激光超聲檢測(cè)的ansys的案例
COMSOL激光超聲案例
0、研究背景
激光超聲是一種非接觸,高精度,無(wú)損傷的新型超聲檢測(cè)技術(shù)。它利用激光脈沖在被檢測(cè)工件中激發(fā)超聲波,并用激光束探測(cè)超聲波的傳播,從而獲取工件信息，比如工件厚度、內(nèi)部及表面缺陷，材料參數(shù)等等。
本案例主要研究激光作用在物體表面上的熱彈效應(yīng)。即在較低的吸收率下，表面吸收的熱量不超過(guò)物質(zhì)融化溫度，產(chǎn)生的是短時(shí)膨脹過(guò)程，與該膨脹相關(guān)的應(yīng)力波絕大部分在彈性范圍內(nèi)。
1、模型介紹
本模型為一塊矩形鋁板（長(zhǎng)×寬：5mm×3mm），選擇2d、固體傳熱、固體力學(xué)、多物理場(chǎng)模塊為熱膨脹和溫度耦合。具體如下圖所示，其中固定溫度為室溫。
2、熱通量定義
熱通量是關(guān)于時(shí)間和位置的函數(shù)。
位置函數(shù)：
時(shí)間函數(shù)：
熱通量：an3(x,t)=an1(x)*an2(t)
3、結(jié)果分析
熱膨脹引起的振動(dòng)
熱膨脹引起的振動(dòng)（高程顯示）
從結(jié)果來(lái)看，熱應(yīng)力引起的波可以看到橫波和縱波的存在。總感覺(jué)這個(gè)模型有說(shuō)不出來(lái)的問(wèn)題，大家可以一起討論下，以此來(lái)進(jìn)一步完善模型。
歡迎大家隨時(shí)交流：
展開(kāi) 超聲輔助激光熔覆數(shù)值仿真
超聲輔助激光熔覆利用高能超聲波在熔體中產(chǎn)生的非線性效應(yīng)，如超聲空化和聲流效應(yīng)等，來(lái)改善熔池內(nèi)增強(qiáng)體與熔體的潤(rùn)濕性，促使增強(qiáng)體在熔體中均勻分布。同時(shí)，聲流攪拌作用將空化效應(yīng)產(chǎn)生的晶核擴(kuò)散至整個(gè)熔池中，有效提高了形核率，均化了溫度梯度和成分分布，降低了偏析程度。這種結(jié)合了激光熔覆和超聲振動(dòng)的技術(shù)，可以提高熔覆層的質(zhì)量和性能。
本案例展示了超聲輔助下激光熔覆的動(dòng)態(tài)過(guò)程，仿真結(jié)果如圖所示：
該仿真模型考慮了溫度場(chǎng)+流場(chǎng)+超聲場(chǎng)+動(dòng)網(wǎng)格技術(shù)，感興趣的朋友，歡迎交流合作！
Wabtec原奧林巴斯超聲相控陣無(wú)損檢測(cè)解決方案
在工業(yè)無(wú)損檢測(cè)（NDT）的宏大版圖中，如何在不破壞材料結(jié)構(gòu)的前提下，精準(zhǔn)洞察內(nèi)部微觀缺陷，始終是保障高端裝備制造安全的核心命題，隨著Wabtec于2025年完成對(duì)奧林巴斯檢測(cè)技術(shù)部門（原奧林巴斯科學(xué)解決方案部門）的收購(gòu)，這一領(lǐng)域的技術(shù)積淀迎來(lái)了新的整合與爆發(fā)，超聲相控陣技術(shù)，憑借超越傳統(tǒng)光學(xué)的“透視”能力，正從單一的檢測(cè)手段演變?yōu)楸Ｕ详P(guān)鍵資產(chǎn)完整性的數(shù)字化智能防線。
Wabtec原奧林巴斯：https://www.wabtecims.com.cn/
Wabtec原奧林巴斯超聲相控陣無(wú)損檢測(cè)解決方案：https://www.wabtecims.com.cn/zh/phasedarray/
