光學(xué)顯微設(shè)備的案例
奧林巴斯光學(xué)顯微鏡手動(dòng)顯微鏡系統(tǒng) BX43
奧林巴斯BX43顯微鏡系統(tǒng)是您進(jìn)行高質(zhì)量微觀世界探索的理想伙伴，它將先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)與人性化設(shè)計(jì)完美結(jié)合，為用戶提供了一個(gè)既經(jīng)濟(jì)又解決方案。
共聚焦、光學(xué)顯微鏡與測(cè)量顯微鏡的區(qū)分
4、非破壞性測(cè)量：作為一種光學(xué)技術(shù)，共聚焦顯微鏡允許在不接觸或不破壞樣品的情況下進(jìn)行測(cè)量。
5、軟件分析工具：現(xiàn)代共聚焦顯微鏡通常配備有專門的軟件，可以進(jìn)行各種測(cè)量和分析，如距離、體積、形狀和紋理分析。
6、適用于多種材料：共聚焦顯微鏡可以用于測(cè)量各種不同類型的材料，包括金屬、塑料和半導(dǎo)體材料。
共聚焦、光學(xué)顯微鏡與測(cè)量顯微鏡的區(qū)別
“共聚焦顯微鏡”、“測(cè)量顯微鏡”和“光學(xué)顯微鏡”這三個(gè)名稱描述的是顯微鏡技術(shù)及其應(yīng)用的不同方面。
光學(xué)顯微鏡：這是一類利用光學(xué)原理成像的顯微鏡，通過透鏡系統(tǒng)放大樣品的圖像。光學(xué)顯微鏡是顯微鏡的基礎(chǔ)類別，包括了傳統(tǒng)的明場(chǎng)、暗場(chǎng)、相差顯微鏡等，它們主要依賴于可見光來進(jìn)行樣品的觀察和成像。
共聚焦顯微鏡：共聚焦顯微鏡是光學(xué)顯微鏡的一個(gè)子類別，它使用一種特殊的成像技術(shù)，通過空間選擇性地只收集樣品焦平面上的光，從而獲得比傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡更高的分辨率和更清晰的圖像。共聚焦顯微鏡能夠進(jìn)行二維和三維成像，是光學(xué)顯微鏡技術(shù)中較為先進(jìn)的一種。
測(cè)量顯微鏡：這是一種用途上的分類，指的是用于精確測(cè)量樣品尺寸、形狀、表面粗糙度等物理特性的顯微鏡。測(cè)量顯微鏡可以是光學(xué)顯微鏡，也可以是電子顯微鏡或其他類型的顯微鏡，關(guān)鍵在于它們配備了用于測(cè)量的工具和功能。共聚焦顯微鏡因其高精度的三維成像能力，常被用作一種高級(jí)的測(cè)量顯微鏡。
展開 奧林巴斯光學(xué)顯微鏡體視顯微鏡
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使用簡(jiǎn)便
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使用奧林巴斯體視顯微鏡非常簡(jiǎn)單，只需將要觀察的標(biāo)本放置在載物臺(tái)上，打開光源并調(diào)節(jié)目鏡即可開始觀察。無需更改物鏡倍率，通過調(diào)節(jié)變倍即可實(shí)現(xiàn)高倍觀察，極大地方便了用戶的操作流程。
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奧林巴斯體視顯微鏡系列不僅為研究人員提供了強(qiáng)大的工具來揭示生命的奧秘，還通過人性化的設(shè)計(jì)保證了長(zhǎng)時(shí)間工作的舒適性。無論您是在尋找研究級(jí)設(shè)備還是性價(jià)比高的入門級(jí)選項(xiàng)，奧林巴斯都能為您提供完美的解決方案。
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展開 SZ系列奧林巴斯光學(xué)顯微鏡
<p>奧林巴斯SZ系列光學(xué)顯微鏡融合先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)與人性化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，專為工業(yè)檢測(cè)、精密制造及材料分析等場(chǎng)景打造高效視覺平臺(tái)。該系列以寬變倍比、高數(shù)值孔徑（NA）和卓越成像質(zhì)量為核心優(yōu)勢(shì)，支持從宏觀輪廓到微觀細(xì)節(jié)的無縫連續(xù)觀察，顯著提升圖像精度與操作效率。
