柔性液晶薄膜的案例
lexEnable開發柔性液晶薄膜：解決AR和VR設備中光學性能和穿戴舒適性問題
放棄使用玻璃：增加功能，減輕重量，提高舒適度
盡管玻璃基液晶盒已經存在了幾十年了，但在AR和VR設備開發中，它的重量和厚度一直為人詬病，這一點對于某些設計尤為明顯，這些產品的設計中，每個光學模塊通常都包括多個液晶盒。使用多個液晶盒的原因有兩個，第一是聚焦非偏振光，在這種應用中，設計人員通常會將兩個液晶盒以吸收軸正交的方式貼合在一起。第二是增加顯示的動態范圍，在這種應用中，設計人員通常需要將多個液晶盒堆疊在一起（以增加總的屈光度）。這些過程中，幾乎所有的增加重量都源自液晶單元的玻璃基板。
所以從這個角度出發，取消液晶盒中的玻璃基板將能夠帶來很大的好處。這其中就包括調節環境光和引入可調諧透鏡，這樣做與玻璃基液晶盒方案相比，基本不會增加成品重量。
制造工藝
直到最近，無玻璃型液晶盒光學器件的制造一直都具有非常大的挑戰性。與形成晶體管和其他必要薄膜組件所需工藝溫度兼容的非玻璃基板，其光學性能一般都不能和玻璃基板媲美。但是現在，隨著有機電子器件的發展，它為我們帶來了一種獨特的解決方案，它能夠提供一種光學效果非常理想的柔性基板。
針對于此，FlexEnable開發了一套完整的低溫制造工藝，用于在超薄柔性基板上生產液晶盒光學器件和有機薄膜晶體管（OTFT）。該制造過程是在重新調整用途的平板顯示器（FPD）生產線中進行的。由此制造出的柔性液晶盒光學元件可以進一步通過熱成型工藝，貼附到具有復雜雙軸曲率的光學表面上。這樣的柔性方案能夠在為AR和VR應用提供功能的同時，幾乎不增加額外的重量或厚度，實際上，一個典型的柔性液晶單元只有100μm厚。此外，在需要的情況下，這種方案還可以通過多層堆疊的方式提高屈光度和其他性能。
展開 50-600nm厚度的高遷移率、柔性大面積石墨烯薄膜
50-600nm厚度的高遷移率、柔性大面積石墨烯薄膜
50-600nm厚度的高遷移率、柔性大面積石墨烯薄膜
此外，作者通過將200 nm厚的nMAG層層組裝，降低薄膜氣體逸散阻力，進而抑制氣囊的產生。所制備10 μm厚的石墨烯薄膜表現出了較低的折皺密度以及高的導熱系數(1581 W m?1 K?1)。研究成果以“Flexible Large?Area Graphene Films of 50–600 nm Thickness with High Carrier Mobility”為題發表于《Nano-Micro Letters》。 l 03圖文導讀 圖1. 超薄自支撐GO/PAN薄膜的制備。 圖2. 基于PAN原子氣體溢出通道。 圖3. nMAG的結構和柔性。 圖4. nMAG的電學性能和應用。 圖5. 由200 nm nMAG 組裝的10 μm mMAG的熱性能。 ★ 平臺聲明 部分素材源自網絡，版權歸原作者所有。分享目的僅為行業信息傳遞與交流，不代表本公眾號立場和證實其真實性與否。如有不適，請聯系我們及時處理。歡迎參與投稿分享！
展開 新型柔性液晶顯示屏：輕薄、柔性、便宜！
導讀
近日，東華大學與香港科技大學的光電子工程師們制造出一種紙張般的液晶顯示屏（LCD），它不僅輕薄，而且具有柔性和韌性。
背景
液晶顯示屏（ Liquid Crystal Display ），也稱LCD，是一種常用于電視機、計算機、智能手機等消費電子產品的屏幕顯示設備。
下圖所示：卡西歐電子表上液晶顯示屏。
（圖片來源：維基百科）
說起液晶顯示屏，我們首先應該了解一下液晶是什么？液晶是在1888年，由奧地利植物學家萊尼茨爾（Reinitzer）發現的，是一種介于固體與液體之間，具有規則性分子排列的有機化合物。在不同電流電場作用下，液晶分子會做規則旋轉90度排列，產生透光度的差別，這樣就會在電源開關下產生明暗差別，依此原理控制每個像素，便可構成所需圖像。
