電遷移仿真的案例
基于COMSOL軟件的三維封裝電遷移Cu互連線的多物理場(chǎng)模擬仿真 ￥2000
本案例提出一種新的電遷移仿真建模方法，通過(guò)COMSOL多物理場(chǎng)軟件建立了經(jīng)典三維Cu互連線結(jié)構(gòu)。通過(guò)有限元仿真得到三維互連線的溫度、電流密度和應(yīng)力分布，獲得了更優(yōu)的數(shù)據(jù)仿真結(jié)果。仿真模型如圖1所示。仿真結(jié)果如圖2所示。
圖1 幾何模型
Cu互連線中等溫面分布
Cu互連線的電流密度分布圖
Cu互連線應(yīng)力分布圖
Cu互連線中電遷移導(dǎo)致的原子擴(kuò)散通量散度分布
Cu互連線熱遷移原子擴(kuò)散通量散度分布
圖2 數(shù)值仿真結(jié)果
結(jié)果顯示，金屬互連線中電流在直角內(nèi)側(cè)有嚴(yán)重的淤積現(xiàn)象，電遷移在互連線轉(zhuǎn)折處最為劇烈;高溫區(qū)域位于直角內(nèi)外側(cè)之間，熱遷移的程度隨著溫度的升高而升高;高應(yīng)力區(qū)域主要是互連線的外邊緣處，但是應(yīng)力遷移在總體電遷移中占比較小，幾乎可以忽略。另外，Cu互連線的抗電遷移性能總體優(yōu)于Ag互連線，是優(yōu)異的高密度集成電路導(dǎo)體材料。
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展開(kāi) 案例47-焊球中的電遷移
該示例問(wèn)題是焊球的瞬態(tài)電遷移分析。有限元解計(jì)算由于擴(kuò)散、電遷移、應(yīng)力遷移和熱遷移的綜合效應(yīng)導(dǎo)致的原子濃度與初始單位值的偏差。
重點(diǎn)介紹了以下特性和功能：
• 耦合結(jié)構(gòu)-熱-電-擴(kuò)散固體單元
• 耦合結(jié)構(gòu)-熱-電-擴(kuò)散接觸單元
• 具有原子通量選項(xiàng)的遷移模型
介紹
電遷移是由高密度電流引起的金屬互連中的傳質(zhì)過(guò)程。它是集成電路中的關(guān)鍵故障機(jī)制，在集成電路中，由于小型化，電流密度很高。金屬原子的傳質(zhì)會(huì)導(dǎo)致小丘、晶須和空隙的形成，所有這些都會(huì)導(dǎo)致電路的電氣故障。
影響電遷移的性質(zhì)高度依賴(lài)于溫度，涉及結(jié)構(gòu)、電、熱和擴(kuò)散的四個(gè)領(lǐng)域以多種方式耦合。例如，由于焦耳加熱導(dǎo)致的電驅(qū)動(dòng)金屬擴(kuò)散和熱膨脹導(dǎo)致導(dǎo)體中的壓縮（背應(yīng)力），這可以延遲并最終停止電遷移。
本例中使用的耦合場(chǎng)單元采用了強(qiáng)（矩陣）耦合，這對(duì)于獲得四個(gè)場(chǎng)的收斂至關(guān)重要。通過(guò)同時(shí)對(duì)四個(gè)場(chǎng)進(jìn)行建模，可以方便地在單個(gè)分析中指定所有所需的材料特性和耦合效果。
問(wèn)題描述
考慮了夾在兩塊銅板之間的SnAgCu（SAC）焊點(diǎn)的半對(duì)稱(chēng)模型。
導(dǎo)體之間的距離為450μm。焊球的直徑為760μm，其與導(dǎo)體接觸的寬度為612μm。這些尺寸大致對(duì)應(yīng)于球柵陣列（BGA）結(jié)構(gòu)。
導(dǎo)體厚40μm，寬800μm（在半對(duì)稱(chēng)模型中為400μm），長(zhǎng)1000μm。
建模
本示例的簡(jiǎn)單幾何體是在Mechanical APDL中創(chuàng)建和網(wǎng)格化的。
該模型用SOLID226耦合場(chǎng)單元?jiǎng)澐志W(wǎng)格。CONTA174接觸單元被限定在焊料球和銅導(dǎo)體之間。SOLID226和CONTA174單元具有本分析所需的以下自由度：濃度（CONC）、溫度（TEMP）、電壓（VOLT）和位移（UX、UY、UZ）。
展開(kāi) AnsysWB-焊錫球中的電遷移 ￥10
