硼硅玻璃的案例
藥用玻璃“內(nèi)幕”了解一下！
企業(yè)進(jìn)行中硼硅玻璃生產(chǎn)拉管環(huán)節(jié)
中建材凱盛君恒采用全氧電助熔技術(shù)，2號窯爐實現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)；山東藥玻在模制工藝上深耕突破；重慶正川建設(shè)了中硼硅玻璃窯爐……不少國內(nèi)企業(yè)發(fā)力中硼硅玻璃制造，并取得一定成績。
河北滄州四星玻璃董事長王煥一選擇的則是“冷頂式全電熔技術(shù)”，為了突破這個技術(shù)，他幾乎搭進(jìn)了全部身家。
2005年，面對接連漲價的進(jìn)口玻璃和延遲的交貨期，王煥一下定決心自己研發(fā)。建窯爐、投料、點火，四星玻璃經(jīng)歷無數(shù)次的周而復(fù)始，“一度連交電費的錢都沒有”。最終，企業(yè)攻克難點。目前，四星玻璃擁有4座藥用中硼硅玻璃管窯爐、12條拉管生產(chǎn)線。
國內(nèi)，不少企業(yè)在中硼硅玻璃領(lǐng)域耕耘，并向全產(chǎn)業(yè)鏈滲透。
天眼查專業(yè)版數(shù)據(jù)顯示，我國目前有23家經(jīng)營范圍含“中硼硅、中性硼硅”，且狀態(tài)為在業(yè)、存續(xù)、遷入、遷出的中硼硅相關(guān)企業(yè)，約有一半成立于3年之內(nèi)。有超2500家經(jīng)營范圍含“藥品包裝材料和容器、玻璃生產(chǎn)專用設(shè)備、玻璃包裝容器”，且狀態(tài)為在業(yè)、存續(xù)、遷入、遷出的企業(yè)。
此外，看重中國市場，老牌藥用玻璃企業(yè)也陸續(xù)在國內(nèi)建廠，成為國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈的一環(huán)。比如，肖特玻管在浙江建設(shè)中硼硅玻管工廠，預(yù)計2021年上半年可從該工廠為中國本地客戶提供樣品進(jìn)行合規(guī)認(rèn)證和逐步實現(xiàn)本地供貨。中硼硅玻璃的中國制造之路越走越寬。
展開 工業(yè)產(chǎn)品設(shè)計的常用材料及特性——玻璃篇
玻璃材質(zhì)
1. 硼硅玻璃——輕薄堅硬
硼硅玻璃具有優(yōu)異的耐高溫性能及化學(xué)穩(wěn)定性、極佳的透過率、良好的玻璃表面平整度。廣泛用于家用電器；照明；環(huán)保及化學(xué)工程；醫(yī)療及生物技術(shù)；半導(dǎo)體、電子技術(shù)。
材料特性：抗熱沖擊性良好、能承受高溫、耐化學(xué)腐蝕性好、膨脹系數(shù)極小、抗物理沖擊性優(yōu)秀。
2. 人工吹制——古老的工藝
人工吹制時使用長約1.5m中空鐵吹管，一端蘸取玻璃液（挑料），一端為吹嘴。挑料后在滾料板（碗）上滾勻、吹氣，形成玻璃料泡，在模中吹成制品；也可無模自由吹制，最后從吹管上敲落。大型制品成型時，需反復(fù)挑料滾勻，以集取足夠料量。
機(jī)械吹制時，玻璃液由玻璃熔窯出口流出，經(jīng)供料機(jī)形成設(shè)定重量和形狀的料滴，剪入初型模中吹成或壓成初型，再轉(zhuǎn)入成型模中吹成制品。吹成初型再吹成制品的稱吹－吹法（圖2[ 吹－吹法成型過程]），適宜制成小口器皿和瓶罐。壓成初型再吹成制品的稱壓－吹法(圖3[壓－吹法成型過程])，適宜制成大口器皿和薄壁瓶罐。