液晶顯示屏的構造是在兩片平行的玻璃基板之間放置液晶盒，下基板玻璃上設置TFT（薄膜晶體管），上基板玻璃上設置彩色濾光片，通過TFT上的信號與電壓改變來控制液晶分子的轉動方向，從而達到控制每個像素點偏振光出射與否，從而達到顯示的目的。
如今，電子產品的發展呈現出小型化、輕薄化、柔性化、低成本的趨勢（筆者介紹過許多體現這一趨勢的創新研究案例）。液晶顯示屏也不例外，16年年底時，筆者曾介紹過日本東北大學開發的超級柔性液晶顯示屏。這種柔性液晶顯示屏具有大面積、高分辨率、高穩定性等優點，可以應用于移動信息終端、可穿戴設備和大型電子標牌等場景中。
（圖片來源：日本東北大學）
創新
今天要介紹的液晶顯示屏的創新研究成果，又一次體現了小型化、輕薄化、柔性化、低成本的創新趨勢。
近日，東華大學與香港科技大學的光電子工程師們制造出一種紙張般的液晶顯示屏（LCD），它不僅輕薄，而且具有柔性和韌性。有了這項技術，日報的內容可上傳到柔性顯示器上，如同新聞直播一樣快速更新。
展開 新型柔性薄膜晶體管：有望帶來高性能柔性可穿戴設備！
導讀
近日，中國山東大學與英國曼徹斯特大學的研究人員在柔性電子領域取得一項重要進展，他們開發出超高速的新型柔性納米晶體管。它由氧化物半導體制成，能以1GHz 的基準速度運行。
背景
傳統電子產品，往往會給我們一種“僵硬”的印象，它們無法經受彎曲、扭曲和拉伸。然而，新興的柔性電子產品卻彌補了傳統電子產品的這些不足。特別是對于可穿戴設備來說，柔性電子技術的發展大大改善了用戶的佩戴體驗，更加適應人體的自由運動。
之前，筆者曾介紹過許多柔性電子產品，例如：柔性電池、柔性液晶屏、柔性可穿戴傳感器、柔性的有機閃存、柔性超級電容、柔性微處理器、柔性觸控傳感器、柔性天線、柔性電子紙張等等。為了讓大家有一個更直觀的認識，下面通過圖片進行展示：
（圖片來源：加州大學圣地亞哥分校）
（圖片來源：日本東北大學）
（圖片來源：佛羅里達州立大學）
（圖片來源：KAIST）
（圖片來源：曼徹斯特大學）
（圖片來源：英屬哥倫比亞大學）
（圖片來源：Graphene Flagship）
（圖片來源： Mats Tiborn）
創新
近日，在柔性電子領域又出現一項重要研究進展。中國山東大學（ Shandong University）與英國曼徹斯特大學（University of Manchester ）的研究人員合作開發出一種新型超高速的柔性納米晶體管，也稱為“薄膜晶體管”（TFT）。它由氧化物半導體制成，能以1GHz 的基準速度運行。
技術
TFT 是一種通常應用于液晶顯示屏（LCD）中的晶體管。具有LCD顯示屏的大多數現代電子設備，例如智能手機、平板電腦和高清電視，都具有TFT。
TFT是如何工作的呢？
展開 
一種用于熱管理的柔性相變薄膜材料
02
成果掠影
近期，中國科學院大連物理化學研究所史全教授在開發具有柔性的熱管理相變材料取得新的成果。該團隊開發了一種具有高轉變焓的柔性自愈相變膜，該相變膜具有較高的儲能密度、良好的柔韌性和自愈能力。實驗結果表明在98.7℃的相變溫度下，相變膜具有優異的彈性，相變焓高達191.5 J/g。值得注意的是，由于氫鍵的可逆性，柔性相變膜具有良好的自修復能力，其自修復效率高達91.1%。此外，還將相變膜附著在加熱平臺表面，以評估其在熱管理方面的潛力。該柔性自愈相變膜在不同升溫速率下均能保持高效的熱管理能力，具有發展先進熱管理技術的巨大潛力。研究成果以“Flexible self-healing phase change film with high transition enthalpy for thermal management ”為題發表于《Journal of Energy Storage》。
03
圖文導讀
圖1.PVP/PVA/Ery相變膜的制備方案。
圖2.材料的XRD結構示意圖。
