SuperView系列光學(xué)3D表面輪廓儀的案例
三維輪廓儀測(cè)粗糙度：光學(xué)3D表面輪廓儀功能詳解
在精密制造領(lǐng)域，表面粗糙度的測(cè)量是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵步驟。光學(xué)3D表面輪廓儀為這一需求提供了解決方案。
在半導(dǎo)體制造、3C電子、光學(xué)加工等高精度行業(yè)，表面粗糙度的測(cè)量精度直接影響到產(chǎn)品的性能和可靠性。SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀正是為了滿足這一需求而設(shè)計(jì)的。
產(chǎn)品特點(diǎn)
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀采用了白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，能夠?qū)Ω鞣N精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)的測(cè)量。這種非接觸式的掃描方式不僅避免了對(duì)被測(cè)物體的損傷，還提供了高測(cè)量精度和重復(fù)性。
測(cè)量原理
該系列輪廓儀的工作原理基于光學(xué)干涉技術(shù)，通過白光LED作為光源，對(duì)被測(cè)物體表面進(jìn)行照射。由于白光具有寬廣的光譜，能夠提供更高的測(cè)量精度和分辨率。通過精密的Z向掃描，設(shè)備能夠捕捉到物體表面的微觀形貌，并利用3D建模算法重建出物體的3D圖像。
應(yīng)用領(lǐng)域
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，包括但不限于半導(dǎo)體制造、3C電子產(chǎn)品的玻璃屏、光學(xué)元件的曲率和輪廓尺寸測(cè)量、超精密加工、微納材料制造、汽車零部件以及航空航天和科研院所的研究工作。
性能特色
1. 高精度與高重復(fù)性：采用的光學(xué)干涉技術(shù)和精密Z向掃描模塊，確保了測(cè)量的高精度。
2. 環(huán)境噪聲檢測(cè)功能：能夠定量評(píng)估外界環(huán)境對(duì)測(cè)量的干擾，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供數(shù)據(jù)支持。
3. 精密操縱手柄：集成了X、Y、Z三個(gè)方向的位移調(diào)整功能，使得測(cè)量前的準(zhǔn)備工作更加快捷。
4. 雙重防撞保護(hù)措施：軟件和硬件雙重保護(hù)，最大限度降低操作風(fēng)險(xiǎn)。
5.
展開 中圖共聚焦顯微鏡在化學(xué)機(jī)械拋光課題研究中的應(yīng)用
兩個(gè)物體表面相互接觸即會(huì)產(chǎn)生相互作用力，研究具有相對(duì)運(yùn)動(dòng)的相互作用表面間的摩擦、潤(rùn)滑與磨損及其三者之間關(guān)系即為摩擦學(xué)，目前摩擦學(xué)已涵蓋了化學(xué)機(jī)械拋光、生物摩擦、流體摩擦等多個(gè)細(xì)分研究方向，其研究的數(shù)值量級(jí)也涵蓋了亞納米到百微米的區(qū)間。摩擦本身是一種能量損耗現(xiàn)象，然而得到合理地利用也能產(chǎn)生巨大的正面效益，因此，準(zhǔn)確地測(cè)定磨損量并進(jìn)行精確的控制，是摩擦學(xué)研究中的一個(gè)重難點(diǎn)。
作為一家專業(yè)的微納3D形貌檢測(cè)儀器廠商，中圖儀器的SuperView系列光學(xué)3D表面輪廓儀已在國(guó)內(nèi)高校從事化學(xué)機(jī)械拋光課題研究的教授群體中得到廣泛應(yīng)用，因樣件多為超光滑拋光表面，采用光學(xué)3D表面輪廓儀較為合適，其中較為關(guān)鍵的粗糙度Sa和Ra等參數(shù)，能夠確保0.1nm的精度。而針對(duì)磨損區(qū)域較大、坡度也較為陡峭的生物摩擦和流體摩擦領(lǐng)域，采用中圖VT6000系列共聚焦顯微鏡則更加匹配，其遠(yuǎn)勝于光學(xué)3D表面輪廓儀的大角度測(cè)量能力和超景深觀察功能，能夠輕松勝任磨損較為嚴(yán)重的表面形貌檢測(cè)，從而幫助研究人員更加精準(zhǔn)的掌握磨損量評(píng)價(jià)數(shù)據(jù)。