BX3奧林巴斯光學(xué)顯微鏡
<p>奧林巴斯BX3系列正置顯微鏡融合先進(jìn)光學(xué)技術(shù)與精密機(jī)械設(shè)計(jì)，為高精度微觀觀測(cè)任務(wù)構(gòu)建了穩(wěn)定可靠的平臺(tái)。該系列產(chǎn)品憑借卓越的成像質(zhì)量、靈活的配置組合以及優(yōu)化的人機(jī)工程結(jié)構(gòu)，在工業(yè)檢測(cè)與材料分析領(lǐng)域展現(xiàn)出突出性能。</p><p><br></p><p>BX3系列搭載高精度光學(xué)組件，確保圖像具備出色的分辨率與對(duì)比度表現(xiàn)。標(biāo)配真彩色LED照明系統(tǒng)不僅實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)色彩還原，同時(shí)顯著降低熱輻射對(duì)樣品的干擾，保障長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)觀測(cè)下的系統(tǒng)穩(wěn)定性。在操作層面，部分型號(hào)如BX46配備多向可調(diào)觀察筒，支持傾斜、伸縮及升降調(diào)節(jié)，有效緩解長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)帶來的疲勞感，并適配不同用戶的操作習(xí)慣。
展開 工業(yè)奧林巴斯光學(xué)顯微鏡GX53
GX53倒置顯微鏡專為工業(yè)材料檢測(cè)而設(shè)計(jì)，憑借卓越的光學(xué)性能與高度模塊化架構(gòu)，顯著提升對(duì)大尺寸、厚截面樣品的觀測(cè)效率與成像質(zhì)量。該系統(tǒng)融合先進(jìn)成像技術(shù)與智能分析軟件，廣泛適用于鋼鐵、汽車、電子等制造領(lǐng)域的精密檢測(cè)任務(wù)。
奧林巴斯光學(xué)顯微鏡：https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/microscope/opt/
產(chǎn)品鏈接：https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/microscope/gx53/
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在光學(xué)成像方面，GX53搭載高穩(wěn)定性白光LED光源，確保長(zhǎng)時(shí)間工作下色溫一致，避免因光源波動(dòng)影響圖像再現(xiàn)性。系統(tǒng)引入波前像差控制與圖像陰影校正算法，有效抑制光學(xué)畸變，實(shí)現(xiàn)高對(duì)比度、細(xì)節(jié)豐富的清晰成像。針對(duì)表面形貌復(fù)雜的工件，其全聚焦圖像合成功能可自動(dòng)采集多個(gè)焦平面數(shù)據(jù)，并無縫融合生成整體清晰的全景視圖。此外，系統(tǒng)支持高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）成像，同步保留高亮與暗部區(qū)域細(xì)節(jié)，克服傳統(tǒng)單次曝光中信息丟失的問題。
設(shè)備配備編碼式物鏡轉(zhuǎn)換器，結(jié)合PRECiV智能圖像分析軟件，實(shí)現(xiàn)從圖像采集、參數(shù)測(cè)量到報(bào)告生成的全流程自動(dòng)化。用戶可快速拼接大視野全景圖像，并利用內(nèi)置工具完成結(jié)構(gòu)識(shí)別、幾何尺寸測(cè)量及數(shù)據(jù)歸檔。軟件界面簡(jiǎn)潔直觀，大幅降低操作門檻，使經(jīng)驗(yàn)較少的技術(shù)人員也能高效執(zhí)行復(fù)雜分析任務(wù)。系統(tǒng)還支持顯微鏡配置參數(shù)一鍵復(fù)位，保障重復(fù)檢測(cè)的一致性與可靠性。
得益于模塊化設(shè)計(jì)理念，GX53可根據(jù)不同產(chǎn)線或檢測(cè)需求靈活選配組件，構(gòu)建定制化解決方案。無論是日常質(zhì)量控制還是深度材料表征，該平臺(tái)均提供穩(wěn)定、精準(zhǔn)且可擴(kuò)展的技術(shù)支撐。通過硬件與軟件的深度協(xié)同，GX53不僅優(yōu)化了工業(yè)顯微檢測(cè)流程，更推動(dòng)該領(lǐng)域向高效化、標(biāo)準(zhǔn)化方向持續(xù)演進(jìn)。