圖3.相變薄膜材料的防漏實驗。
圖4.相變薄膜的自愈合過程。
圖5.相變膜光學圖片以及材料的TGA/DSC曲線。
圖6.熱管理性能應用示意圖。
展開 具有優異的柔性和熱管理性能的石墨烯薄膜
近年來，具有高導熱系數的柔性TIM引起了研究者的廣泛關注，以解決柔性電子器件中的過度散熱和改善熱管理問題。
石墨烯(Gr)是一種最有前途的二維(2D)納米材料，具有極高的導熱系數(5300 W/（mK）)，優異的柔韌性。然而，由于Gr的分散性差和Gr片間熱阻高，Gr膜的導熱系數明顯低于單層Gr。因此，在考慮降低熱阻的同時，應努力改善Gr片材在懸浮液中的分散，促進其在膜中的取向。
為了獲得高導熱的柔性Gr薄膜，提高Gr的分散性至關重要。芳綸納米纖維(ANFs)、明膠、聚乙烯吡咯烷酮(PVP)被用作Gr分散體的分散劑，PVP中親水性(-CONH)和疏水性(-CH)基團的存在加速了Gr的分散，導致真空過濾后形成致密的高導熱石墨烯薄膜。然而，PVP的導熱系數低得多，這將略微降低石墨烯薄膜的導熱系數。因此如何通過PVP提高Gr的分散性而不惡化導熱性的材料制備技術是非常重要的。
02
成果掠影
近期，中國科學院大學李江濤團隊通過真空輔助過濾策略提出了高導熱和柔性石墨烯(Gr)薄膜。在真空剪切力和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)的分散作用的驅動下，由于氫鍵(h -鍵)的作用，石墨烯片層呈層狀堆疊。高度層合的Gr/PVP薄膜(GPVP-F)表現出81.2 W/（mK）的高面內導熱系數和5.1 W/（mK）的垂直平面導熱系數。在實際應用中，GPVP-F作為柔性TIM使用時，使發光二極管(LED)芯片溫度降低4.3°C(從46.1°C降至41.8°C)，對于室溫器件(< 50°C)的冷卻效果處于先進水平。此外，GPVP-F即使在100°C下仍具有優異的導熱性(68.1 W/（mK）)，并且經過10次加熱冷卻循環后仍具有出色的穩定性。更重要的是，出色的靈活性確保了GPVP-F能夠應用于不規則形狀的設備。
展開 柔性薄膜壓力傳感器在模具間隙測量中的應用
壓力測量工具——柔性薄膜壓力傳感器
柔性薄膜壓力傳感器可通過壓力采集板的壓阻隨壓力的變化，測量出檢測區域的壓力值，通過電流信號傳輸至顯示終端，由壓力感應模塊，數據收集、發送模塊和壓力顯示終端3 部分組成(圖6)，其中壓力感應模塊可承受1 ～300 PSI，厚度0.2mm（厚度可根據要求定制）厚度小于沖壓制件最小板料厚度(0.65mm)，工作時將壓力感應模塊置于模具型面的強壓面中，由數據收集、發送模塊記錄數據并通過無線信號/藍牙將數據發至顯示終端，顯示終端將采集的壓力數據轉化成圖像，并顯示所有檢測點的壓力值。
圖6 柔性薄膜壓力傳感器構成
柔性薄膜壓力傳感器實現對模具上下模壓料區域壓料力的數據化、可視化，結合制件工藝設計過程中的CAE 分析(圖7)，進行數值差異對比，便于快速查找制件面品問題真因，并進行快速處置，通過數據的統計記錄，實現對模具強壓面的預防性管理。
圖7 模具設計CAE 模擬分析制件不同區域的理論壓料力數值
柔性薄膜壓力傳感器的使用
柔性薄膜壓力傳感器壓力感應模塊厚度0.2mm (厚度可根據要求定制)，為適應感應器的使用范圍，按照國內一般汽車沖壓件板材厚度，一般可通過包覆柔性塑料的方式來制作，厚度0.6mm，測試時在依據制件的實際板料厚度對壓力感應模塊進行包覆，以達到與板料同厚度，提高壓力測量的準確性，并且對感應模塊進行保護。具體使用步驟如下。
如圖8 所示，傳感器壓力感應模塊表面包覆柔性塑料(圖9)來保護內部線路及壓力傳感器，厚度為0.6mm，使用時在表面包覆拉延膠帶，使其厚度與測量區域板料厚度保持一致，來保證壓力測量的準確性。
展開 清華大學張強團隊《AFM》：一種超薄、柔性固態電解質薄膜！
