光學(xué)3D表面輪廓儀的案例
光學(xué)3D表面輪廓儀可以測金屬嗎？
光學(xué)3D表面輪廓儀是基于白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等快速、準確測量物體表面的形狀和輪廓的檢測儀器。它利用光學(xué)投射原理，通過光學(xué)傳感器對物體表面進行掃描，并根據(jù)反射光的信息來重建物體的三維模型。這種測量方式具有非接觸性、高精度、高速度等優(yōu)點，非常適合用于金屬等材料的表面測量。
光學(xué)3D表面輪廓儀可以測量金屬的形狀、表面缺陷、幾何尺寸等多個方面：
1、形狀測量。光學(xué)3D表面輪廓儀可以快速、準確地獲取金屬表面的曲率、凹凸等特征。
2、表面缺陷檢測。光學(xué)3D表面輪廓儀可以實時捕捉金屬表面的瑕疵、劃痕、凹陷等問題，以便及時修復(fù)和改進。
3、幾何尺寸測量。光學(xué)3D表面輪廓儀可以測量金屬制品的長度、寬度、高度等維度參數(shù)。
除了測量金屬表面的形狀和輪廓外，光學(xué)3D表面輪廓儀還可以生成三維點云數(shù)據(jù)和色彩圖像，用于進一步分析和展示：
1、三維點云數(shù)據(jù)可以用于進行CAD模型比對、工藝分析等，幫助優(yōu)化生產(chǎn)流程和提高產(chǎn)品質(zhì)量；
2、色彩圖像可以直觀地展示金屬表面的紋理、顏色等特征，為審美評價和設(shè)計提供參考。
SuperViewW1能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機械等等領(lǐng)域。
總之，光學(xué)3D表面輪廓儀在金屬測量方面應(yīng)用廣泛，可以實現(xiàn)非接觸式、高精度的測量。但是在測量前需要充分了解被測金屬的特性，通過合理的儀器操作和數(shù)據(jù)處理，才能得到精準的測量結(jié)果。想了解更多可咨詢中圖儀器。
展開 三維輪廓儀測粗糙度：光學(xué)3D表面輪廓儀功能詳解
在精密制造領(lǐng)域，表面粗糙度的測量是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵步驟。光學(xué)3D表面輪廓儀為這一需求提供了解決方案。
在半導(dǎo)體制造、3C電子、光學(xué)加工等高精度行業(yè)，表面粗糙度的測量精度直接影響到產(chǎn)品的性能和可靠性。SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀正是為了滿足這一需求而設(shè)計的。
產(chǎn)品特點
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀采用了白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，能夠?qū)Ω鞣N精密器件及材料表面進行亞納米級的測量。這種非接觸式的掃描方式不僅避免了對被測物體的損傷，還提供了高測量精度和重復(fù)性。
測量原理
該系列輪廓儀的工作原理基于光學(xué)干涉技術(shù)，通過白光LED作為光源，對被測物體表面進行照射。由于白光具有寬廣的光譜，能夠提供更高的測量精度和分辨率。通過精密的Z向掃描，設(shè)備能夠捕捉到物體表面的微觀形貌，并利用3D建模算法重建出物體的3D圖像。
應(yīng)用領(lǐng)域
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，包括但不限于半導(dǎo)體制造、3C電子產(chǎn)品的玻璃屏、光學(xué)元件的曲率和輪廓尺寸測量、超精密加工、微納材料制造、汽車零部件以及航空航天和科研院所的研究工作。
性能特色
1. 高精度與高重復(fù)性：采用的光學(xué)干涉技術(shù)和精密Z向掃描模塊，確保了測量的高精度。
2. 環(huán)境噪聲檢測功能：能夠定量評估外界環(huán)境對測量的干擾，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供數(shù)據(jù)支持。
3. 精密操縱手柄：集成了X、Y、Z三個方向的位移調(diào)整功能，使得測量前的準備工作更加快捷。
4. 雙重防撞保護措施：軟件和硬件雙重保護，最大限度降低操作風險。
5.