這個(gè)示例問(wèn)題是對(duì)一個(gè)焊球進(jìn)行的瞬態(tài)電遷移分析。通過(guò)有限元方法求解得出，由于擴(kuò)散、電遷移、應(yīng)力遷移和熱遷移的共同作用，原子濃度相對(duì)于初始單位值發(fā)生了偏離。
電遷移是一種由高密度電流引起的金屬互連體中的物質(zhì)傳輸過(guò)程。在集成電路中，一個(gè)關(guān)鍵的失效機(jī)制是由于微型化導(dǎo)致電流密度增大。金屬原子的物質(zhì)傳輸可能會(huì)形成凸起、枝晶和空洞，這些都會(huì)導(dǎo)致電路的電氣故障。
影響電遷移的特性高度依賴(lài)于溫度，并且所涉及的四個(gè)領(lǐng)域——結(jié)構(gòu)、電學(xué)、熱學(xué)和擴(kuò)散——在許多方面相互關(guān)聯(lián)。例如，由于焦耳熱而驅(qū)動(dòng)的金屬擴(kuò)散以及電驅(qū)動(dòng)的金屬擴(kuò)散和熱膨脹會(huì)在導(dǎo)體中引起壓縮（反應(yīng)力），這可能會(huì)減緩甚至最終阻止電遷移。
此示例中使用的耦合場(chǎng)元件采用強(qiáng)（矩陣）耦合方式，這對(duì)于實(shí)現(xiàn)四個(gè)領(lǐng)域的收斂至關(guān)重要。通過(guò)同時(shí)對(duì)這四個(gè)領(lǐng)域進(jìn)行建模，您可以方便地在一次分析中指定所有所需的材料屬性和耦合效應(yīng)。
展開(kāi) ANSYS的自發(fā)熱、電源完整性和電遷移解決方案通過(guò)三星代工的認(rèn)證
此次認(rèn)證有助于實(shí)現(xiàn)電源和信號(hào)網(wǎng)絡(luò)的提取、靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓降分析、自發(fā)熱和電遷移分析，從而滿足三星代工最新7LPP（7nm Low Power Plus）光刻工藝技術(shù)的要求。
三星代工的7LPP是其首款采用EUV光刻技術(shù)的半導(dǎo)體工藝技術(shù)，這種尖端工藝技術(shù)大幅降低了復(fù)雜性，而且相對(duì)于前一代10nm FinFET技術(shù)而言能夠顯著改進(jìn)良品率，并縮短周轉(zhuǎn)時(shí)間。
三星電子的代工廠市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)團(tuán)隊(duì)副總裁Ryan Sanghyun Lee指出：“客戶能夠利用7LPP工藝技術(shù)打造突破性產(chǎn)品，在新一代移動(dòng)、HPC和汽車(chē)應(yīng)用中將5G和智能產(chǎn)品與人工智能緊密聯(lián)系在一起。采用通過(guò)7LPP認(rèn)證的ANSYS解決方案，我們雙方共同的客戶不僅能夠創(chuàng)建更高電源效率、更小封裝的5G移動(dòng)芯片組，以支持更輕薄的手機(jī)設(shè)計(jì)，而且還能為計(jì)算強(qiáng)度較高的深度學(xué)習(xí)應(yīng)用提供AI芯片，以滿足云端和邊緣計(jì)算的要求。”
ANSYS的總經(jīng)理John Lee指出：“ANSYS和三星代工長(zhǎng)期致力于為芯片、封裝和系統(tǒng)等各個(gè)領(lǐng)域的電源完整性、熱和可靠性驗(yàn)收提供綜合全面的設(shè)計(jì)方法，從而幫助客戶成功研發(fā)出穩(wěn)健可靠的創(chuàng)新型產(chǎn)品。通過(guò)三星的先進(jìn)晶圓代工生態(tài)系統(tǒng)（SAFE）計(jì)劃，我們將繼續(xù)提供業(yè)界領(lǐng)先的工藝平臺(tái)，這樣我們的客戶就能加速創(chuàng)建高穩(wěn)定性電子系統(tǒng)，同時(shí)盡可能減少設(shè)計(jì)成本和風(fēng)險(xiǎn)。”
展開(kāi) 
臺(tái)積電進(jìn)一步深化與Ansys的合作，為新一代應(yīng)用提供高級(jí)電源完整性和電遷移簽核工具