本文提出了一種制備超薄、自支撐、柔性硫化物薄膜的自限性方法，自限性是由于纖維素（CEL）和固態電解質顆粒之間的強烈反應，硫化物固態電解質顆粒更傾向與纖維素（CEL）纖維相互作用，而不是自己；因此，當纖維素被一層固態電解質顆粒包裹時，固態電解質膜的厚度不會隨著漿料的增加而增加；最后，固態電解質膜的厚度由預先組織好的指定厚度的多孔襯底來確定。薄的纖維素骨架保證了高的機械強度、良好的柔韌性和對硫化物顆粒的良好附著力，從而在電池中形成連續穩定的離子傳輸通道，具有獨立固態電解質膜和各種正極/負極組合的全固態鋰金屬電池在扣式電池和軟包電池上顯示出優異的循環性能和較高的能量密度。
圖1獨立柔性固態電解質膜和用于構建3D互連離子導電框架的涂有薄硫化物固態電解質層的交叉纖維素骨架的示意圖。SSEs代表硫化物固態電解質，CELs代表纖維素骨架
圖2固態電解質膜的形態特征。(a,c)固態電解質膜和(b,d) 固態電解質顆粒的照片和掃描電鏡圖像；e) 處于機械變形狀態的尺寸為30 mm× 50 mm的柔性固態電解質膜的照片；f）固態電解質膜的橫截面SEM圖像
圖3固態電解質的性質和結構。a) 固態電解質膜和固態電解質顆粒之間的離子電導率、厚度和體積電阻的對比；b) 固態電解質膜和固態電解質顆粒的XRD圖譜
圖4在扣式電池中評價了固態電解質膜的電化學性能。a) 鋰硫電池示意圖；b)0.1C時的循環性能；c) 0.05C和0.5C時的恒電流充放電曲線；d)使用固態電解質膜和固態電解質顆粒的鋰硫電池的倍率性能
圖5在軟包電池中評價固態電解質的電化學性能。
展開 用于電子器件熱管理的高導熱性和低導電性的柔性薄膜
那么如何使相變材料具有優異的傳熱性能，同時能保持低的電導率下和優異的柔性是目前面臨的挑戰之一。
02
成果掠影
大連理工大學唐炳濤教授在制備具有高導熱和低電阻、以及優異的柔性的熱管理材料方面取得新進展。本文提出了一種新型的柔性熱管理相變薄膜PCPU/mCNTs。作者將烷基化改性碳納米管（mCNTs）設計成相變聚氨酯（PCPU）體系。基于高電阻和mCNTs的導熱性能，制備出的PCPU / mCNT薄膜表現出增強的導熱性和高電阻。實驗結果表明，PCPU/ mCNTs薄膜具有優異的柔韌性、抗拉性(>6 MPa)、熱穩定性、高相變焓(>92 J/g)、高導熱系數和高電阻(比銅高5個數量級)。基于上述優異性能，PCPU/mCNTs薄膜可以通過相變和散熱的協同作用，有效地實現電子器件的熱管理。此外，PCPU/mCNTs薄膜還可以根據應用場景進行重塑和回收。該工作為電子器件熱管理材料的設計提供了一種新思路，未來應進一步關注該方法的普適性。研究成果以“Flexible phase change films with enhanced thermal conductivity and low electrical conductivity for thermal management”為題發表于《Chemical Engineering Journal》。
03
圖文導讀
圖1.柔性相變薄膜PCPU/mCNTs的設計思路。
圖2.(a) CNTs改性示意圖。
展開 一種具有優異熱管理和電磁屏蔽性的Cu/PLLA柔性薄膜
因此，具有柔性熱管理和電磁屏蔽材料的超薄功能復合材料在優化可穿戴設備方面具有很大的前景。
熱管理和電磁屏蔽薄膜已被開發用于各種可穿戴應用。傳統的剛性材料，如銅箔和石墨，很難滿足動態和可變的應用條件。柔性織物因其良好的透氣性和低廉的施工成本而廣受歡迎。PLLA是一種具有優異物理性能的可生物降解、高度生物相容性的聚合物，通過靜電紡絲法可以實現高透氣性，并經過一系列處理和反應后保持良好的透氣性。通過將PLLA與金屬納米顆粒結合，可以保持導電材料的導電性。然而，柔性膜較低的強度限制了其耐久性和功能。