康寧帶式吹泡機(jī)是機(jī)械吹制中較為特殊的一類。它先將玻璃液經(jīng)轉(zhuǎn)輥壓成有間隔塊體的帶狀，吹泡機(jī)的多個吹氣頭在玻璃料帶上同步運行并吹成初型，再合上成型模吹成制品。適宜制造燈泡殼、電子管殼、水杯等。
材料特性：加工投資低、由于人工費成本高，產(chǎn)品成本也高、生產(chǎn)過程靈活、玻璃可以重復(fù)利用和回收、堿石灰玻璃是一種比較柔軟的玻璃。
3. 燈燒玻璃——無需模具
燈燒玻璃更多地被用作進(jìn)行小批量加工。在一般的手工造型步驟之前，還包含一個局部加熱工程。因為火焰可以對準(zhǔn)特定的部分，玻璃制造者能夠進(jìn)行精確控制，而這一點在吹制加工中是很難做到的。
展開 FLUENT太陽能熱水器仿真 附江帆Fluent高級應(yīng)用與實例分析下載
01
前言
最常用的熱水器形式為真空玻璃管熱水器，這種熱水器由真空集熱管和貯熱水箱組成，真空集熱管由內(nèi)外兩根同軸硼硅玻璃管組成，外形猶如一根拉伸過后的熱水壺內(nèi)膽，一端開口連接于上部的熱水箱，另一端密封成半圓球頭。
在內(nèi)玻璃管上附有選擇性吸收涂層，其輻射吸收特性會隨著入射輻射波長的改變而改變；為了防止對流和熱傳導(dǎo)帶來的熱損失，內(nèi)玻璃管和外玻璃管之間被抽成真空。為防止不必要的熱損，在貯熱水箱外包有保溫層。
本案例以參考文獻(xiàn)的熱水器結(jié)構(gòu)進(jìn)行了適當(dāng)修改，對熱水器進(jìn)行瞬態(tài)仿真。
02
模型描述與求解設(shè)置
真空集熱管管管長 L 為 1800mm，外玻璃管內(nèi)徑 r0為 58mm，內(nèi)玻璃管內(nèi)徑r1為47mm，內(nèi)外玻璃管厚度均為d1為1.7mm,水箱直徑R為 360mm，貯熱水箱外包有保溫層，其厚度為 d2為 50mm，真空集熱管與地面所成的夾角 φ 為 45°。采用ICEM建立二維模型，劃分六面體網(wǎng)格，模型網(wǎng)格如下圖。
集熱管和保溫層的材料屬性如下。
水的密度設(shè)置為溫度的函數(shù)，如下，熱水器的換熱機(jī)理實際上是封閉空間的自然對流換熱，而且研究表明熱水器內(nèi)水的溫差通常不超過10K，因此密度也可以用Boussineseq模型以提高收斂性。
展開 肖特賽絢?α助攻vivo X90系列，見證世界杯精彩時刻！
其X90和X90 Pro手機(jī)不僅有蔡司影像加持，同時它的正面蓋板均使用了肖特最新一代賽絢?α鋰鋁硼硅(LABS)高性能抗跌落蓋板玻璃，為手機(jī)提供強(qiáng)大的保護(hù)。
堅不可摧的“守門者”
肖特集團(tuán)的創(chuàng)始人奧托·肖特首創(chuàng)了將鋰元素添加到玻璃成分中，最終帶來了特種玻璃的問世。
在整機(jī)摔落實驗中，肖特的工作人員模擬了配有賽絢?α蓋板玻璃的手機(jī)從3個高度分別跌落：褲兜高度、人耳高度、甚至高于頭頂?shù)母叨葋頊y試其性能。
測試結(jié)果顯示與市場上領(lǐng)先的蓋板玻璃相比，肖特賽絢?α蓋板玻璃在粗糙堅硬地面上的抗跌落破損性能提升了100%。賽絢?α的抗跌落破損性能是鋰鋁硅(LAS)玻璃高度的兩倍，其能夠承受跌落帶來的強(qiáng)烈沖擊，尤其在粗糙的表面上表現(xiàn)更為優(yōu)異。