展開 光學(xué)3D表面輪廓儀超0.1nm縱向分辨能力，讓顯微形貌分毫畢現(xiàn)
此外，不管是從超光滑到粗糙，還是低反射率到高反射率的物體表面，光學(xué)3D表面輪廓儀都能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。
全透明表面、漫反射表面、鏡面反射表面，可測反射率：覆蓋近0%~100%的表面反射率。
光學(xué)3D表面輪廓儀具有高精度、高速度和高可靠性等優(yōu)點，在科學(xué)研究、質(zhì)量控制、表面工程和納米制造等領(lǐng)域中，發(fā)揮著舉足輕重的作用。
助力科研|光學(xué)3D表面輪廓儀服務(wù)超精密拋光技術(shù)發(fā)展
隨著技術(shù)的不斷進步，精密制造領(lǐng)域?qū)Σ牧?em>表面的處理要求越來越高，超精密拋光技術(shù)作為當下表面處理的尖端技術(shù)，對各種高精密產(chǎn)品的生產(chǎn)起到了至關(guān)重要的作用，已廣泛應(yīng)用于集成電路制造、醫(yī)療器械、航空航天、3C電子、汽車、精密模具等多個先進制造行業(yè)。
SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀通過納米傳動與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)實現(xiàn)0.1nm級表面粗糙度測量，成為超精密拋光技術(shù)研究領(lǐng)域的重要工具和幫手。
光學(xué)3D表面輪廓儀助力科研課題研究，服務(wù)超精密拋光技術(shù)發(fā)展
浙江工業(yè)大學(xué)趙軍、呂冰海團隊對磨料旋轉(zhuǎn)射流拋光(ARJP)技術(shù)，剪切增稠拋光技術(shù)等開展深入研究，并利用SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀對拋光后表面粗糙度進行檢測驗證，多篇論文在國際TOP期刊發(fā)布。
展開 
光學(xué)3D表面輪廓儀：滿足多元超精密微觀尺寸測量需求
光學(xué) 3D 表面輪廓儀采用先進的光學(xué)原理和精密的測量技術(shù)，能夠?qū)ξ矬w表面進行非接觸式的三維測量。與傳統(tǒng)的測量方法相比，它具有諸多優(yōu)勢。首先，非接觸式測量避免了對被測物體的損傷，尤其對于一些精密的、易損的材料和工件，能夠在不影響其性能的前提下進行準確測量。其次，高分辨率的測量能力可以捕捉到物體表面微小的細節(jié)，無論是納米級的微觀結(jié)構(gòu)還是宏觀物體的復(fù)雜形貌，都能清晰呈現(xiàn)。再者，快速的測量速度使得它能夠在短時間內(nèi)完成大量數(shù)據(jù)的采集，提高了工作效率。
SuperViewW 系列光學(xué) 3D 表面輪廓儀，涵蓋了多種不同類型的產(chǎn)品，滿足了不同客戶的多樣化需求。無論是追求高精度測量的科研機構(gòu)，還是需要測量大尺寸工件的工業(yè)企業(yè)，都能在這個系列中找到最適合自己的解決方案。
高精度：精準捕捉每一個細節(jié)
在高精度測量要求的應(yīng)用場景中，高精度光學(xué) 3D 表面輪廓儀采用先進的白光干涉技術(shù)，能夠精確地捕捉物體表面的微小細節(jié)，為科研人員和工程師們提供了可靠的數(shù)據(jù)支持。如在材料科學(xué)領(lǐng)域，通過高精度光學(xué) 3D 表面輪廓儀對新型納米材料進行表面形貌研究，可以精準測量出納米材料表面的高度信息、粗糙度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)，為進一步優(yōu)化材料性能提供了重要依據(jù)。其精度之高，可達到納米級別。
大尺寸測量：輕松應(yīng)對大型工件
在需要測量大尺寸工件時，SuperViewW 系列同樣有相應(yīng)的產(chǎn)品可供選擇。這些大尺寸測量儀器具備廣闊的測量范圍和穩(wěn)定的性能，能夠輕松應(yīng)對各種大型工件的測量任務(wù)。
WX-S1000，升級版超大行程光學(xué)3D表面輪廓儀（龍門結(jié)構(gòu)，超大行程，氣浮隔振，穩(wěn)如泰山），2D表面測量/3D立體重建一鍵全自動測量，高精度微納尺寸形貌檢測利器。
展開 微觀特征輪廓尺寸測量：光學(xué)3D輪廓儀、共焦顯微鏡與臺階儀的應(yīng)用
多種高精度測量儀器被用于微觀尺寸的測量，其中包括光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）、共聚焦顯微鏡和臺階儀。有效評估材料表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，從而指導(dǎo)生產(chǎn)過程、優(yōu)化產(chǎn)品性能。
光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）
光學(xué)3D表面輪廓儀是一種利用白光干涉原理進行非接觸式測量的高精度儀器。它通過分析反射光的干涉模式來重建表面的三維形貌。