如下圖所示，為檢測(cè)生物摩擦課題中的樣件表面磨損區(qū)域的3D形貌圖像，其中心區(qū)域凹陷而在中心到上表面的邊緣處呈大坡度形態(tài)，因而在采用光學(xué)3D表面輪廓儀進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，會(huì)出現(xiàn)邊緣陡坡處3D圖像重建不完整、出現(xiàn)空白區(qū)域的問題，而使用共聚焦顯微鏡，則能夠輕松獲取完整的形貌數(shù)據(jù)與3D圖像。
圖.磨損形貌
使用軟件的孔洞體積功能對(duì)圖像磨損區(qū)域進(jìn)行處理與分析，能夠獲取準(zhǔn)確的磨損區(qū)域深度、面積、體積等數(shù)值，從而對(duì)摩擦工藝參數(shù)與蝕坑形狀以及磨損量的相關(guān)性進(jìn)行定量研究，實(shí)現(xiàn)對(duì)摩擦磨損的有效利用。
展開 助力科研|光學(xué)3D表面輪廓儀服務(wù)超精密拋光技術(shù)發(fā)展
隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，精密制造領(lǐng)域?qū)Σ牧?em>表面的處理要求越來越高，超精密拋光技術(shù)作為當(dāng)下表面處理的尖端技術(shù)，對(duì)各種高精密產(chǎn)品的生產(chǎn)起到了至關(guān)重要的作用，已廣泛應(yīng)用于集成電路制造、醫(yī)療器械、航空航天、3C電子、汽車、精密模具等多個(gè)先進(jìn)制造行業(yè)。
SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀通過納米傳動(dòng)與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)實(shí)現(xiàn)0.1nm級(jí)表面粗糙度測(cè)量，成為超精密拋光技術(shù)研究領(lǐng)域的重要工具和幫手。
光學(xué)3D表面輪廓儀助力科研課題研究，服務(wù)超精密拋光技術(shù)發(fā)展
浙江工業(yè)大學(xué)趙軍、呂冰海團(tuán)隊(duì)對(duì)磨料旋轉(zhuǎn)射流拋光(ARJP)技術(shù)，剪切增稠拋光技術(shù)等開展深入研究，并利用SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀對(duì)拋光后表面粗糙度進(jìn)行檢測(cè)驗(yàn)證，多篇論文在國(guó)際TOP期刊發(fā)布。
展開 “軟件即儀器”——全新架構(gòu) Xtreme Vision顯微測(cè)量軟件平臺(tái)
“軟件即儀器”，工業(yè)測(cè)量軟件較為復(fù)雜，涵蓋了軟件架構(gòu)、信號(hào)處理、圖像處理、數(shù)值計(jì)算、空間幾何、三維建模、3D渲染、并行計(jì)算、人機(jī)交互等多種交叉軟學(xué)科，是測(cè)量?jī)x器系統(tǒng)極為重要的組成部分，中圖儀器一直致力于自主化工業(yè)測(cè)量軟件的開發(fā)和應(yīng)用。
Xtreme Vision顯微測(cè)量軟件是中圖儀器為SuperView系列光學(xué)3D表面輪廓儀、VT系列共聚焦顯微鏡打造的一款功能強(qiáng)大的微觀形貌測(cè)量分析平臺(tái),廣泛應(yīng)用于對(duì)器件表面質(zhì)量要求極高的光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造與封裝、超精密加工、3C產(chǎn)業(yè)鏈、航空航天、國(guó)防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域。
XtremeVision顯微測(cè)量軟件平臺(tái)集成了3D形貌重建，多工具測(cè)量分析，影像觀察測(cè)量以及自動(dòng)化測(cè)量四大功能模塊，全力滿足不同領(lǐng)域材料的高精度形貌表征需求：
1、非接觸式無損檢測(cè)，高精度全面三維成像，簡(jiǎn)明流暢的界面設(shè)計(jì)致力于為用戶帶來更加舒適的測(cè)量體驗(yàn)，告別繁瑣流程，新手小白也能迅速上手;
2、3D測(cè)量界面可以對(duì)掃描數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，豐富的測(cè)量工具包可還原樣品微小細(xì)節(jié)；
3、2D影像可用于直接對(duì)視場(chǎng)內(nèi)樣品標(biāo)注測(cè)量，記錄樣品二維尺寸；
4、自動(dòng)化綜合了所有測(cè)量場(chǎng)景，模板一鍵導(dǎo)入，就能自動(dòng)高效完成任意多點(diǎn)位的測(cè)量分析所有流程，解放雙手省心省力。