實(shí)現(xiàn)3nm工藝技術(shù)的電源完整性和電遷移（EM）可靠性仍然是一項(xiàng)極具挑戰(zhàn)性的簽核難題。傳統(tǒng)的離散EM和壓降方法已經(jīng)無(wú)法滿足3nm工藝的簽核要求，因?yàn)?nm工藝集成了數(shù)十億個(gè)晶體管，且在單個(gè)晶圓裸片上提供強(qiáng)大的功率和性能，這要求3nm工藝技術(shù)需要一個(gè)綜合全面的電源完整性、熱完整性和可靠性分析平臺(tái)，如Ansys提供的Ansys RedHawk-SC和Ansys? Totem?。
臺(tái)積電N3工藝對(duì)RedHawk-SC的認(rèn)證包括電網(wǎng)提取、電源完整性和可靠性、信號(hào)EM、自加熱的熱可靠性分析、熱感知EM和統(tǒng)計(jì)EM預(yù)算。Redhawk-SC通過(guò)利用其底層Ansys? SeaScape? 基礎(chǔ)架構(gòu)的彈性計(jì)算、大數(shù)據(jù)分析和高容量來(lái)分析龐大的3nm網(wǎng)絡(luò)設(shè)計(jì)。同樣，Totem也通過(guò)了晶體管級(jí)定制設(shè)計(jì)的認(rèn)證。
臺(tái)積電設(shè)計(jì)基礎(chǔ)架構(gòu)管理事業(yè)部高級(jí)總監(jiān)Suk Lee表示：“我們對(duì)近期與Ansys合作的結(jié)果感到非常滿意。Ansys為臺(tái)積電最高級(jí)的3nm工藝技術(shù)提供了多物理場(chǎng)設(shè)計(jì)解決方案，這幫助我們雙方客戶應(yīng)對(duì)設(shè)計(jì)難題和技術(shù)挑戰(zhàn)。本次合作將Ansys的前沿解決方案與臺(tái)積電的高級(jí)工藝完美結(jié)合，幫助我們的客戶推進(jìn)新一代3nm芯片組的技術(shù)創(chuàng)新，該技術(shù)將為眾多應(yīng)用提供支持。”
Ansys副總裁兼總經(jīng)理John Lee指出：“此次新增認(rèn)證進(jìn)一步加強(qiáng)了Ansys與臺(tái)積電的緊密合作，為我們雙方客戶探索解決方案。Ansys廣泛的多物理場(chǎng)仿真與分析技術(shù)（從芯片級(jí)到系統(tǒng)級(jí)）讓我們有充足的能力在AI/ML、5G、HPC、網(wǎng)絡(luò)和圖像處理應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)規(guī)模更大、功耗更低的設(shè)計(jì)。”
展開(kāi) 基于砂箱和循環(huán)井修復(fù)劑在低滲透區(qū)域遷移仿真模擬 ￥800
而氧化劑被注入地層后，僅受到橫向遷移的水流作用的影響，使得氧化劑的遷移速度慢，在受污染區(qū)域的修復(fù)效率不高。地下環(huán)境通常為非均質(zhì)地層，在高滲透區(qū)形成優(yōu)先流動(dòng)路徑此外，由于注入溶液與地下水之間的密度差異，試劑在含水層中遷移過(guò)程中可能會(huì)漂浮或下沉，這種密度效應(yīng)導(dǎo)致氧化劑遷移過(guò)程形成繞流現(xiàn)象，在修復(fù)劑輸送和含水層修復(fù)中較為常見(jiàn)。為了解決異質(zhì)性及密度效應(yīng)引起的優(yōu)先流問(wèn)題，常用解決方式是以注入水溶性和剪切稀釋聚合物的方式增強(qiáng)具有不同滲透性的多孔介質(zhì)之間的交叉流動(dòng)。但是，額外添加的聚合物不僅改變氧化劑的遷移路徑，還改變了污染物的遷移路徑，使得氧化劑的作用效率受到了限制。對(duì)于地層中投加額外的試劑不僅提高了建造費(fèi)用還會(huì)影響地層生物地球化學(xué)性質(zhì)。
本模型建立了砂箱和循環(huán)井的二維簡(jiǎn)化模型，如圖1所示。
圖 1 砂箱和循環(huán)井幾何模型
仿真模擬了低滲透性的砂箱內(nèi)的滲流場(chǎng)以及修復(fù)劑濃度場(chǎng)的遷移分布，仿真結(jié)果如圖2所示：
展開(kāi) Amesim電磁鐵仿真：電磁鐵結(jié)構(gòu)參數(shù)設(shè)計(jì)優(yōu)化的新方法