非接觸無損測量，超高縱向分辨率，測量從光滑到粗糙等各種精細器件表面。測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。
光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求超高的光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造與封裝、超精密加工、3C產(chǎn)業(yè)鏈等，同時在航空航天、國防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域也存在普遍使用。它能以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。
共聚焦顯微鏡
共聚焦顯微鏡以共軛共焦技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面3D微觀形貌檢測的精密光學(xué)儀器。
非接觸式無損檢測方式，復(fù)雜結(jié)構(gòu)的大角度形貌測量能力，優(yōu)異的橫向分辨率，低反射率表面的適應(yīng)性強。
共聚焦顯微鏡廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求非常高的光伏太陽能、半導(dǎo)體封裝、激光加工、光學(xué)膜材、3C產(chǎn)業(yè)鏈等高端制造業(yè)，同時在航空航天、國防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域也存在普遍使用。
展開 光學(xué)3D表面輪廓儀&共聚焦顯微鏡：引領(lǐng)半導(dǎo)體行業(yè)走向新質(zhì)生產(chǎn)力時代
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展和智能制造的推動，半導(dǎo)體制造過程中，對尺寸、形狀和表面質(zhì)量的檢測至關(guān)重要。而顯微測量儀的高精度、高分辨率的測量能力，為半導(dǎo)體行業(yè)提供了強大的支持。
SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀結(jié)合機械制造、計算機技術(shù)、圖像出處理技術(shù)，以非接觸的掃描方式，實現(xiàn)針對樣品表面的高重復(fù)精度的3D測量，獲取樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)。
儀器集合PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點的EPSI掃描算法，從0.1nm級別的超光滑表面到數(shù)十微米級別的粗糙表面，都能實現(xiàn)高精度測量。此外具有的同步分析與預(yù)編程分析功能，實現(xiàn)了分析過程的所見即所得，測量到分析的一鍵式操作，有效縮減操作步驟。
VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和優(yōu)異的3D重建算法，可對各種精密器件及材料表面進行微納米級粗糙度、微觀幾何輪廓等的測量。在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測中，對大傾角產(chǎn)品有更好的成像效果。
在芯片制造的各個環(huán)節(jié)，顯微測量儀用于檢測半導(dǎo)體芯片和晶圓的尺寸和形狀，提供準確的尺寸測量，滿足半導(dǎo)體制造過程中對尺寸、形狀和表面質(zhì)量更嚴格的要求，幫助制造商及時發(fā)現(xiàn)和糾正任何偏差；在表面質(zhì)量的評估和缺陷檢測方面，顯微測量儀可以檢測微小的表面缺陷和污染，確保產(chǎn)品的表面質(zhì)量達到標準要求，提高產(chǎn)品的可靠性和穩(wěn)定性。
我們有理由相信，在新技術(shù)和新思維的推動下，顯微測量儀將使半導(dǎo)體行業(yè)邁向更加智能化、高效化和可持續(xù)化的未來。
展開 中圖共聚焦顯微鏡在化學(xué)機械拋光課題研究中的應(yīng)用
兩個物體表面相互接觸即會產(chǎn)生相互作用力，研究具有相對運動的相互作用表面間的摩擦、潤滑與磨損及其三者之間關(guān)系即為摩擦學(xué)，目前摩擦學(xué)已涵蓋了化學(xué)機械拋光、生物摩擦、流體摩擦等多個細分研究方向，其研究的數(shù)值量級也涵蓋了亞納米到百微米的區(qū)間。摩擦本身是一種能量損耗現(xiàn)象，然而得到合理地利用也能產(chǎn)生巨大的正面效益，因此，準確地測定磨損量并進行精確的控制，是摩擦學(xué)研究中的一個重難點。
作為一家專業(yè)的微納3D形貌檢測儀器廠商，中圖儀器的SuperView系列光學(xué)3D表面輪廓儀已在國內(nèi)高校從事化學(xué)機械拋光課題研究的教授群體中得到廣泛應(yīng)用，因樣件多為超光滑拋光表面，采用光學(xué)3D表面輪廓儀較為合適，其中較為關(guān)鍵的粗糙度Sa和Ra等參數(shù)，能夠確保0.1nm的精度。而針對磨損區(qū)域較大、坡度也較為陡峭的生物摩擦和流體摩擦領(lǐng)域，采用中圖VT6000系列共聚焦顯微鏡則更加匹配，其遠勝于光學(xué)3D表面輪廓儀的大角度測量能力和超景深觀察功能，能夠輕松勝任磨損較為嚴重的表面形貌檢測，從而幫助研究人員更加精準的掌握磨損量評價數(shù)據(jù)。