展開 
白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)與臺(tái)階儀的區(qū)別
表面形貌即為表面微觀幾何形態(tài)，不僅對(duì)接觸零件的機(jī)械和物理特性起著決定作用，而且對(duì)一些非接觸零件的光學(xué)和外部特性影響也很大。所以對(duì)表面形貌的精準(zhǔn)測(cè)量能正確地識(shí)別出加工過程的變化和缺陷，對(duì)研究表面幾何特性與使用性能的關(guān)系、控制和改進(jìn)加工方法等都有著顯著的意義。
隨著微電子技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、傳感技術(shù)、信號(hào)分析和處理技術(shù)等飛速發(fā)展，對(duì)表面形貌測(cè)量精度不斷提高，從微米尺度進(jìn)入了納米甚至是亞納米尺度。臺(tái)階儀與白光干涉儀，兩者雖然都是表面微觀輪廓測(cè)量利器，但還是有所不同。
1、測(cè)量方式
（1）CP200臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，測(cè)量時(shí)通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺(tái)移動(dòng)樣品時(shí)掃描其表面，測(cè)針的垂直位移距離被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相匹配的電信號(hào)并最終轉(zhuǎn)換為數(shù)字點(diǎn)云信號(hào)，數(shù)據(jù)點(diǎn)云信號(hào)在分析軟件中呈現(xiàn)并使用不同的分析工具來獲取相應(yīng)的臺(tái)階高或粗糙度等有關(guān)表面質(zhì)量的數(shù)據(jù)。
（2）SuperViewW1白光干涉儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)非接觸式測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
2、測(cè)量應(yīng)用
（1）臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。
展開 光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)金屬嗎？
光學(xué)3D表面輪廓儀是基于白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等快速、準(zhǔn)確測(cè)量物體表面的形狀和輪廓的檢測(cè)儀器。它利用光學(xué)投射原理，通過光學(xué)傳感器對(duì)物體表面進(jìn)行掃描，并根據(jù)反射光的信息來重建物體的三維模型。這種測(cè)量方式具有非接觸性、高精度、高速度等優(yōu)點(diǎn)，非常適合用于金屬等材料的表面測(cè)量。
光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量金屬的形狀、表面缺陷、幾何尺寸等多個(gè)方面：
1、形狀測(cè)量。光學(xué)3D表面輪廓儀可以快速、準(zhǔn)確地獲取金屬表面的曲率、凹凸等特征。
2、表面缺陷檢測(cè)。光學(xué)3D表面輪廓儀可以實(shí)時(shí)捕捉金屬表面的瑕疵、劃痕、凹陷等問題，以便及時(shí)修復(fù)和改進(jìn)。
3、幾何尺寸測(cè)量。光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量金屬制品的長(zhǎng)度、寬度、高度等維度參數(shù)。
除了測(cè)量金屬表面的形狀和輪廓外，光學(xué)3D表面輪廓儀還可以生成三維點(diǎn)云數(shù)據(jù)和色彩圖像，用于進(jìn)一步分析和展示：
1、三維點(diǎn)云數(shù)據(jù)可以用于進(jìn)行CAD模型比對(duì)、工藝分析等，幫助優(yōu)化生產(chǎn)流程和提高產(chǎn)品質(zhì)量；
2、色彩圖像可以直觀地展示金屬表面的紋理、顏色等特征，為審美評(píng)價(jià)和設(shè)計(jì)提供參考。
SuperViewW1能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。