計(jì)算機(jī)輔助求解技術(shù)（Computer Aided Engineering, CAE）能夠縮短設(shè)計(jì)周期，減小設(shè)計(jì)成本，在電磁鐵的參數(shù)優(yōu)化方面最常用的方法是有限元法和基于Matlab語(yǔ)言的Simulink建模方法。
文獻(xiàn)[8,9]根據(jù)經(jīng)驗(yàn)公式設(shè)計(jì)了電磁鐵的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在Ansys Maxwell有限元軟件中建立了二維仿真模型，研究不同參數(shù)對(duì)電磁鐵吸力特性的影響，從而對(duì)電磁鐵結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。文獻(xiàn)[10,11]針對(duì)傳統(tǒng)比例電磁鐵僅具備單向驅(qū)動(dòng)能力的不足，研究了具有雙向驅(qū)動(dòng)能力的比例電磁鐵，并利用Maxwell仿真分析參數(shù)變化對(duì)電磁鐵性能的影響。
上述研究都只從理論上對(duì)電磁鐵的設(shè)計(jì)優(yōu)化進(jìn)行了分析，缺少實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。文獻(xiàn)[12]利用Ansys有限元分析軟件和AMESim系統(tǒng)參數(shù)仿真軟件對(duì)螺管電磁鐵仿真分析得到電磁鐵的磁感應(yīng)強(qiáng)度、磁力線分布和吸力特性曲線，將仿真結(jié)果與實(shí)測(cè)值進(jìn)行了對(duì)比分析，但仿真部分只有靜態(tài)特性的研究，缺少對(duì)動(dòng)態(tài)特性的分析，不能反映動(dòng)作過(guò)程中機(jī)械參量和電磁參量的真實(shí)變化情況。
文獻(xiàn)[13]利用Maxwell軟件對(duì)電磁鐵進(jìn)行了動(dòng)態(tài)仿真分析，并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，但對(duì)于不能直接通過(guò)仿真得到動(dòng)態(tài)特性參數(shù)的情況沒(méi)有給出解決方案。文獻(xiàn)[14]在Simulink中搭建了瞬態(tài)仿真模型，并比較了不同電磁鐵結(jié)構(gòu)的瞬態(tài)特性，但是沒(méi)有考慮磁飽和，不適用于磁性材料出現(xiàn)飽和的情況。
為解決以上問(wèn)題，本文以一種雙行程螺管式電磁鐵為研究對(duì)象，提出了Ansys Maxwell和ADAMS聯(lián)合仿真的建模方法。
展開(kāi) 設(shè)計(jì)仿真 | 基于MSC Apex的電廠框架結(jié)構(gòu)靜態(tài)仿真
對(duì)于本例的邊界條件，將十個(gè)支柱的底部作為完全固定約束，并考慮電廠冷卻水壓力，管上內(nèi)表面施加0.74 MPa的壓力，所有邊界條件如圖3所示。然后運(yùn)行仿真計(jì)算，通過(guò)MSC Apex Structures使用基于MSC Nastran技術(shù)的集成求解器。
圖3：約束
亮點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：
? 幾何易于編輯，快速構(gòu)建有限元模型。
? 對(duì)有限元模型中的材料，屬性，網(wǎng)格一致性，連接以及邊界條件進(jìn)行驗(yàn)證。
? 有限元模型可以從MSC Apex導(dǎo)出，并在單獨(dú)的前/后處理器中使用。
結(jié) 果
圖4：變形云圖
圖4顯示了變形結(jié)果。左邊是真實(shí)比例的變形，未變形的幾何圖形顯示為藍(lán)色，而變形的幾何圖形用紅色標(biāo)記。由于變形與模型尺寸相比非常小，在真實(shí)縮放時(shí)變形是看不到的，所以在圖片中，變形被放大為模型最大尺寸的5%，很明顯，最大的位移出現(xiàn)在管的左端。
圖5：馮·米塞斯應(yīng)力云圖
圖5顯示了馮·米塞斯的應(yīng)力云圖。
展開(kāi) 40頁(yè)丨電驅(qū)動(dòng)橋NVH仿真分析-AVL仿真