如下圖所示，為檢測生物摩擦課題中的樣件表面磨損區(qū)域的3D形貌圖像，其中心區(qū)域凹陷而在中心到上表面的邊緣處呈大坡度形態(tài)，因而在采用光學(xué)3D表面輪廓儀進行檢測時，會出現(xiàn)邊緣陡坡處3D圖像重建不完整、出現(xiàn)空白區(qū)域的問題，而使用共聚焦顯微鏡，則能夠輕松獲取完整的形貌數(shù)據(jù)與3D圖像。
圖.磨損形貌
使用軟件的孔洞體積功能對圖像磨損區(qū)域進行處理與分析，能夠獲取準確的磨損區(qū)域深度、面積、體積等數(shù)值，從而對摩擦工藝參數(shù)與蝕坑形狀以及磨損量的相關(guān)性進行定量研究，實現(xiàn)對摩擦磨損的有效利用。
展開 臺階儀和輪廓儀在工業(yè)制造領(lǐng)域的區(qū)別和應(yīng)用領(lǐng)域解析
（3）應(yīng)用
接觸式輪廓儀可廣泛應(yīng)用于精密機械加工、汽車、軸承、機床、模具、精密五金等行業(yè), 用于測量各種零件的直線度、傾斜度、角度處理、圓度處理、雙溝處理、雙圓弧處理等機械零件表面微觀幾何結(jié)構(gòu)和宏觀幾何形狀的參數(shù)。
SJ5730可以對零件表面，尤其是大范圍曲面，如圓弧面和球面、異型曲面等進行檢測。
2、光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）
（1）產(chǎn)品概述
光學(xué)3D表面輪廓儀主要是用于產(chǎn)品微觀形貌測量，主要是測微觀粗糙度，精度一般是亞微米和納級別的。能夠非接觸式快速測量精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸。
（2）產(chǎn)品特點
光學(xué)3D表面輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。SuperViewW1特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
（3）應(yīng)用
光學(xué)3D表面輪廓儀專用于超精密加工領(lǐng)域，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀應(yīng)用
在具體的項目中，選擇臺階儀還是輪廓儀需要根據(jù)實際測量需求來進行判斷和決策，確保產(chǎn)品的質(zhì)量和工藝要求的達標。
展開 從0.1nm到1mm：中圖儀器顯微測量儀在拋光至粗糙表面測量中的技術(shù)突破
顯微測量儀是納米級精度的表面粗糙度測量技術(shù)。它利用光學(xué)、電子或機械原理對微小尺寸或表面特征進行測量，能夠提供納米級甚至更高級別的測量精度，這對于許多科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用至關(guān)重要。
在拋光至粗糙表面測量中，中圖儀器的顯微測量儀器具有從0.1nm到1mm的測量范圍，每種儀器都有其獨特的功能和應(yīng)用范圍。
三種不同顯微測量技術(shù)在測量表面粗糙度方面的優(yōu)勢詳解
一、光學(xué)3D表面輪廓儀
工作原理：
1.光源與分光：儀器的光源發(fā)出的光束首先通過擴束準直，然后通過分光棱鏡分成兩束光。一束光直接投射到被測表面，另一束光則投射到參考鏡上。
2.反射與干涉：從被測表面反射回來的光束與從參考鏡反射回來的光束在分光棱鏡處匯聚，由于兩束光在不同的路徑上行進，它們之間存在光程差。當兩束光的光程差為半波長的整數(shù)倍時，它們會發(fā)生干涉，形成明暗相間的干涉條紋。
3.成像與分析：光學(xué)3D表面輪廓儀將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號。通過測量這些干涉條紋的變化，可以推算出被測表面的三維形貌。系統(tǒng)軟件對這些數(shù)據(jù)進行處理和分析，從而得到表面的粗糙度、臺階高度、幾何輪廓等參數(shù)。
測量能力：
1.粗糙度測量范圍：SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀能夠測量從超光滑表面（0.1nm粗糙度）到相對粗糙表面（1mm粗糙度）的三維形貌。
2.垂直分辨率：SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀可以達到0.1nm的垂直分辨率，這對于測量光滑表面的微小高度變化至關(guān)重要。
3.水平分辨率：水平分辨率取決于儀器的掃描范圍和傳感器的像素大小，它決定了可以測量的最小特征尺寸。
展開 三維輪廓測量儀：革命性技術(shù)在工業(yè)智能制造中的多重應(yīng)用
現(xiàn)代工業(yè)智能制造領(lǐng)域中，三維輪廓測量儀是一項重要的測量技術(shù)。三維輪廓測量儀利用光學(xué)、激光或光電等技術(shù)手段，通過測量物體表面輪廓的三維坐標信息，能實現(xiàn)對物體形狀、尺寸和表面特征的準確測量。它可以廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化、制造工藝控制、產(chǎn)品質(zhì)量檢測等領(lǐng)域，為工業(yè)生產(chǎn)提供了更強大的技術(shù)支持。
