（光）彩色原色的模擬
相干效應模擬
設置具有不同入射角的平面波，因此攜帶不同的線性相位。
文檔信息
展開 基于VirtualLab Fusion的多光源仿真
摘要
能夠在一個系統中包含多個光源是許多應用的基礎，如成像或照明。VirtualLab Fusion提供了解決此類挑戰的高級選項。在本文檔中，我們簡要概述了如何設置多個光源，并給出了幾個模擬示例。
概述
多光源
·可以包含任意數量的基礎光源。
·支持所有部分相干光源（面板型和掃描光源除外）。
·支持多色基礎光源的相干組合。
多光源的配置
多光源的配置
使用參數耦合鏈接參數
使用參數耦合鏈接參數-位置
多光源仿真實例
加色（光）原色的模擬
相干效應的模擬
文件信息
展開 基于VirtualLab Fusion的多光源仿真
摘要
能夠在一個系統中包含多個光源是許多應用的基礎，如成像或照明。VirtualLab Fusion提供了解決此類挑戰的高級選項。在本文檔中，我們簡要概述了如何設置多個光源，并給出了幾個模擬示例。
概述
多光源
· 可以包含任意數量的基礎光源。
· 支持所有部分相干光源（面板型和掃描光源除外）。
· 支持多色基礎光源的相干組合。
多光源的配置
多光源的配置
使用參數耦合鏈接參數
使用參數耦合鏈接參數-位置
多光源仿真實例
加色（光）原色的模擬
相干效應的模擬
文件信息
展開 基于VirtualLab Fusion的多光源仿真
摘要
能夠在一個系統中包含多個光源是許多應用的基礎，如成像或照明。VirtualLab Fusion提供了解決此類挑戰的高級選項。在本文檔中，我們簡要概述了如何設置多個光源，并給出了幾個模擬示例。
概述
多光源
· 可以包含任意數量的基礎光源。
· 支持所有部分相干光源（面板型和掃描光源除外）。
· 支持多色基礎光源的相干組合。
多光源的配置
多光源的配置
使用參數耦合鏈接參數
使用參數耦合鏈接參數-位置
多光源仿真實例
加色（光）原色的模擬
相干效應的模擬
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展開 基于VirtualLab Fusion的TDOCT系統合成光源仿真
張寶武1,2，霍劍鋒1，張明月1，劉媛媛1，余桂英1，姚蘆鷸1
（1.中國計量大學計量測試工程學院，浙江 杭州310018；2.比薩大學物理系，意大利 比薩56127）
摘要：基于VirtualLab Fusion構建了時域光學相干層析技術（ｔｉｍｅ ｄｏｍａｉｎ ｏｐｔｉｃａｌ ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ，ＴＤＯＣＴ）光路系統，導入不同顆數發光二極管（ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ，ＬＥＤ）的合成光譜，從參考鏡的位置變化中獲得干涉信號，以此分析出合成光源的半高寬和相干度，以及對應TDOCT的縱向分辨率．結果表明，合成光源的最大強度值隨著LED顆數從1到10的增加先增加后趨向不變；而半高寬隨之不斷增加；TDOCT系統的縱向分辨率隨之不斷提高．當LED增加至3顆的時候，合成光源已經可以使TDOCT系統縱向分辨率提高至9.8μｍ，這與一顆超輻射發光二極管（ｓｕｐｅｒ ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｌｉｇｈｔ－ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ，ＳＬＤ）給出的分辨率級別相當．
關鍵詞：光學相干層析技術；VirtualLab Fusion軟件；發光二極管；合成光源
展開 高斯光源加載（ANSYS與WB協同仿真）
更多內容，請關注公眾號：ANSYS有限元仿真
基于VirtualLabFusion的復合光源仿真
摘要
能夠在一個系統中包含多個光源是許多應用的基礎，如成像或照明。VirtualLabFusion提供了解決這類問題的高級選項。在本文檔中，我們簡要概述了如何設置復合光源，并給出了幾個仿真示例。