總之，光學(xué)3D表面輪廓儀在金屬測(cè)量方面應(yīng)用廣泛，可以實(shí)現(xiàn)非接觸式、高精度的測(cè)量。但是在測(cè)量前需要充分了解被測(cè)金屬的特性，通過合理的儀器操作和數(shù)據(jù)處理，才能得到精準(zhǔn)的測(cè)量結(jié)果。想了解更多可咨詢中圖儀器。
展開 白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)只能測(cè)同質(zhì)材料嗎？
白光干涉儀以白光干涉為原理，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)等領(lǐng)域，對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析，是一種常見的光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x器。但是許多人對(duì)白光干涉儀的使用范圍和限制性存在疑問，本文將圍繞“白光干涉儀是否智能測(cè)量同質(zhì)材料？”進(jìn)行深入探討。
白光干涉儀由光源、分光器、干涉儀和探測(cè)器等部分組成。儀器基于干涉現(xiàn)象原理工作：當(dāng)兩束或多束光線相互疊加時(shí)，會(huì)發(fā)生干涉現(xiàn)象。白光干涉儀利用這種干涉現(xiàn)象來測(cè)量光的相位差，從而獲得材料的相關(guān)參數(shù)。
光源發(fā)出的白光通過分光器被分成兩束光線，分別經(jīng)過不同的光路。然后，這兩束光線再次相遇并疊加在一起，形成干涉圖樣。通過干涉圖樣的變化，我們可以得到材料的相關(guān)信息。
白光干涉儀只能測(cè)同質(zhì)材料嗎？答案是否定的。在實(shí)際應(yīng)用中，白光干涉儀的測(cè)量對(duì)象可以是各種類型的材料，例如金屬、陶瓷、塑料等。無論是同質(zhì)材料還是非同質(zhì)材料的測(cè)量，白光干涉儀的干涉圖樣分析和計(jì)算方法都可以提供準(zhǔn)確而詳細(xì)的測(cè)量結(jié)果：
1、同質(zhì)材料具有相似的光學(xué)特性，因此可以采用簡(jiǎn)化的分析方法。利用干涉儀圖樣的分析，可以直接獲得相關(guān)參數(shù)（如膜層厚度、表面粗糙度、膜層折射率等），從而得到準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。
2、對(duì)于非同質(zhì)材料，由于其光學(xué)特性的差異性，分析方法相對(duì)更為復(fù)雜，通常需要借助計(jì)算機(jī)模擬和計(jì)算等手段來精確測(cè)量參數(shù)。
無論是研究材料性質(zhì)、表面形貌，還是進(jìn)行質(zhì)量控制和判別等方面，白光干涉儀都具有廣泛的應(yīng)用前景。
SuperViewW1白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。
展開 光學(xué)3D表面輪廓儀：滿足多元超精密微觀尺寸測(cè)量需求
光學(xué) 3D 表面輪廓儀采用先進(jìn)的光學(xué)原理和精密的測(cè)量技術(shù)，能夠?qū)ξ矬w表面進(jìn)行非接觸式的三維測(cè)量。與傳統(tǒng)的測(cè)量方法相比，它具有諸多優(yōu)勢(shì)。首先，非接觸式測(cè)量避免了對(duì)被測(cè)物體的損傷，尤其對(duì)于一些精密的、易損的材料和工件，能夠在不影響其性能的前提下進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。其次，高分辨率的測(cè)量能力可以捕捉到物體表面微小的細(xì)節(jié)，無論是納米級(jí)的微觀結(jié)構(gòu)還是宏觀物體的復(fù)雜形貌，都能清晰呈現(xiàn)。再者，快速的測(cè)量速度使得它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量數(shù)據(jù)的采集，提高了工作效率。
SuperViewW 系列光學(xué) 3D 表面輪廓儀，涵蓋了多種不同類型的產(chǎn)品，滿足了不同客戶的多樣化需求。無論是追求高精度測(cè)量的科研機(jī)構(gòu)，還是需要測(cè)量大尺寸工件的工業(yè)企業(yè)，都能在這個(gè)系列中找到最適合自己的解決方案。
高精度：精準(zhǔn)捕捉每一個(gè)細(xì)節(jié)