僅用于技術(shù)交流，請(qǐng)勿用于商業(yè)活動(dòng)，如有特殊需要，請(qǐng)與文章作者聯(lián)系。
設(shè)計(jì)仿真 | 基于MSC Apex的電廠框架結(jié)構(gòu)靜態(tài)仿真
對(duì)于本例的邊界條件，將十個(gè)支柱的底部作為完全固定約束，并考慮電廠冷卻水壓力，管上內(nèi)表面施加0.74 MPa的壓力，所有邊界條件如圖3所示。然后運(yùn)行仿真計(jì)算，通過(guò)MSC Apex Structures使用基于MSC Nastran技術(shù)的集成求解器。
圖3：約束
亮點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：
? 幾何易于編輯，快速構(gòu)建有限元模型。
? 對(duì)有限元模型中的材料，屬性，網(wǎng)格一致性，連接以及邊界條件進(jìn)行驗(yàn)證。
? 有限元模型可以從MSC Apex導(dǎo)出，并在單獨(dú)的前/后處理器中使用。
結(jié) 果
圖4：變形云圖
圖4顯示了變形結(jié)果。左邊是真實(shí)比例的變形，未變形的幾何圖形顯示為藍(lán)色，而變形的幾何圖形用紅色標(biāo)記。由于變形與模型尺寸相比非常小，在真實(shí)縮放時(shí)變形是看不到的，所以在圖片中，變形被放大為模型最大尺寸的5%，很明顯，最大的位移出現(xiàn)在管的左端。
圖5：馮·米塞斯應(yīng)力云圖
圖5顯示了馮·米塞斯的應(yīng)力云圖。
展開(kāi) 基于AVL仿真平臺(tái)的電驅(qū)動(dòng)橋NVH仿真分析
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設(shè)計(jì)仿真 | Cradle CFD助力新能源汽車(chē)電驅(qū)動(dòng)設(shè)備噴油冷卻散熱仿真
海克斯康工業(yè)軟件旗下的Cradle CFD軟件能提供實(shí)用的、先進(jìn)的計(jì)算流體動(dòng)力學(xué)仿真和可視化解決方案。它具有卓越的處理速度、精細(xì)的技術(shù)和高用戶滿意度，已被用于汽車(chē)、航空航天、電子、建筑、風(fēng)扇、機(jī)械和海洋開(kāi)發(fā)等領(lǐng)域，以解決熱和流體問(wèn)題。除此之外，Cradle CFD整合了多物理場(chǎng)協(xié)同仿真和單向聯(lián)合仿真功能，以實(shí)現(xiàn)與結(jié)構(gòu)、聲學(xué)、電磁、機(jī)械、一維、優(yōu)化、熱環(huán)境、3D CAD和其他分析工具的耦合，從而使用戶能夠有效地解決跨多個(gè)學(xué)科的工程問(wèn)題。Cradle CFD強(qiáng)大的后處理功能，可以生成視覺(jué)上逼真的仿真圖形，輕松表達(dá)仿真數(shù)據(jù)結(jié)果，為用戶實(shí)現(xiàn)高級(jí)仿真處理并提供更好的設(shè)計(jì)建議。
圖1 Cradle CFD 進(jìn)行汽車(chē)及飛行器外氣動(dòng)模擬
新能源汽車(chē)電驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)是指利用電動(dòng)機(jī)將電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能來(lái)驅(qū)動(dòng)車(chē)輛運(yùn)行的系統(tǒng)，是新能源汽車(chē)的核心部件。該系統(tǒng)的散熱對(duì)整車(chē)安全和高效運(yùn)行有重要影響。
展開(kāi) 電磁鐵運(yùn)動(dòng)和溫升耦合仿真---Maxwell的靜態(tài)、瞬態(tài)和Icepak耦合仿真 ￥29
然后計(jì)算穩(wěn)態(tài)閉合狀態(tài)下的電磁鐵功耗，后面使用Maxwell中的Icepak功能完成動(dòng)作器的溫升，獲取相應(yīng)的溫度分布和流場(chǎng)分布。
模型如圖所示
1.瞬態(tài)運(yùn)動(dòng)分析