而耐刮擦性能測試表明，賽絢?α在遇到尖銳物碰撞時，比常見的鋁硅(AS)和鋰鋁硅(LAS)蓋板玻璃更加耐受刮擦。
賽絢?α將鋰鋁硅(LAS)玻璃的化學(xué)韌性、硼硅玻璃的耐刮擦性以及微晶玻璃的堅固結(jié)構(gòu)特性成功地結(jié)合起來，再度引領(lǐng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
憑借出色的蔡司影像系統(tǒng)和肖特最新的特種玻璃技術(shù)，vivo X90系列延續(xù)了兩家公司共同創(chuàng)始人“耶拿三杰”（奧托·肖特、卡爾·蔡司和恩斯特·阿貝）對玻璃的熱愛，致力于為中國客戶提供優(yōu)質(zhì)的創(chuàng)新型解決方案。
以Together精神共創(chuàng)未來
除vivo X90系列外，肖特和vivo多年來一直保持著密切合作的伙伴關(guān)系，其vivo X系列等高端機(jī)型均采用了肖特賽絢?系列蓋板玻璃。在2021年底，vivo就已成為全球首家采用肖特賽絢?α蓋板玻璃的智能手機(jī)制造商，而肖特也多次榮獲vivo優(yōu)質(zhì)供應(yīng)商獎。
展開 
玩轉(zhuǎn)陶瓷材料_精細(xì)陶瓷之電子陶瓷篇
圖 5: 壓電陶瓷是機(jī)械能 - 電場的交替作用，因此用途極為廣泛；電致變形與變形發(fā)電是這種陶瓷的有趣功能
光電：光電效應(yīng)最常用的透光的玻璃，但是別看玻璃只有透光，包含抗UV穿透、濾光、抗高溫、高強(qiáng)度，玻璃的種類又是一門單獨的材料課程，舉例來說：普通的鈉玻璃 ( 切斷面有綠色的 )、耐高溫的高硼硅玻璃和石英玻璃 ( 切斷面就是無色 )、藍(lán)寶石基板 ( 氧化鋁剛玉 )、玻璃陶瓷 ( 康寧玻璃的產(chǎn)品 )，另外電致變色陶瓷玻璃也很有趣，在玻璃的表面鍍上一層氧化鎢薄膜并使其構(gòu)成回路就可以透過電流控制其穿透性，光致變色玻璃則是因為UV光照射使其立刻反應(yīng)變深色，用在太陽眼鏡上的傳統(tǒng)民生產(chǎn)品很普遍。
小結(jié)
利用電流對材料施加產(chǎn)生的功能利用，在中文的上位名詞稱之為電致 (Electro induced) 效應(yīng)，在金屬材料最容易看到電致發(fā)熱 ( 因電阻而成為加熱作用 )、電致發(fā)光 ( 鎢燈絲 )，而在陶瓷材料的電致性能則更為豐富，甚至是可逆的 ( 例如壓電陶瓷是電致變形，可逆則成為變形發(fā)電 )，電致變色、電致變磁、電致變?nèi)莸鹊龋祟惖闹腔廴X自造物者的恩惠，妥善應(yīng)用身邊的資源成為可用的元器件，造福人群也能發(fā)財，真是有趣的技術(shù) !! ■
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展開 納米氧化鈰對玻璃性能的影響
3.氧化鈰（VK-Ce01/VK-Ce02）的澄清作用 氧化鈰為變價氧化物，在高溫下分解放出氧氣促進(jìn)玻璃液中氣泡長大，使氣泡上升排出玻璃液，可作為高溫澄清劑使用，研究顯示了一種多元高效澄清劑，其主要成份為二氧化鈰、五價砷銻氧化物( 其中五價砷含量約為2% ～ 2.5%) 、三氧化二鋁、氧化鈣、二氧化硅等，它具有高溫分解的特點，經(jīng)測試，其分解溫度為 1220℃，隨著溫度的升高，分解逐步加劇 至1420℃ 結(jié)束，該分解溫度剛好與玻璃的熔融溫度同步，在此熔融溫度下，二氧化鈰與五價砷銻氧化物同步分解，釋放出大量的 O2，因此，多元高效澄清劑具有優(yōu)異的澄清作用。