聲學(xué)的智慧：從惠更斯原理到電子聚焦
超聲相控陣技術(shù)的本質(zhì)，是一場(chǎng)從“機(jī)械掃描”到“電子掃描”的跨越，不同于傳統(tǒng)超聲檢測(cè)依賴單晶片探頭進(jìn)行物理移動(dòng)，相控陣技術(shù)基于惠更斯原理，通過(guò)探頭內(nèi)部排列的多個(gè)獨(dú)立壓電晶片（陣元），利用精密的電子系統(tǒng)控制每個(gè)陣元的激發(fā)時(shí)序。
這種多晶片協(xié)同工作的機(jī)制，賦予了聲波前所未有的靈活性，系統(tǒng)可以通過(guò)精確的延時(shí)法則，實(shí)現(xiàn)聲束的電子偏轉(zhuǎn)、聚焦和掃查，這意味著，檢測(cè)人員無(wú)需頻繁更換探頭或進(jìn)行復(fù)雜的機(jī)械移動(dòng)，僅憑電子控制即可生成扇形掃描（S-Scan）圖像，這種能力不僅極大地提升了對(duì)復(fù)雜幾何形狀工件（如渦輪葉片、異形焊縫）的覆蓋效率，更通過(guò)電子聚焦功能，在特定深度優(yōu)化了聲束能量，顯著提高了信噪比和缺陷定量的精度。
算法的進(jìn)化：TFM與PCI的雙重加持
如果說(shuō)硬件是相控陣技術(shù)的骨骼，那么成像算法則是靈魂，隨著奧林巴斯等領(lǐng)軍企業(yè)的持續(xù)研發(fā)，成像技術(shù)已從基礎(chǔ)的相控陣（PA）演進(jìn)至全聚焦方式（TFM）和相位相干成像（PCI）。
展開(kāi) 內(nèi)旋轉(zhuǎn)超聲技術(shù)在換熱器管束檢測(cè)中的應(yīng)用
因此，為了保障成套生產(chǎn)裝置的安全、平穩(wěn)運(yùn)行，最主要的手段是加強(qiáng)換熱器管束腐蝕的監(jiān)測(cè)和檢測(cè)。據(jù)了解在換熱器管束腐蝕檢測(cè)應(yīng)用中常用的檢測(cè)技術(shù)有渦流檢測(cè)、磁致伸縮低頻導(dǎo)波檢測(cè)和內(nèi)旋轉(zhuǎn)超聲檢測(cè)等技術(shù)。
渦流檢測(cè)技術(shù)是換熱器管束腐蝕檢測(cè)最常用的檢測(cè)技術(shù)。渦流檢測(cè)技術(shù)一般采用內(nèi)穿過(guò)式差分探頭或/和絕對(duì)式探頭進(jìn)行檢測(cè)，渦流檢測(cè)是利用比較法，需要制作一根與被檢管子相同(同規(guī)格、同材料、同批號(hào)等)的樣管，將檢測(cè)信號(hào)與樣管的人工缺陷進(jìn)行比較才能得出實(shí)際缺陷的大致情況，而且很難判斷缺陷的種類和形狀。該技術(shù)由于受管子的電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率及管子狀況等因素的影響，很難準(zhǔn)確的獲得整個(gè)管束腐蝕缺陷的信號(hào)，故渦流檢測(cè)技術(shù)在指導(dǎo)換熱器管束是否應(yīng)當(dāng)堵管上并不理想。
磁致伸縮低頻導(dǎo)波技術(shù)應(yīng)用在換熱器管束腐蝕檢測(cè)中是最近幾年發(fā)展起來(lái)的，主要用于檢測(cè)管束金屬腐蝕損失的一種無(wú)損檢測(cè)方法。其原理是以鐵磁性材料的磁致伸縮效應(yīng)及其逆效應(yīng)為基礎(chǔ)的檢測(cè)技術(shù)，利用低頻超聲導(dǎo)波沿著換熱器管束的截面內(nèi)進(jìn)行傳播遇到的結(jié)構(gòu)特征信號(hào)或腐蝕信號(hào)反射回探頭進(jìn)行經(jīng)過(guò)處理后顯示出來(lái)，簡(jiǎn)單分析后即可快速地評(píng)估管束的腐蝕情況。