展開 工業(yè)奧林巴斯光學(xué)顯微鏡BX53M
BX53M不僅繼承了傳統(tǒng)光學(xué)顯微技術(shù)的可靠性，更融合現(xiàn)代數(shù)字成像與智能控制理念，為工業(yè)質(zhì)量管控、失效分析及新材料開發(fā)提供精準(zhǔn)、高效且高度可定制的顯微解決方案。
工業(yè)奧林巴斯光學(xué)顯微鏡BX53-P
奧林巴斯BX53-P偏光顯微鏡專為高精度偏振光觀測(cè)而打造，集成UIS2無窮遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)與低應(yīng)力光學(xué)元件，在工業(yè)材料分析領(lǐng)域展現(xiàn)出卓越性能。該系統(tǒng)適用于晶體結(jié)構(gòu)、復(fù)合材料、礦物薄片及其他各向異性樣品的觀察與定量評(píng)估。
奧林巴斯光學(xué)顯微鏡：https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/microscope/opt/
產(chǎn)品鏈接：https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/microscope/bx53-p/
其核心優(yōu)勢(shì)在于高度穩(wěn)定的光學(xué)路徑設(shè)計(jì)。即便在引入檢偏器、補(bǔ)償器或波片等偏振組件時(shí)，UIS2架構(gòu)仍能維持成像質(zhì)量無衰減，并有效消除附加元件引起的放大倍率偏差，從而保障從基礎(chǔ)觀測(cè)到復(fù)雜干涉圖分析的一致性與準(zhǔn)確性。此外，系統(tǒng)兼容BX3系列中間附件及各類工業(yè)相機(jī)與數(shù)字成像設(shè)備，便于無縫集成至自動(dòng)化檢測(cè)流程中。
BX53-P配備可調(diào)焦Bertrand透鏡，支持明場(chǎng)（orthoscopic）與錐光（conoscopic）模式快速切換，清晰呈現(xiàn)后焦面干涉圖樣。配合視場(chǎng)光闌優(yōu)化，可穩(wěn)定獲取高對(duì)比度錐光圖像，滿足對(duì)晶體取向及雙折射特性的精細(xì)解析需求。
為提升測(cè)量靈活性，系統(tǒng)提供六種補(bǔ)償器選項(xiàng)，延遲量程覆蓋0至20λ（約11000 nm）。其中，Berek與Senarmont補(bǔ)償器支持全視場(chǎng)內(nèi)連續(xù)調(diào)節(jié)延遲值，適用于高對(duì)比成像與精確雙折射量化；Brace-Koehler系列則針對(duì)微弱雙折射信號(hào)提供亞納米級(jí)靈敏度。搭配546 nm干涉濾光片使用，可進(jìn)一步提升測(cè)量重復(fù)性與精度。
機(jī)械結(jié)構(gòu)方面，BX53-P搭載高精度旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)，內(nèi)置45°定位卡位及中心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，確保樣品旋轉(zhuǎn)過程平穩(wěn)精準(zhǔn)。
展開 浙大：一種全新三維光學(xué)超分辨顯微鏡
近日，浙江大學(xué)光電科學(xué)與工程學(xué)院劉旭教授和匡翠方教授課題組提出了一種新穎的光學(xué)成像技術(shù)——多角度干涉顯微鏡（MAIM），實(shí)現(xiàn)了對(duì)生物體內(nèi)活細(xì)胞的多色、長(zhǎng)時(shí)程、高速和三維超分辨成像，為微管、內(nèi)質(zhì)網(wǎng)、線粒體和細(xì)胞膜等亞細(xì)胞器的生物動(dòng)力學(xué)分析提供了有力的研究工具。這項(xiàng)研究發(fā)表在知名期刊《自然·通訊》上。
研究從諾貝爾獎(jiǎng)開始
沈復(fù)在《浮生六記》中曾寫道，余憶童稚時(shí)，能張目對(duì)日，明察秋毫，見藐小之物必細(xì)察其紋理，故時(shí)有物外之趣。
到了現(xiàn)代社會(huì)，要看清楚微觀世界，人們研究出了顯微鏡。