二，氧化鈰（VK-Ce01/VK-Ce02）在玻璃中的紫外線吸收作用
一般認(rèn)為無色透明玻璃在紫外區(qū)的吸收，是由于一定能量的光子激發(fā)氧離子的電子到高能級所致。玻璃的紫外吸收與堿金屬鹵化物晶體在遠(yuǎn)紫外的吸收屬于同一機(jī)理，即吸收是陰離子的價電子受激發(fā)的結(jié)果。凡是能量大于( 或波長小于) 吸收極限波長的光都能把陰離子上的價電子數(shù)激發(fā)到激發(fā)態(tài)(或?qū)? ，故全部吸收。而能量小于( 或波長大于) 吸收極限波長的光，由于能量小，不足以激發(fā)價電子，故全部透過。傳統(tǒng)的具有防紫外線輻射功能的無色透明玻璃一般采用在鈉鈣硅玻璃中加入二氧化鈰（VK-Ce01/VK-Ce02）作為紫外線吸收劑，添加量控制在 0.2% ～0.5%(質(zhì)量分?jǐn)?shù))之間。Ce4 +在紫外區(qū)域的特性吸收為 240nm，Ce3 +為314nm，這一性質(zhì)首先應(yīng)用于生產(chǎn)克羅克賽(Crookes)玻璃，以增強(qiáng)玻璃的紫外吸收，達(dá)到保護(hù)眼睛的作用。CeO2在紫外吸收玻殼中的應(yīng)用，在普通的鈉硼硅玻璃配方中加入CeO2，通過調(diào)整玻璃配方和工藝條件，制得了紫外透過率小于50%的玻殼，CeO2的加入量在0.065%～0.075% 范圍內(nèi)玻殼的性能最佳。
展開 會制冷、能保冷的神奇玻璃杯！不用冰塊，也能讓你冰爽暢飲！
為了讓玻璃層間那獨特的凝液體達(dá)到最佳效果，一般要將杯子在冰箱冷凍室內(nèi)冷凍2-4小時，當(dāng)制冷劑出現(xiàn)凍結(jié)，從冰箱中取出，然后再將酒體緩緩注入杯內(nèi)，等待3分鐘左右即可飲用了。正常環(huán)境下，冰鎮(zhèn)效果可持續(xù)一小時左右。
此時，你不用再添加冰塊就能長時間讓酒水冰涼了，這就免去了冰塊融化的尷尬，在保持口感的同時，順從你的心意反復(fù)冷凍。
朋友們可能會有疑問，在冰箱中長久的冷凍，再拿出來倒水什么的不會出現(xiàn)炸裂的情況吧？這點你大可放心，因為杯子使用的玻璃可不是一般的玻璃。其是采用優(yōu)質(zhì)高硼硅玻璃材質(zhì)制成的，不僅質(zhì)地通透，壁厚纖薄精致，而且具有硬度高，抗酸堿，耐高溫等特點。
據(jù)相關(guān)實驗數(shù)據(jù)表明，這款杯子的玻璃可耐熱至攝氏180度、耐冷至零下20度，能夠承受攝氏120度內(nèi)的瞬間溫差。這相比普通鈉鈣玻璃偏厚偏重，不耐瞬間溫差的劣勢，優(yōu)勢明顯！
并且 THAT 冰鎮(zhèn)杯采用的這種玻璃材質(zhì)即使不小心撞裂，也不會產(chǎn)生大量的小碎片，方便清潔更安全。此外，它的表面光滑不易卡垢，不吸附異味，清潔保養(yǎng)也是很容易的。
THAT 奇想冰鎮(zhèn)杯也因此通過了 SGS 國際認(rèn)證，符合美國 FDA、德國 LFGB 食品容器安全標(biāo)準(zhǔn)，讓使用者更加放心。
不得不說，幸福就是天冷的時候，有人給你泡一杯熱茶；天熱的時候，隨時隨地都能來一杯清涼冰爽的冷飲！有了這個 THAT 奇想冰鎮(zhèn)杯，從此就不用擔(dān)心擼串沒有冰啤酒喝啦！