微納三維輪廓測量：光學(xué)3D表面輪廓儀
在產(chǎn)品制造、產(chǎn)品質(zhì)量檢測過程中，精確的尺寸控制和表面質(zhì)量是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。接觸式測量方法不僅測量效率低下，而且可能會對被測物體造成損傷。
光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉原理，3D非接觸快速測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。保證產(chǎn)品尺寸和表面質(zhì)量的一致性，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
無論是金屬制品、塑料制品，還是電子元器件、汽車零部件，光學(xué)3D表面輪廓儀都能夠準確地檢測產(chǎn)品的尺寸、形狀和表面特征，快速、準確地提供相關(guān)的檢測數(shù)據(jù)。
大尺寸三維輪廓測量：激光跟蹤儀
在工業(yè)自動化中，隨著工業(yè)制造的自動化程度不斷提高，對于物體的自動化識別和測量成為了一個重要的問題。
激光跟蹤儀采用球坐標系的測量原理，將空間點通過測量水平、俯仰兩個角度和一個長度實現(xiàn)空間位置的定位，再由軟件將所采集的位置進行擬合，在軟件中形成三維特征，從而實現(xiàn)對物體的自動化實時測量。
不論是在裝配線上，還是在機器人操作中，激光跟蹤儀都能夠快速獲取物體的位置信息，從而實現(xiàn)對物體的自動化識別和操作，提高生產(chǎn)效率和準確性。
三維輪廓測量儀作為一項革命性技術(shù)，在制造工藝控制、產(chǎn)品質(zhì)量檢測和工業(yè)自動化中具有重要的意義。
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白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)與臺階儀的區(qū)別
表面形貌即為表面微觀幾何形態(tài)，不僅對接觸零件的機械和物理特性起著決定作用，而且對一些非接觸零件的光學(xué)和外部特性影響也很大。所以對表面形貌的精準測量能正確地識別出加工過程的變化和缺陷，對研究表面幾何特性與使用性能的關(guān)系、控制和改進加工方法等都有著顯著的意義。
隨著微電子技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、計算機技術(shù)、傳感技術(shù)、信號分析和處理技術(shù)等飛速發(fā)展，對表面形貌測量精度不斷提高，從微米尺度進入了納米甚至是亞納米尺度。臺階儀與白光干涉儀，兩者雖然都是表面微觀輪廓測量利器，但還是有所不同。
1、測量方式
（1）CP200臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面，測針的垂直位移距離被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相匹配的電信號并最終轉(zhuǎn)換為數(shù)字點云信號，數(shù)據(jù)點云信號在分析軟件中呈現(xiàn)并使用不同的分析工具來獲取相應(yīng)的臺階高或粗糙度等有關(guān)表面質(zhì)量的數(shù)據(jù)。
（2）SuperViewW1白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級非接觸式測量的光學(xué)檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
2、測量應(yīng)用
（1）臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。
展開 幾何量測量基本原理及精密儀器
形狀測量則是通過測量物體表面的曲率、彎曲程度等指標，來描述物體的形狀特征。
傳統(tǒng)的幾何量測量儀器包括千分尺、角度尺、游標卡尺等，這些儀器能夠滿足一般的幾何量測量需求。但是隨著科技的發(fā)展，越來越多高精度測量儀器被應(yīng)用于幾何量測量領(lǐng)域。從納米級光學(xué)3D表面輪廓儀通過光學(xué)原理測量物體的三維形狀，到百米級激光跟蹤儀高精度（μm級）、大工作空間（百米級）的坐標和空間姿態(tài)測量，大大提高了幾何量測量的精度和效率：
1、光學(xué)3D表面輪廓儀
SuperViewW系列光學(xué)3D表面輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，從0.1nm級別的超光滑表面到數(shù)十微米級別的粗糙度表面，儀器均能實現(xiàn)高精度測量。
2、三坐標測量機
MarsClassic系列三坐標是國產(chǎn)三坐標測量機，控制器、測頭測座、軟件全自主研發(fā)，安全可控。最大允許示值誤差（1.5+L/350）μm，測量行程從500mmx700mmx500mm延伸到800mmx1000mmx600mm，提供了豐富的計量解決方案。