動(dòng)作器在線圈通電狀態(tài)下，其周?chē)a(chǎn)生磁場(chǎng)，將上方的銜鐵吸合，其設(shè)在采用瞬態(tài)方法，計(jì)算在短時(shí)間時(shí)間內(nèi)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，本例計(jì)算了1ms的時(shí)間，電流采用1000*4A，銜鐵考慮了其重量和轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的影響，轉(zhuǎn)動(dòng)慣量可以將模型導(dǎo)入到ansys結(jié)構(gòu)分析中，查看在對(duì)應(yīng)坐標(biāo)系下的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量，分析結(jié)果如圖所示
分析結(jié)果顯示銜鐵在0.95ms左右閉合，速度逐漸增大，另外銜鐵受到的扭矩可以看到隨著閉合其受力顯著增大
2.靜態(tài)磁場(chǎng)分析
取值閉合狀態(tài)進(jìn)行靜態(tài)磁場(chǎng)分析，獲取其磁場(chǎng)分布和功率損耗
3.溫升分析
在Maxwell中插入Icepak模塊，將磁場(chǎng)分析模塊的模型復(fù)制進(jìn)來(lái)，設(shè)置網(wǎng)格劃分的水平，設(shè)置空氣域的邊界條件，然后設(shè)置相應(yīng)的發(fā)熱功率EMloss，讀取本次磁場(chǎng)分析的模型，軟件自動(dòng)讀取功耗，設(shè)置setup，設(shè)置相應(yīng)的流體分析收斂數(shù)值
另外本實(shí)例需要注意的是重力方向的設(shè)置，默認(rèn)的的重力是不考慮的，
其網(wǎng)格如下所示，可以看到Maxwell繼承了Icepak的網(wǎng)格劃分方法，完全為結(jié)構(gòu)化網(wǎng)格，相當(dāng)?shù)囊?guī)則，需要注意的是模型當(dāng)中不能出現(xiàn)曲線，都需要設(shè)置成多邊形模式
溫度分布如圖所示，可以看到鐵芯和線圈的溫度類(lèi)似，銜鐵的溫度偏低，主要是由于其銜鐵和鐵芯沒(méi)有直接接觸，故沒(méi)有熱傳導(dǎo)的效果，而另外模型是接觸狀態(tài)，其溫度類(lèi)似
相應(yīng)的流體分布 和流動(dòng)矢量如圖所示
歡迎 關(guān)注作者，專(zhuān)注于ANSYS學(xué)習(xí)！
展開(kāi) 三維電纜電-熱耦合仿真 ￥500
圖1 幾何模型
電纜結(jié)構(gòu)中考慮了以下結(jié)構(gòu)層及材料的定義：
基于COMSOL軟件中的電- 熱耦合相關(guān)模塊，數(shù)值仿真得到了電纜的電勢(shì)分布和溫度場(chǎng)分布，仿真結(jié)果如圖所示：
感興趣的朋友，歡迎交流合作！
電浸潤(rùn)數(shù)值仿真 ￥800
電浸潤(rùn)，也稱(chēng)為電滑動(dòng)潤(rùn)濕，是指利用電場(chǎng)來(lái)影響液體在固體表面上的潤(rùn)濕性質(zhì)的過(guò)程。當(dāng)一個(gè)電場(chǎng)施加在液體-固體界面上時(shí)，電場(chǎng)會(huì)對(duì)液體中的帶電粒子（如離子、極性分子）產(chǎn)生作用力，改變液體分子在固體界面上的排列方式和潤(rùn)濕性。電場(chǎng)可以改變液體的表面張力和接觸角，從而影響液體在固體表面上的潤(rùn)濕行為。電浸潤(rùn)廣泛應(yīng)用于潤(rùn)滑、涂覆和涂布等領(lǐng)域。它可以改善潤(rùn)滑液在摩擦副界面的潤(rùn)滑效果，減少摩擦和磨損；也可以提高涂層的附著性和均勻性；還可以調(diào)節(jié)涂布過(guò)程中的涂布速度和涂布厚度分布，實(shí)現(xiàn)更加精準(zhǔn)的涂布控制。
本案例建立了一微通道屏障結(jié)構(gòu)，模擬了電場(chǎng)作用下液體在微通道內(nèi)受到屏障邊界作用后的流動(dòng)。仿真模型及模擬結(jié)果如下圖所示：
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