展開 汽車內(nèi)外飾氙燈老化試驗標(biāo)準(zhǔn)（SAE J2527和SAE J2412）解讀
舊的以硬件為基礎(chǔ)的測試標(biāo)準(zhǔn)中，其光學(xué)過濾器要求“石英內(nèi)過濾器和S型硼硅玻璃外過濾器”。測試標(biāo)準(zhǔn)中指定使用某一商標(biāo)名稱的過濾器可能使得購買過濾器更容易，但是它沒有描述特殊型號過濾器產(chǎn)生的光譜。在新的以性能為基礎(chǔ)的測試標(biāo)準(zhǔn)中，光學(xué)過濾器的商標(biāo)名稱被刪除，取而代之的是對所需光譜功率分布(SPD)的敘述。
Mater.綜述：傳統(tǒng)玻璃表面上的石墨烯CVD生長方法和機(jī)理
等離子體增強(qiáng)CVD（PECVD）技術(shù)則可以實現(xiàn)玻璃襯底上石墨烯的低溫生長。最后從大規(guī)模生產(chǎn)“超級石墨烯玻璃”的角度討論，未來實際應(yīng)用中面臨的挑戰(zhàn)。
【圖文導(dǎo)讀】
1、石墨烯在玻璃上生長的技術(shù)挑戰(zhàn)
圖1 石墨烯生長的示意圖
Cu（111）（a）和石英玻璃（b）上石墨烯生長的示意圖。
石墨烯在Cu上生長的基本步驟包括金屬催化的CH4分解、Cu上碳原子的快速遷移，能壘為≈0.06eV，石墨烯在Cu缺陷和晶界處成核，以及Cu原子催化的疇區(qū)擴(kuò)展生長。對于石墨烯在玻璃表面上的生長，基本步驟包括CH4分子的熱分解，碳原子在玻璃表面的緩慢遷移，能壘為≈1.0 eV，通過C—O鍵合實現(xiàn)石墨烯成核，以及石墨烯邊緣的直接生長拼接。
2、石墨烯在耐高溫玻璃上的生長
2-1 常壓CVD方法
圖2 石墨烯在耐高溫玻璃上的直接APCVD生長
a）硼硅玻璃在石墨烯生長之前（最左側(cè)）和之后的照片，CH4流速分別為2和7.5 sccm（Ar / H2：100 / 50 sccm，1000℃，2小時）；
b）在不同類型的耐高溫玻璃上生長的石墨烯的典型拉曼光譜（Ar / H2 / CH4：100/50/ 6.3sccm，在1000℃下2小時）；
c）石英玻璃上生長的石墨烯薄膜的光學(xué)透過率光譜，在550nm下的光學(xué)透過率為96.3％；
d）玻璃上直接生長的石墨烯薄膜的TEM圖像，其為單層、雙層和三層石墨烯的混合膜；
e）不同生長溫度下，藍(lán)寶石玻璃上生長的石墨烯薄膜的拉曼光譜。
展開 陳文：孤獨有很多種，你屬于哪一種？
漫步杯除了保溫杯之外，也推出了玻璃杯版本。它有一個很好聽的名字，叫夏日漫步杯。
杯體采用高硼硅玻璃，這種玻璃耐溫差，冷熱水切換注入也不會開裂，非常安全。
我們再給它配上一個非常鮮艷的硅膠防滑墊，防燙防滑。杯蓋采用磁吸滑塊，平時做一杯醇香的奶茶或者是解膩可口的果汁檸檬茶，拿在手上或者放在車?yán)镛k公室里都非常不錯。
夏天使用這款產(chǎn)品會給人很涼快的感覺，它的名字就叫夏日漫步。希望給大家的炎熱夏季帶來一絲清爽。
這款夏日漫步我們也采用了很多顏色。諸如夏日橙，綠色，咖啡色。
我們的孤獨感并不是那么的抑郁，我們也不希望那么抑郁。
我們希望把我們的感覺做得讓你感覺到清爽，但又不是過于熱鬧，讓你感覺到這種舒適感很重要，它一定是有顏色的，它不是黑白灰，除了前面我們在探索未知，我們要讓生命變得更加有趣。
四、我的主張和態(tài)度