2014年的諾貝爾化學(xué)獎(jiǎng)?lì)C發(fā)給了超分辨熒光顯微技術(shù)的發(fā)明者，這一技術(shù)利用特定的熒光染料實(shí)現(xiàn)光學(xué)的超分辨，突破衍射極限，到達(dá)200納米以下的尺度。科學(xué)家們可以通過光學(xué)顯微鏡，看到細(xì)胞的精細(xì)結(jié)構(gòu)。然而，這項(xiàng)技術(shù)也有自己的弊端，比如對(duì)熒光染料有特殊的擦除或者開關(guān)效應(yīng)要求，或需要獲取成百上千張?jiān)紙D像以重構(gòu)超分辨圖像，因此成像時(shí)間較長(zhǎng)。短則十幾秒，長(zhǎng)則幾十分鐘才能獲得一張超分辨圖像，對(duì)于捕捉活細(xì)胞的運(yùn)動(dòng)瞬間仍舊困難重重。
與此同時(shí)，現(xiàn)有超分辨顯微還有一個(gè)較大的瓶頸是，在大多數(shù)情況下，成像需要很強(qiáng)的激發(fā)光，這對(duì)細(xì)胞，尤其是活細(xì)胞來說很不友好，常常會(huì)將細(xì)胞殺死。而且強(qiáng)光照射也會(huì)導(dǎo)致熒光分子被快速漂白，無法對(duì)活細(xì)胞進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)程成像。
展開 我國(guó)成功研制高端超分辨光學(xué)顯微鏡
據(jù)新華社報(bào)道，由中國(guó)科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所承擔(dān)的國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目“超分辨顯微光學(xué)核心部件及系統(tǒng)研制”26日在蘇州高新區(qū)通過驗(yàn)收，標(biāo)志著我國(guó)已經(jīng)成功研制出高端超分辨光學(xué)顯微鏡。
驗(yàn)收專家組組長(zhǎng)、中科院高能物理所柴之芳院士認(rèn)為，該項(xiàng)目的成功實(shí)施，改善了我國(guó)高端光學(xué)顯微鏡基本依賴進(jìn)口的狀況，對(duì)滿足我國(guó)前沿基礎(chǔ)研究的定制化需求、提升創(chuàng)新能力，以及推動(dòng)我國(guó)光學(xué)顯微鏡行業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)具有重要意義。
在科學(xué)研究中,高/超分辨光學(xué)顯微鏡發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,10納米至100納米尺度的超分辨顯微光學(xué)成像更是取得原創(chuàng)性研究成果的重要手段。超分辨光學(xué)成像(Super-resolution Optical Microscopy)是本世紀(jì)光學(xué)顯微成像領(lǐng)域最重大的突破，打破了光學(xué)顯微鏡的分辨率極限（換言之，超越了光學(xué)顯微鏡的分辨率極限，故被稱為超分辨光學(xué)成像）
歷時(shí)5年攻關(guān),中科院蘇州醫(yī)工所科研人員突破大數(shù)值孔徑物鏡、特種光源、新型納米熒光增強(qiáng)試劑、系統(tǒng)集成與檢測(cè)等關(guān)鍵技術(shù)；研制出激光掃描共聚焦顯微鏡、雙光子顯微鏡、受激發(fā)射損耗(STED)超分辨顯微鏡、雙光子-STED顯微鏡等高端光學(xué)顯微鏡整機(jī)；建成了高端顯微光學(xué)加工、裝調(diào)、檢測(cè)以及顯微鏡整機(jī)技術(shù)集成工程化平臺(tái)。
據(jù)了解，項(xiàng)目組發(fā)表相關(guān)論文61篇，授權(quán)發(fā)明專利35項(xiàng)，已授權(quán)實(shí)用新型專利56項(xiàng)，培養(yǎng)了一支集光學(xué)、機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)、軟件、材料等領(lǐng)域的超分辨顯微光學(xué)技術(shù)研發(fā)與工程化開發(fā)團(tuán)隊(duì)，為我國(guó)高端光學(xué)顯微鏡的發(fā)展提供了系統(tǒng)解決方案。中科院蘇州醫(yī)工所所長(zhǎng)唐玉國(guó)介紹,該所研制的超分辨顯微鏡或核心部件已在美國(guó)、德國(guó)、以色列及國(guó)內(nèi)多家研究機(jī)構(gòu)投入使用并取得部分成果。