在高精度測(cè)量要求的應(yīng)用場(chǎng)景中，高精度光學(xué) 3D 表面輪廓儀采用先進(jìn)的白光干涉技術(shù)，能夠精確地捕捉物體表面的微小細(xì)節(jié)，為科研人員和工程師們提供了可靠的數(shù)據(jù)支持。如在材料科學(xué)領(lǐng)域，通過高精度光學(xué) 3D 表面輪廓儀對(duì)新型納米材料進(jìn)行表面形貌研究，可以精準(zhǔn)測(cè)量出納米材料表面的高度信息、粗糙度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)，為進(jìn)一步優(yōu)化材料性能提供了重要依據(jù)。其精度之高，可達(dá)到納米級(jí)別。
大尺寸測(cè)量：輕松應(yīng)對(duì)大型工件
在需要測(cè)量大尺寸工件時(shí)，SuperViewW 系列同樣有相應(yīng)的產(chǎn)品可供選擇。這些大尺寸測(cè)量?jī)x器具備廣闊的測(cè)量范圍和穩(wěn)定的性能，能夠輕松應(yīng)對(duì)各種大型工件的測(cè)量任務(wù)。
WX-S1000，升級(jí)版超大行程光學(xué)3D表面輪廓儀（龍門結(jié)構(gòu)，超大行程，氣浮隔振，穩(wěn)如泰山），2D表面測(cè)量/3D立體重建一鍵全自動(dòng)測(cè)量，高精度微納尺寸形貌檢測(cè)利器。
展開 光學(xué)3D表面輪廓儀超0.1nm縱向分辨能力，讓顯微形貌分毫畢現(xiàn)
此外，不管是從超光滑到粗糙，還是低反射率到高反射率的物體表面，光學(xué)3D表面輪廓儀都能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。
全透明表面、漫反射表面、鏡面反射表面，可測(cè)反射率：覆蓋近0%~100%的表面反射率。
光學(xué)3D表面輪廓儀具有高精度、高速度和高可靠性等優(yōu)點(diǎn)，在科學(xué)研究、質(zhì)量控制、表面工程和納米制造等領(lǐng)域中，發(fā)揮著舉足輕重的作用。
光學(xué)3D表面輪廓儀&共聚焦顯微鏡：引領(lǐng)半導(dǎo)體行業(yè)走向新質(zhì)生產(chǎn)力時(shí)代
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展和智能制造的推動(dòng)，半導(dǎo)體制造過程中，對(duì)尺寸、形狀和表面質(zhì)量的檢測(cè)至關(guān)重要。而顯微測(cè)量儀的高精度、高分辨率的測(cè)量能力，為半導(dǎo)體行業(yè)提供了強(qiáng)大的支持。
SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀結(jié)合機(jī)械制造、計(jì)算機(jī)技術(shù)、圖像出處理技術(shù)，以非接觸的掃描方式，實(shí)現(xiàn)針對(duì)樣品表面的高重復(fù)精度的3D測(cè)量，獲取樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)。
儀器集合PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點(diǎn)的EPSI掃描算法，從0.1nm級(jí)別的超光滑表面到數(shù)十微米級(jí)別的粗糙表面，都能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。此外具有的同步分析與預(yù)編程分析功能，實(shí)現(xiàn)了分析過程的所見即所得，測(cè)量到分析的一鍵式操作，有效縮減操作步驟。
VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和優(yōu)異的3D重建算法，可對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)粗糙度、微觀幾何輪廓等的測(cè)量。在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)中，對(duì)大傾角產(chǎn)品有更好的成像效果。
在芯片制造的各個(gè)環(huán)節(jié)，顯微測(cè)量儀用于檢測(cè)半導(dǎo)體芯片和晶圓的尺寸和形狀，提供準(zhǔn)確的尺寸測(cè)量，滿足半導(dǎo)體制造過程中對(duì)尺寸、形狀和表面質(zhì)量更嚴(yán)格的要求，幫助制造商及時(shí)發(fā)現(xiàn)和糾正任何偏差；在表面質(zhì)量的評(píng)估和缺陷檢測(cè)方面，顯微測(cè)量儀可以檢測(cè)微小的表面缺陷和污染，確保產(chǎn)品的表面質(zhì)量達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求，提高產(chǎn)品的可靠性和穩(wěn)定性。