前面我們說讓生命變得更有趣，另一個就是我的主張和態(tài)度，我會從頭到尾圍繞我們的品牌去入手，講我們的所思以及所得，也希望能得到你們的共鳴，如果得到你們的共鳴，我覺得我們就成功了。
很多人看過《小王子》，這個童話里有太多的關(guān)于成人的思考。依照這個故事藍(lán)本，我們做了這樣兩個角色的設(shè)計：
一個宇航員跨越星際，跨越銀河來到他心愛的人的身邊。
借助小王子與玫瑰花的概念，我們跟漫步杯結(jié)合起來，推出了一款情侶杯。
很多人說這太適合異地戀的朋友了，你一只我一只，大家可能因為現(xiàn)實原因沒法在一起，但心是連在一起的，這款杯子叫星際之戀限量版，非常的浪漫。
展開 PVD鍍膜應(yīng)用市場不斷擴(kuò)增，至2025年國內(nèi)市場規(guī)模CAGR 13%
PVD鍍膜技術(shù)在顯示及觸控領(lǐng)域的應(yīng)用主要包括TFT-LCD及AMOLED的薄膜沉積制程、導(dǎo)電膜玻璃、導(dǎo)電薄膜、先進(jìn)顯示以及特種顯示等其他領(lǐng)域。
在顯示產(chǎn)品領(lǐng)域，PVD鍍膜技術(shù)用于在TFT玻璃上濺鍍ITO膜層，再進(jìn)行后續(xù)的曝光、刻蝕等制程后在TFT玻璃上形成設(shè)計好的ITO電極圖形。PVD鍍膜技術(shù)應(yīng)用在TFT-LCD、AMOLED的TFT薄膜沉積制程，是制備顯示產(chǎn)品的核心工藝。
導(dǎo)電膜玻璃是一種既透明又導(dǎo)電的玻璃，它是在鈉鈣基或硅硼基玻璃的基礎(chǔ)上，采用PVD鍍膜技術(shù)，濺射氧化銦錫(ITO)導(dǎo)電薄膜鍍層并經(jīng)高溫退火處理得到的高技術(shù)產(chǎn)品，廣泛地應(yīng)用于液晶顯示器、觸摸屏、太陽能電池、集成電路、特殊功能窗口涂層等領(lǐng)域。
導(dǎo)電薄膜是采用磁控濺射方法，在透明有機(jī)薄膜材料上濺射透明氧化銦錫(ITO)導(dǎo)電薄膜鍍層并經(jīng)高溫退火處理所得，具有高導(dǎo)電率、高可見光透過率、高機(jī)械硬度和良好的化學(xué)穩(wěn)定性，是液晶顯示器、電致發(fā)光顯示器、觸摸屏、太陽能電池以及其他電子儀表的透明電極最常用的薄膜材料。在導(dǎo)電薄膜上濺鍍一層薄銅，更可增加電的傳導(dǎo)性并提升觸控的靈敏性，有利于窄邊框或無邊框顯示產(chǎn)品的設(shè)計。
導(dǎo)電膜玻璃及導(dǎo)電薄膜是PVD鍍膜技術(shù)在顯示及觸控領(lǐng)域的代表性應(yīng)用形式，包括Mini/Micro LED在內(nèi)的LED芯片制程中同樣需要PVD技術(shù)的應(yīng)用，尤其是以AR/VR為代表的新型顯示行業(yè)也正在成為PVD鍍膜技術(shù)的重要新興市場，高附加值的新興應(yīng)用領(lǐng)域或?qū)⒊蔀镻VD鍍膜產(chǎn)業(yè)的又一增長點。
PVD鍍膜技術(shù)還應(yīng)用在電磁屏蔽、AR光學(xué)鍍膜等方向。目前空間電磁環(huán)境日趨復(fù)雜化，為滿足光學(xué)器件屏蔽電磁波的要求，在PET柔性基底上采用磁控濺射法制備金屬網(wǎng)格電磁屏蔽膜。
展開 
一篇文章讀懂低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）