展開 共聚焦顯微鏡在光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)測(cè)量中的應(yīng)用
液晶面板消費(fèi)需求的不斷增長(zhǎng)帶動(dòng)了上游背光顯示模組和作為模組核心材料光學(xué)膜片的大量投產(chǎn)。
光學(xué)膜片作為背光顯示模組的核心材料，其對(duì)光線的匯聚效果決定著背光模組的效能，進(jìn)而直接影響著液晶面板的顯像效果。而光學(xué)膜片對(duì)光線的匯聚效果則是由分布在其表面的陣列微結(jié)構(gòu)的輪廓尺寸所決定，因而需要對(duì)微結(jié)構(gòu)的輪廓尺寸參數(shù)進(jìn)行檢測(cè)與管控，以滿足設(shè)計(jì)要求和確保最終液晶面板有著良好的顯像效果。
光學(xué)膜片
光學(xué)膜片工件具有尺寸大、輕薄的特點(diǎn)，其重心易受空氣流動(dòng)而產(chǎn)生抖動(dòng)，其表面呈透明反射率低的特征，且微結(jié)構(gòu)有微棱鏡結(jié)構(gòu)、微透鏡結(jié)構(gòu)和金字塔結(jié)構(gòu)等多種類型，均具備較大的傾角特征，整體輪廓尺寸又在微米量級(jí)因而精度要求到亞微米級(jí)。針對(duì)具有四個(gè)測(cè)量難點(diǎn)的光學(xué)膜片檢測(cè)需求，在微納級(jí)檢測(cè)儀器領(lǐng)域面臨著精度夠的角度測(cè)量能力不足、角度測(cè)量能力夠的精度無法滿足要求的窘境。
共聚焦顯微鏡搭配50×、100×高數(shù)值孔徑的APO復(fù)消色差物鏡。在測(cè)量時(shí)由于其基于鏡頭焦深的原理不會(huì)受到樣件本身輕微抖動(dòng)的影響，同時(shí)高倍APO物鏡所具有的大角度測(cè)量能力搭配儀器自身納米級(jí)的掃描分辨率，能夠輕松實(shí)現(xiàn)透明表面微結(jié)構(gòu)的3D圖像重建和輪廓尺寸的高精度測(cè)量，在下述視頻中可直觀的了解光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)的測(cè)量過程。
中圖儀器共聚焦顯微鏡能夠?qū)?em>光學(xué)膜表面微結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化測(cè)量，并提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數(shù)對(duì)表面質(zhì)量進(jìn)行表征，幫助客戶實(shí)現(xiàn)光學(xué)膜片表面質(zhì)量的檢測(cè)與管控。
展開 
SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計(jì)軟件課程五十一：10倍顯微目鏡
顯微目鏡是顯微鏡的一個(gè)重要組件，它通過放大顯微物鏡產(chǎn)生的實(shí)像，使觀察者能夠清晰地觀察到樣本的細(xì)節(jié)。目鏡通常由多個(gè)透鏡組成，具有較大的視場(chǎng)和視角放大率。雖然現(xiàn)在有一些電子目鏡可以用于觀察和拍攝顯微鏡圖像，但目鏡仍然是不可替代的。下面給出一個(gè)10倍顯微目鏡設(shè)計(jì)的例子。
本課將給出一個(gè)學(xué)習(xí)例子：
1.波段：可見光
2.放大率為10
3.視場(chǎng)角為40°
4.F數(shù)為1
5.畸變小于5%
顯微目鏡放大率公式為250/f'=10,即可得出焦距f'=25mm
由公式F=f'/D,即可得出D=25mm
首先利用 SYNOPSYS 的 DSEARCH 功能搜索初始結(jié)構(gòu)，下面是對(duì) DSEARCH 宏的輸入：
評(píng)論留言聯(lián)系工作人員獲取代碼
運(yùn)行宏文件，我們得到了一個(gè)比較合適的初始結(jié)構(gòu)。
該程序創(chuàng)建了一個(gè)優(yōu)化宏文件并將其加載到編輯器窗口中。在這里，您可以看到程序生成的目標(biāo)以及 DSEARCH 輸入中給出的特殊目標(biāo)。