我們有理由相信，在新技術(shù)和新思維的推動(dòng)下，顯微測(cè)量儀將使半導(dǎo)體行業(yè)邁向更加智能化、高效化和可持續(xù)化的未來。
展開 微觀特征輪廓尺寸測(cè)量：光學(xué)3D輪廓儀、共焦顯微鏡與臺(tái)階儀的應(yīng)用
多種高精度測(cè)量?jī)x器被用于微觀尺寸的測(cè)量，其中包括光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）、共聚焦顯微鏡和臺(tái)階儀。有效評(píng)估材料表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，從而指導(dǎo)生產(chǎn)過程、優(yōu)化產(chǎn)品性能。
光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）
光學(xué)3D表面輪廓儀是一種利用白光干涉原理進(jìn)行非接觸式測(cè)量的高精度儀器。它通過分析反射光的干涉模式來重建表面的三維形貌。
非接觸無損測(cè)量，超高縱向分辨率，測(cè)量從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面。測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等等）；
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。
光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于對(duì)器件表面質(zhì)量要求超高的光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造與封裝、超精密加工、3C產(chǎn)業(yè)鏈等，同時(shí)在航空航天、國(guó)防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域也存在普遍使用。它能以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。
共聚焦顯微鏡
共聚焦顯微鏡以共軛共焦技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面3D微觀形貌檢測(cè)的精密光學(xué)儀器。
非接觸式無損檢測(cè)方式，復(fù)雜結(jié)構(gòu)的大角度形貌測(cè)量能力，優(yōu)異的橫向分辨率，低反射率表面的適應(yīng)性強(qiáng)。
共聚焦顯微鏡廣泛應(yīng)用于對(duì)器件表面質(zhì)量要求非常高的光伏太陽能、半導(dǎo)體封裝、激光加工、光學(xué)膜材、3C產(chǎn)業(yè)鏈等高端制造業(yè)，同時(shí)在航空航天、國(guó)防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域也存在普遍使用。
展開 
3d光學(xué)輪廓儀應(yīng)用于測(cè)量超光滑透明微光學(xué)器件
微光學(xué)器件是光學(xué)器件的重要分支，為光學(xué)通信、光傳感、光計(jì)算等領(lǐng)域的發(fā)展提供重要支撐。微光學(xué)器件具有尺寸小、功耗低、低成本等優(yōu)勢(shì)，可以于電子器件集成，實(shí)現(xiàn)更高效的數(shù)據(jù)傳輸和信號(hào)處理。未來，隨著微納加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，微光學(xué)器件的功能將繼續(xù)擴(kuò)展，應(yīng)用范圍將進(jìn)一步拓寬。同時(shí)，微光學(xué)器件也面臨著制備工藝、材料性能、器件可靠性等方面的挑戰(zhàn)，需要進(jìn)一步的研究和改進(jìn)。
微光學(xué)器件是指尺寸在微米到毫米級(jí)別的光學(xué)元件，其尺寸比傳統(tǒng)光學(xué)器件小很多。微光學(xué)器件利用了微納加工技術(shù)，將光學(xué)器件的功能集成到微米尺寸的芯片中，具有小型化、集成化、高效率、低成本等特點(diǎn)。微光學(xué)器件同時(shí)具備納米尺度的輪廓起伏變化和超光滑且透明的特點(diǎn)，該特點(diǎn)導(dǎo)致的測(cè)量需求，3d光學(xué)輪廓儀(白光干涉儀)能滿足。