7.LPCVD在半導(dǎo)體行業(yè)中的具體應(yīng)用
LPCVD廣泛用于二氧化硅（LTO TEOS）、氮化硅（低應(yīng)力）（Si3N4）、多晶硅（LP-POLY）、磷硅玻璃（BSG）、硼磷硅玻璃(BPSG)、摻雜多晶硅、石墨烯、碳納米管等多種薄膜。
7.1低壓化學(xué)氣相淀積——Si3N4
LP Si3N4在工藝中主要作為局部氧化的掩蔽膜， 電容的介質(zhì)膜等。CMOS工藝常用的隔離技術(shù)就是LOCOS（硅的選擇氧化），它以氮化硅為掩膜實現(xiàn)了硅的選擇氧化，在這種工藝中除了形成有源晶體管的區(qū)域外，其他所有重?fù)诫s硅區(qū)上均生長一層厚的氧化層，該厚氧化層通常稱為場氧。工藝中通常使用的氣體是：NH3+ DCS（SiH2Cl2）。這兩種氣體的反應(yīng)生成的Si3N4質(zhì)量高，副產(chǎn)物少，膜厚均勻性極佳，而且是氣體源便于精確控制流量，是目前國內(nèi)外普遍采用的主流方法。反應(yīng)式為：
3SiH2Cl2 + 4NH3 = Si3N4 + 6HCl + 6H2
NH3在過量的情況下，HCl與NH3繼續(xù)反應(yīng)：
HCl+ NH3 = NH4Cl
合并為：10NH3+ 3SiH2Cl2 = Si3N4 + 6H2 + 6NH4Cl
7.2低壓淀積多晶硅——LP-POLY
隨著集成電路的發(fā)展，多晶的應(yīng)用也越來越廣，如用于差值氧化以簡化工藝流程；用于負(fù)載電阻以縮小電路單元等等 。
展開 芯片制造的核心工藝：一文看懂薄膜沉積
SiO2可以通入硅烷與氧氣制備，也可以通入TEOS（Si(OC2H5)4，四乙氧基硅烷）與氧氣/臭氧制備，TEOS-SiO2的薄膜性能更好；而在SiO2中摻入雜質(zhì)可以形成例如對特定離子更好的隔離效果、使薄膜具備更好的填孔能力等特性，常見的如在SiO2中摻入磷雜質(zhì)形成磷硅玻璃（Phospho-silicate Glass，PSG）或者同時摻入磷雜質(zhì)和硼雜質(zhì)形成硼磷硅玻璃（Boro-phospho-silicate Glass，BPSG），一般用于金屬前介質(zhì)層（Pre-metal dielectric，PMD）；也可以摻入N元素形成氮氧化物，可用于柵氧化層、硬掩膜、抗反射涂層等；
②SiN/Si3N4：絕緣性能好，用于鈍化層、刻蝕停止層、硬掩膜、側(cè)墻等工藝。Si3N4的特點是相較SiO2的結(jié)構(gòu)更致密、化學(xué)穩(wěn)定性高，因此更適合用于鈍化層和刻蝕停止層等用于掩蔽離子擴(kuò)散，制備難點在于顆粒的控制；但Si3N4的介電常數(shù)很高，一般不作為層間介質(zhì)（intern-metal dielectric，ILD），否則會導(dǎo)致導(dǎo)體之間產(chǎn)生大的電容；
③低介電常數(shù)（k）介質(zhì)：在后段PMD中用來替代傳統(tǒng)SiO2。后段金屬層級金屬層間介質(zhì)中，電路導(dǎo)線電阻用R表示，寄生電容用C表示，由于R與導(dǎo)體的橫截面積呈反比，C與電容極板的距離呈反比，因此隨著制程微縮，布線之間的距離減小，電容與電阻均變大，產(chǎn)生RC信號延遲造成信號失真，影響芯片工作速度。
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