評(píng)論留言聯(lián)系工作人員獲取代碼
使用 DSEARCH 宏生成的優(yōu)化宏進(jìn)行優(yōu)化，進(jìn)行模擬退火（50，2，50）
命令窗口輸入 SPEC
焦距為25.0024mm，F(xiàn)數(shù)為1.0001，均已滿足要求。
命令窗口輸入 MRG ，插入真實(shí)玻璃
最終結(jié)果
上述鏡頭數(shù)據(jù)列表均滿足技術(shù)指標(biāo)
查看畸變圖，在像質(zhì)分析中，選擇像差畸變，顏色為 M，運(yùn)行 DIS
我們有了一個(gè)非常好的10倍顯微目鏡。
很高興您選擇 SYNOPSYS 來設(shè)計(jì)您的鏡頭，它可以快速的做出非常好的設(shè)計(jì)。
展開 SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計(jì)軟件課程四十九：一個(gè)40倍顯微物鏡
課程四十九： 一個(gè)40倍顯微物鏡
顯微鏡是實(shí)驗(yàn)室、科研院所和學(xué)校常用的目視光學(xué)儀器。顯微鏡通常由照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)和探測(cè)器系統(tǒng)組成。成像系統(tǒng)主要由顯微物鏡、目鏡和轉(zhuǎn)像棱鏡構(gòu)成。下面給出一個(gè) 40 倍顯微物鏡設(shè)計(jì)的例子。
本課將給出一個(gè)學(xué)習(xí)例子：
1.鏡片數(shù)8片,不使用非球面
2.視場(chǎng)角為25°
3.數(shù)值孔徑NA=0.55
4.波長(zhǎng)為VIS
5.總長(zhǎng)小于46mm
6.蓋玻片0.17mm
7.工作距越長(zhǎng)越好，下限為2.2mm（鏡片到蓋玻片的最近距離）
首先，根據(jù)技術(shù)指標(biāo)計(jì)算鏡頭的外形尺寸：
1.物鏡機(jī)械筒長(zhǎng)根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T22057.1-2008規(guī)定，為160mm
2.焦距f=160/40=4mm
3.F數(shù)F#=1/（2*NA）=0.91
4.YMP1=0.5*f/F#=2.2
設(shè)計(jì)時(shí)倒置設(shè)計(jì)，物鏡為目鏡所在位置，像面為蓋玻片底部待觀察物，依次后焦為0。
下面是對(duì) DSEARCH 的輸入：
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運(yùn)行宏文件，我們得到了一個(gè)比較合適的初始結(jié)構(gòu)。
該程序創(chuàng)建了一個(gè)優(yōu)化宏文件并將其加載到編輯器窗口中。在這里，您可以看到程序生成的目標(biāo)以及 DSEARCH輸入中給出的特殊目標(biāo)。
【評(píng)論留言聯(lián)系工作人員獲取代碼】
命令窗口輸入 SPEC
焦距為4.0098mm，F(xiàn)數(shù)為0.9033，總長(zhǎng)26.8492mm<46mm,放大率為-0.02484，由于倒置設(shè)計(jì)，實(shí)際放大率為1/0.02484=40.25。
命令窗口輸入TH 16 ? ,查看工作距離
工作距離為2.36930345mm>2.2mm。
展開 微觀特征輪廓尺寸測(cè)量：光學(xué)3D輪廓儀、共焦顯微鏡與臺(tái)階儀的應(yīng)用
隨著科技進(jìn)步，顯微測(cè)量?jī)x器以滿足日益增長(zhǎng)的微觀尺寸測(cè)量需求而不斷發(fā)展進(jìn)步。多種高精度測(cè)量?jī)x器被用于微觀尺寸的測(cè)量，其中包括光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）、共聚焦顯微鏡和臺(tái)階儀。有效評(píng)估材料表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，從而指導(dǎo)生產(chǎn)過程、優(yōu)化產(chǎn)品性能。
光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）