此外，柔性織物的透氣性也是決定設備舒適性和可用性的關鍵因素，但金屬復合材料很難同時實現高強度和高透氣性。傳統的纖維膜增強處理方法包括物理方法和化學方法。熱壓和熱輥壓等物理方法需要設備支持，價格昂貴，并且由于強大的外力會嚴重破壞纖維結構，缺乏靈活性。丙酮后處理等化學途徑只能增強纖維連接，效果有限，導致后續金屬涂層分層和不一致。
此外，可穿戴設備的輕薄特性往往會限制導電材料的熱管理能力。熱積累會造成薄膜失效，影響可穿戴織物的舒適性;加入電能也會影響材料的熱工性能。熱傳導和分散往往伴隨著其他材料性能的波動，并依賴于外部溫度，這使得可靠的散熱和熱利用非常有限。因此具有效熱管理和高電磁干擾屏蔽性能并且靈活、透氣的超薄金屬-聚合物纖維膜材料的開發仍然是一個挑戰，極大地限制了可穿戴設備的技術革命。
02
成果掠影
近期，英國曼徹斯特大學材料學院李加深團隊和牛津大學劉澤堃團隊合作設計開發了一種具有優異電磁屏蔽性能和熱管理能力的柔性透氣復合薄膜。
展開 同濟大學《AFM》：一種超高功率因子復合薄膜用于柔性熱電發電機
圖4 復合膜的柔性測試 (彎曲半徑為4 mm)
如圖4所示，在以4 mm為半徑分別彎曲1000次后，該薄膜的電導率僅下降了6.5%，柔性優于絕大部分已報道的柔性熱電材料，與不加PPy的膜相比，該復合薄膜的柔性也有所提升，這主要是PPy有很好的粘結性。
少量PPy的添加產生了四重效應：1）提高Ag2Se晶粒的結晶性從而提升電導率，2）引入能量過濾效應，使薄膜保持較高的塞貝克系數，3）降低熱導率，4）提高柔性。
將復合膜組裝成6個熱電單臂的柔性熱電器件（f-TEG）。
展開 
10英寸超大尺寸復合納米薄膜用于耐溫柔性超級電容器
現有超級電容器的工作溫度區間約為150°C，但柔性較差。在實際工作環境中，超級電容器通常是暴露在復雜系統或極端溫度環境下，如此用于電動汽車或者極度寒冷的地區。
中國石油大學(華東)臧曉蓓和清華大學康飛宇、朱宏偉等人近期在Science China Materials上發表論文，他們制備了面積高達550 cm2(常規尺寸的29倍)的石墨烯/碳納米管/錳氧化物(rGO/CNT/MnOx)復合薄膜，并將其用于耐溫柔性超級電容器。該電極材料的性能取決于復合薄膜中石墨烯、碳納米管和錳氧化物的比例，其中，MnOx賦予其高比電容。此柔性超級電容器可在?20~200°C溫度區間內保持良好的電化學性能和柔性，表現出優異的穩定性。該工作為復合納米材料薄膜的大批量制備和適用于寬溫度區間的柔性超級電容器的發展奠定了基礎。
圖1 超級電容器的柔性
該研究成果最近發表于Science China Materials, 2018, doi: 10.1007/s40843-018-9399-3。
展開 一種具有竹蓀生物仿生結構的高耐用、輻射冷卻和隔熱性能的柔性薄膜
因此，開發具有低導熱性的柔性和堅固的輻射冷卻材料對于輻射冷卻技術的實際應用至關重要。
隨著輻射冷卻材料的發展，人們發現了多孔聚合物薄膜與傳統的冷卻材料相比它們的重量輕，柔韌性好，導熱性低。此外，多孔聚合物薄膜通過操縱孔徑和孔密度來控制傳熱的能力是一個關鍵優勢。研究人員仍在探索如何優化多孔聚合物輻射冷卻材料的孔徑和孔密度，以達到最佳的冷卻性能。
02
成果掠影
近期，復旦大學材料科學系膠體微球與涂料課題組武利民教授和游波教授針對開發具有低導熱性的柔性輻射冷卻材料取得最新進展。竹蓀屬鬼筆菌科，主要生長在中國四川，適宜生長溫度為20 ~ 23℃。其莖的表面有明顯的孔隙，在高倍顯微鏡下，很明顯這些大孔隙是由更小的亞微孔組成的(圖1) 。該團隊受其多層多孔生物結構的啟發，提出了一種新型的hollow@porous輻射冷卻膜，該膜將中空微粒和多孔聚合物結合在一起。制備的hollow@porous柔性薄膜具有較高的太陽光反射率(93.7%)、較強的紅外發射率(89.1%)和超低的導熱系數(17.56 mW/mk)。實驗表明，在峰值太陽強度為980 W/m2時，所制備的冷卻器的日間冷卻性能顯著降低至17.4℃。此外，獨特的hollow@porous結構還通過結合耐候性和自清潔特性加強了薄膜的長期耐用性，即使在惡劣的氣候條件下也能確保穩定高效的輻射冷卻性能。輻射冷卻材料的進步為太陽能電池板、發動機部件、電子設備、新能源電池等的熱管理、節能和冷卻開辟了新的可能性。