概覽
復合光源可以：
·包含任意數量的主光源。
·支持所有部分相干的光源（平板類型和掃描光源除外）。
·支持多色主光源的相干組合。
4*4多色光矩陣
不同波長的網格高斯平面光源的組合
多光源的配置
使用參數耦合來鏈接參數
使用參數耦合來鏈接參數-定位
添加物（光）彩色原色的模擬
可見光光譜包括在380 nm到750 nm之間的波長，它們產生的顏色從紫色到紅色不等。然而，紅色、綠色和藍色被認為是原色，因為它們的組合可以產生幾乎所有其他的顏色。在本例中，利用多光源模擬了三原色，并研究了它們的混合現象。
相干效應模擬
設置具有不同入射角的平面波，因此攜帶不同的線性相位。
文檔信息
展開 
FRED應用：激光二極管光源耦合到光纖的仿真
橫向準直靈敏度
“橫向偏移掃描”腳本與之前十分相似，除了用戶為掃描定義了如下的參數：
圖12. 在Z=1.86mm位置處：光纖耦合vs橫向偏移
方向靈敏度
該腳本同樣與先前的腳本十分相似，這里用戶定義了取向的角度范圍。注意到該腳本只是在水平方向傾斜了光纖，并不是一個任意的角度。
圖13. 在Z=1.86mm位置處：光纖耦合vs水平方向旋轉
結束語
在本文中，FRED展現出了從激光二極管到光纖耦合準確計算的能力。其計算結果與激光二極管生產商提供的耦合信息一致。FRED的相干傳輸能力以及高散射相干的精確定義對于這種類型問題的仿真是很關鍵的。
本例系統數據(單位是mm)
展開 [VirtualLab] 基于VirtualLabFusion的復合光源仿真
摘要
能夠在一個系統中包含多個光源是許多應用的基礎，如成像或照明。VirtualLabFusion提供了解決這類問題的高級選項。在本文檔中，我們簡要概述了如何設置復合光源，并給出了幾個仿真示例。
概覽
復合光源可以：
·包含任意數量的主光源。
·支持所有部分相干的光源（平板類型和掃描光源除外）。
·支持多色主光源的相干組合。
4*4多色光矩陣
不同波長的網格高斯平面光源的組合
多光源的配置
使用參數耦合來鏈接參數
使用參數耦合來鏈接參數-定位
添加物（光）彩色原色的模擬
可見光光譜包括在380 nm到750 nm之間的波長，它們產生的顏色從紫色到紅色不等。然而，紅色、綠色和藍色被認為是原色，因為它們的組合可以產生幾乎所有其他的顏色。在本例中，利用多光源模擬了三原色，并研究了它們的混合現象。
相干效應模擬
設置具有不同入射角的平面波，因此攜帶不同的線性相位。
文檔信息
展開 [VirtualLab] 基于VirtualLab Fusion的組合光源仿真
摘要
能夠在一個系統中包含多個光源是許多應用的基礎，如成像或照明。VirtualLab Fusion提供了解決這類問題的高級選項。在本文檔中，我們簡要概述了如何設置復合光源，并給出了幾個仿真示例。
概覽
組合光源的配置
使用參數耦合來鏈接參數
使用參數耦合來鏈接參數-定位
多光源仿真實例
添加物（光）彩色原色的模擬
相干效應模擬
設置具有不同入射角的平面波，因此攜帶不同的線性相位。
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光刻技術第17期 | 壓縮感知光源優化的仿真對比分析
總結：CS-SO方法與 CG-S0方法對比，仿真結果證明了 CS-SO 方法在光源可制造性、成像性能、PW 和計算效率方面的優越性。
04/先進技術與未來發展方向
未來，仿真技術將向“精準映射”與“全鏈路覆蓋”演進。
? AI賦能仿真建模，通過深度學習優化光源-成像的非線性映射關系，實現仿真參數自適應調優，降低極端制程建模誤差；
? 多物理場耦合升級，融入EUV光刻偏振、掩模、三維衍射及熱變形等因素，提升仿真與實際制程的契合度；
? 跨流程協同仿真，聯動掩模制造、刻蝕工藝構建全鏈路模型，預判光源優化對后續工序的影響；
? 極端場景突破，針對1nm及以下節點研發量子化光學仿真模型，突破現有精度瓶頸，為技術迭代提供前瞻性支撐。
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