光學(xué)3D表面輪廓儀是一種利用白光干涉原理進(jìn)行非接觸式測(cè)量的高精度儀器。它通過分析反射光的干涉模式來重建表面的三維形貌。
非接觸無損測(cè)量，超高縱向分辨率，測(cè)量從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面。測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等等）；
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。
光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于對(duì)器件表面質(zhì)量要求超高的光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造與封裝、超精密加工、3C產(chǎn)業(yè)鏈等，同時(shí)在航空航天、國(guó)防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域也存在普遍使用。它能以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。
共聚焦顯微鏡
共聚焦顯微鏡以共軛共焦技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面3D微觀形貌檢測(cè)的精密光學(xué)儀器。
非接觸式無損檢測(cè)方式，復(fù)雜結(jié)構(gòu)的大角度形貌測(cè)量能力，優(yōu)異的橫向分辨率，低反射率表面的適應(yīng)性強(qiáng)。
展開 光學(xué)3D表面輪廓儀超0.1nm縱向分辨能力，讓顯微形貌分毫畢現(xiàn)
在工業(yè)應(yīng)用中，光學(xué)3D表面輪廓儀超0.1nm的縱向分辨能力能夠高精度測(cè)量物體的表面形貌，可用于質(zhì)量控制、表面工程和納米制造等領(lǐng)域。
與其它表面形貌測(cè)量方法相比，SuperViewW系列光學(xué)3D表面輪廓儀達(dá)到納米級(jí)別的相移干涉法(PSI)和垂直掃描干涉法(VSI)，具有快速、非接觸的優(yōu)點(diǎn)。它結(jié)合了跨尺度納米直驅(qū)技術(shù)、精密光學(xué)干涉成像技術(shù)、連續(xù)相移掃描技術(shù)三大獨(dú)特技術(shù)，能夠?yàn)V除光源不均勻帶來的誤差，以超越0.1nm的縱向分辨能力，讓顯微形貌分毫畢現(xiàn)；以優(yōu)于0.1%的臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性，讓測(cè)量數(shù)據(jù)萬千如一。
在半導(dǎo)體行業(yè)，SuperViewW系列光學(xué)3D表面輪廓儀可用于檢測(cè)芯片表面缺陷和顆粒，確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能，從而將不良產(chǎn)品阻截在市場(chǎng)之外；IC封裝中用于測(cè)量減薄之后的厚度、晶圓的粗糙度、激光切割后的槽深槽寬，測(cè)量導(dǎo)線框架的粗糙度；在分立器件封裝中，測(cè)量QA對(duì)打線深度，彈坑深度。
減薄工序中粗磨和細(xì)磨后的硅片表面3D圖像，用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測(cè)量數(shù)值的穩(wěn)定性來反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強(qiáng)噪聲環(huán)境中測(cè)量的減薄硅片，細(xì)磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次測(cè)量數(shù)據(jù)計(jì)算重復(fù)性為0.046987nm，測(cè)量穩(wěn)定性良好。
彈坑深度測(cè)量
在涂層表面粗糙度和厚度的研究上，可以監(jiān)測(cè)納米級(jí)結(jié)構(gòu)的生長(zhǎng)過程，為科學(xué)研究提供了更準(zhǔn)確的測(cè)量手段。
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