3、粗糙度輪廓儀
SJ57系列粗糙度輪廓儀一體機一次測量同時評定輪廓和粗糙度參數(shù)。SJ5730具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，分辨率高達0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。納米級大量程粗糙度測量，高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性特點，是大曲面測量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領(lǐng)域精細粗糙度測量的利器。
展開 白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)只能測同質(zhì)材料嗎？
白光干涉儀以白光干涉為原理，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)等領(lǐng)域，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析，是一種常見的光學(xué)輪廓測量儀器。但是許多人對白光干涉儀的使用范圍和限制性存在疑問，本文將圍繞“白光干涉儀是否智能測量同質(zhì)材料？”進行深入探討。
白光干涉儀由光源、分光器、干涉儀和探測器等部分組成。儀器基于干涉現(xiàn)象原理工作：當兩束或多束光線相互疊加時，會發(fā)生干涉現(xiàn)象。白光干涉儀利用這種干涉現(xiàn)象來測量光的相位差，從而獲得材料的相關(guān)參數(shù)。
光源發(fā)出的白光通過分光器被分成兩束光線，分別經(jīng)過不同的光路。然后，這兩束光線再次相遇并疊加在一起，形成干涉圖樣。通過干涉圖樣的變化，我們可以得到材料的相關(guān)信息。
白光干涉儀只能測同質(zhì)材料嗎？答案是否定的。在實際應(yīng)用中，白光干涉儀的測量對象可以是各種類型的材料，例如金屬、陶瓷、塑料等。無論是同質(zhì)材料還是非同質(zhì)材料的測量，白光干涉儀的干涉圖樣分析和計算方法都可以提供準確而詳細的測量結(jié)果：
1、同質(zhì)材料具有相似的光學(xué)特性，因此可以采用簡化的分析方法。利用干涉儀圖樣的分析，可以直接獲得相關(guān)參數(shù)（如膜層厚度、表面粗糙度、膜層折射率等），從而得到準確的測量結(jié)果。
2、對于非同質(zhì)材料，由于其光學(xué)特性的差異性，分析方法相對更為復(fù)雜，通常需要借助計算機模擬和計算等手段來精確測量參數(shù)。
無論是研究材料性質(zhì)、表面形貌，還是進行質(zhì)量控制和判別等方面，白光干涉儀都具有廣泛的應(yīng)用前景。
SuperViewW1白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。
展開 納米級材料尺寸如何測量？
在納米顯微測量領(lǐng)域，中圖儀器基于納米傳動與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)、共聚焦測量等技術(shù)積累，推出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的白光干涉儀（Z向分辨率可高達0.1納米）和共聚焦顯微鏡，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C電子、高校科研等行業(yè)領(lǐng)域。
從納米到宏觀，產(chǎn)品解決方案全面覆蓋，滿足多樣化需求：
1、光學(xué)3D表面輪廓儀
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀利用白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，能夠?qū)Ω鞣N精密器件及材料表面進行亞納米級測量。
2、共聚焦顯微鏡
VT6000系列共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。
3、臺階儀
CP系列臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù)，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。
中圖儀器以深厚的技術(shù)積累、創(chuàng)新的產(chǎn)品解決方案和全球化的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，為全球客戶提供精準、可靠的測量產(chǎn)品和服務(wù)。未來公司將不斷推動科技創(chuàng)新，繼續(xù)在精密測量領(lǐng)域發(fā)揮領(lǐng)導(dǎo)作用，助力科技進步和工業(yè)發(fā)展。
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