展開 韓國高校研究團隊提出一種提高柔性顯示面板性能的薄膜晶體管技術方案
CINNO Research產業資訊，韓國浦項，2023年2月17日，眾所周知，近些年顯示技術取得了長足的發展，同時它也催生出消費者對搭載可折疊以及柔性面板的電子產品的強烈需求。目前該領域，無論是傳統的LCD還是新興的OLED和Micro-LED顯示器，無論是剛性的顯示器還是柔性顯示器，其驅動方案主要還是基于薄膜晶體管（TFT）技術。
圖1. 通過無機納米粒子和有機聚合物之間化學交聯方式實現柔性顯示效果提升的原理示意
根據外媒Miragenews & Bioengineer報道，作為驅動背板的關鍵模塊，它的作用簡單來說就是一個可以通過電壓控制的開關。隨著柔性應用的滲透，越來越多的公司和研究機構開始研究TFT驅動技術。當然，除了這里提到的柔性屬性，推進下一代顯示器市場化的因素還有很多，比如電荷傳輸速度、操作穩定性和生產成本降低等等。
最近，韓國浦項科技大學（POSTECH，Pohang University of Science and Technology）的一個研究團隊通過深入研究，提出了一種用于致密無缺陷薄膜有機-無機混合介電層的高效交聯方案。該方案將能夠通過薄膜晶體管的優化進一步提高柔性顯示器的性能，其研究成果已經通過論文形式發表在《自然通訊》期刊上。
近些年，聯網的全球發展已經極大提高了人們對具有低待機功耗的，基于金屬氧化物半導體的電路方案的興趣。
展開 默克通過開發原子層沉積（ALD）前驅體對應柔性OLED薄膜封裝工藝
CINNO Research產業資訊，德國化學材料專業廠商默克（Merck）正通過提供高端汽車顯示解決方案，加速向柔性OLED市場的擴張。在柔性OLED的核心技術——薄膜封裝（TFE）工藝中，默克導入了原子層沉積（ALD）方法，以替代傳統的化學氣相沉積（CVD）方法。
根據韓媒Sisajournal報道，據顯示行業8月27日消息，默克公司已成功開發了一種適用于ALD工藝的前驅體，并將其應用于柔性OLED的薄膜封裝過程中。據悉，這種新方式實現了極高的異物檢測精度，接近零檢測率。
與普通的剛性OLED相比，柔性OLED對面板的柔韌性有更高要求，因此采用聚酰亞胺（PI）基板替代傳統的玻璃基板，通過層層堆疊無機膜和有機薄膜來實現薄膜封裝。這種結構不僅賦予了面板彎曲的能力，還增強了其耐用性和靈活性。
現有的無機膜使用了通過CVD方法形成的前驅體。前驅體是指在顯示屏和半導體工藝中用于堆疊薄膜的沉積過程中的基礎材料。然而，隨著顯示屏技術的不斷發展，厚度日益減薄，空氣和濕氣的滲透問題凸顯，導致薄膜中雜質（顆粒）的形成。因此，默克公司采用了原子層沉積（ALD）技術，并持續加大研發投入。
ALD是一種通過將一層一層材料精確堆疊來制作薄膜的方法，可以實現極高的精度，這有助于降低雜質污染的程度，同時減小薄膜的厚度。
默克韓國OLED研究所長金俊浩表示：“ALD被認為是無機薄膜沉積領域的最佳解決方案之一，它在厚度控制、成分控制和均勻性方面展現出卓越的性能。”
“在相對簡單的工藝條件和較低的功率下，我們可以精確控制無機膜的厚度，同時確保碳和氮等雜質的含量非常低，接近于零”，他表示，“此處的零并不是絕對數字的含義，而是指達到了檢出界限（分析設備所能檢出的最少的量）以下的水準”。
“這表明使用ALD前驅體形成的薄膜是均勻且無缺陷的。
展開 