3d光學(xué)輪廓儀通過利用白光的干涉和衍射現(xiàn)象，能夠?qū)ξ⑿〉?em>表面高度差異進(jìn)行精確測(cè)量，并得出精準(zhǔn)的尺寸和形態(tài)數(shù)據(jù)。
對(duì)于超光滑透明微光學(xué)器件的測(cè)量來說，3d光學(xué)輪廓儀不僅具備高精度和高分辨率的特點(diǎn)，還能夠快速、無損地獲得物體的三維形貌信息，所以白光干涉儀有以下幾個(gè)重要的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)：
1、高精度：3d光學(xué)輪廓儀能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的測(cè)量精度，可以準(zhǔn)確檢測(cè)器件表面的微小高度差異。這對(duì)于一些要求非常高的器件尺寸和形貌測(cè)量非常重要。
2、高分辨率：3d光學(xué)輪廓儀具有很高的空間分辨率，可以捕捉到微小的表面變化。它可以清晰地顯示出微光學(xué)器件表面的各種細(xì)微紋理和形貌特征，為后續(xù)的分析和優(yōu)化提供了有力的支持。
3、快速非接觸：與傳統(tǒng)的測(cè)量方法相比，3d光學(xué)輪廓儀無需直接接觸被測(cè)對(duì)象，避免了對(duì)器件的破壞和變形。同時(shí)，它的測(cè)量速度很快，可以在短時(shí)間內(nèi)完成大量數(shù)據(jù)的采集和分析。
展開 納米級(jí)材料尺寸如何測(cè)量？
在納米顯微測(cè)量領(lǐng)域，中圖儀器基于納米傳動(dòng)與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)、共聚焦測(cè)量等技術(shù)積累，推出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的白光干涉儀（Z向分辨率可高達(dá)0.1納米）和共聚焦顯微鏡，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C電子、高?？蒲械刃袠I(yè)領(lǐng)域。
從納米到宏觀，產(chǎn)品解決方案全面覆蓋，滿足多樣化需求：
1、光學(xué)3D表面輪廓儀
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀利用白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，能夠?qū)Ω鞣N精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。
2、共聚焦顯微鏡
VT6000系列共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。
3、臺(tái)階儀
CP系列臺(tái)階儀采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率。
中圖儀器以深厚的技術(shù)積累、創(chuàng)新的產(chǎn)品解決方案和全球化的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，為全球客戶提供精準(zhǔn)、可靠的測(cè)量產(chǎn)品和服務(wù)。未來公司將不斷推動(dòng)科技創(chuàng)新，繼續(xù)在精密測(cè)量領(lǐng)域發(fā)揮領(lǐng)導(dǎo)作用，助力科技進(jìn)步和工業(yè)發(fā)展。
展開 納米級(jí)材料尺寸測(cè)量：從微觀到宏觀，納米精度，中圖智造
中圖儀器作為一家專注于3D測(cè)量技術(shù)的高新技術(shù)企業(yè)，在這方面取得了顯著的成就。
創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)，技術(shù)領(lǐng)先
中圖儀器專注于精密儀器研發(fā)、制造和銷售，服務(wù)于顯微尺寸、常規(guī)尺寸和大尺寸等工業(yè)制造過程中的各種測(cè)量需求。在納米顯微測(cè)量領(lǐng)域，基于納米傳動(dòng)與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)、共聚焦測(cè)量等技術(shù)積累，推出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的白光干涉儀（Z向分辨率可高達(dá)0.1納米）和共聚焦顯微鏡，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C電子、高?？蒲械刃袠I(yè)領(lǐng)域。
微納米超精密測(cè)量技術(shù)，精確捕捉微觀世界
納米級(jí)測(cè)量技術(shù)是中圖儀器科技創(chuàng)新的重要體現(xiàn)。公司采用的白光干涉三維重建技術(shù)、微納米顯微測(cè)量3D軟件平臺(tái)以及微納米運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)制造平臺(tái)，為納米級(jí)材料的尺寸測(cè)量提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支撐。這些技術(shù)不僅能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)材料表面微觀形貌的高精度測(cè)量，還能夠?qū)Σ牧系暮穸?、粗糙度等參?shù)進(jìn)行精確分析。
產(chǎn)品解決方案全面覆蓋，滿足多樣化需求
從納米到宏觀，中圖產(chǎn)品線全面覆蓋各個(gè)尺度的測(cè)量需求。
1、光學(xué)3D表面輪廓儀
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀利用白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，能夠?qū)Ω鞣N精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。
典型應(yīng)用：
2、共聚焦顯微鏡
VT6000系列共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。
展開 如何根據(jù)產(chǎn)品的表面尺寸測(cè)量需求選擇合適的測(cè)量設(shè)備
那么如何根據(jù)產(chǎn)品的表面尺寸測(cè)量需求選擇合適的測(cè)量設(shè)備？
了解測(cè)量需求
首先，企業(yè)需要根據(jù)自身產(chǎn)品的特點(diǎn)確定測(cè)量需求。這包括但不限于產(chǎn)品的尺寸范圍、公差要求、表面特性（如粗糙度、反射率）、測(cè)量精度以及是否需要三維形貌信息等。
選擇合適的測(cè)量技術(shù)
不同的測(cè)量技術(shù)適用于不同的應(yīng)用場(chǎng)景。如：
1、白光干涉技術(shù)：適用于對(duì)各種材料表面進(jìn)行非接觸式測(cè)量，建立3D圖像，并進(jìn)行形貌分析，用于超精密加工行業(yè)，如半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件等，可以提供亞納米級(jí)的測(cè)量精度。
2、共聚焦顯微鏡技術(shù)：適用于微觀形貌和輪廓尺寸的檢測(cè)，能夠在納米到微米級(jí)別測(cè)量工件的粗糙度、平整度等。
考慮設(shè)備的功能與性能
在選擇測(cè)量設(shè)備時(shí)，需要考慮設(shè)備的功能是否滿足測(cè)量需求，以及設(shè)備的性能指標(biāo)是否達(dá)到工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。如：
1、VX8000系列閃測(cè)儀
- 適用于快速精準(zhǔn)測(cè)量，特別適合CNC模式下的批量測(cè)量。
- 具備一鍵閃測(cè)功能，可自動(dòng)識(shí)別和匹配模板，簡(jiǎn)化操作流程。
2、Novator系列影像儀
- 結(jié)合了傳統(tǒng)影像測(cè)量與激光測(cè)量掃描技術(shù)，實(shí)現(xiàn)2.5D和3D復(fù)合測(cè)量。
- 支持頻閃照明和飛拍功能，大幅提升測(cè)量效率。
3、Mars Classic移動(dòng)橋式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)
- 適合對(duì)各種零部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行精密檢測(cè)。
- 采用高性能的測(cè)控系統(tǒng)，確保測(cè)量的高精度和高重復(fù)性。
4、SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀
- 利用白光干涉技術(shù)，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。
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