與內(nèi)旋轉(zhuǎn)超聲檢測(cè)技術(shù)相比，雖然具有檢測(cè)過(guò)程簡(jiǎn)單，方便快捷，不需要耦合劑等優(yōu)點(diǎn)；但是其只能檢測(cè)鐵磁性材料，只能給出金屬腐蝕損失占管束截面的損失率，不能準(zhǔn)確地判斷腐蝕的形狀和大小，因而在換熱器管束腐蝕檢測(cè)應(yīng)用上受到限制。
內(nèi)旋轉(zhuǎn)超聲檢測(cè)技術(shù)是目前換熱器管束腐蝕檢測(cè)中應(yīng)用最廣、最為有效的一種檢測(cè)技術(shù)。在重點(diǎn)介紹內(nèi)旋轉(zhuǎn)超聲檢測(cè)技術(shù)的原理及檢測(cè)過(guò)程的基礎(chǔ)上，分析了影響該檢測(cè)技術(shù)在換熱器管束腐蝕檢測(cè)應(yīng)用中的主要原因，并提出了相應(yīng)的改進(jìn)建議。
展開(kāi) 
基于comsol的激光激發(fā)超聲裂紋探測(cè)模型 ￥2400
該技術(shù)接合了超聲檢測(cè)的高精度和光學(xué)檢測(cè)非接觸的優(yōu)點(diǎn),具有高靈敏度(亞納米級(jí)),高檢測(cè)帶寬(GHz)的優(yōu)點(diǎn)。 激光超聲檢測(cè)技術(shù)在上世紀(jì)九十年代晚期出現(xiàn)成熟的商用系統(tǒng)并最早在無(wú)縫鋼管產(chǎn)業(yè)開(kāi)始應(yīng)用。目前該技術(shù)的工業(yè)應(yīng)用已經(jīng)擴(kuò)展到激光焊接焊縫質(zhì)量在線監(jiān)控，風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片檢測(cè)，飛機(jī)機(jī)身搭接腐蝕檢測(cè)，高溫陶瓷，金屬，復(fù)合材料檢測(cè)，電子元器件/半導(dǎo)體封裝質(zhì)量檢測(cè)，各種材料涂層缺陷檢測(cè)等眾多領(lǐng)域，針對(duì)其他應(yīng)用的商用系統(tǒng)也不斷發(fā)展并走向市場(chǎng)。目前激光超聲檢測(cè)技術(shù)仍不盡成熟，針對(duì)單晶硅片等硬脆材料的檢測(cè)技術(shù)仍有待研究。<br></p><h2>工作原理</h2><p><a></a>當(dāng)激光的能量聚焦照射到彈性材料表面時(shí)，部分會(huì)轉(zhuǎn)移到材料本身并以熱能和應(yīng)力波動(dòng)能的形式表現(xiàn)出來(lái)。通過(guò)改變激發(fā)激光的幾何形狀可以控制能量在材料中的分布以及對(duì)材料的影響。激光超聲就是利用高能激光脈沖與物質(zhì)表面的瞬時(shí)熱作用，通過(guò)熱彈效應(yīng)（少數(shù)情況是熱蝕效應(yīng)）在固體表面產(chǎn)生應(yīng)變和應(yīng)力場(chǎng)，使粒子產(chǎn)生波動(dòng)，進(jìn)而在物體內(nèi)部產(chǎn)生超聲波。根據(jù)入射到物體表面激光能量的不同，激光脈沖在物體表面產(chǎn)生的這種熱效應(yīng)可分為熱彈效應(yīng)和熱蝕效應(yīng)兩種。在較低的吸收率下，表面吸收的熱量不超過(guò)其融化溫度，產(chǎn)生的是短時(shí)膨脹過(guò)程，與該膨脹相關(guān)的應(yīng)力波絕大部分在彈性范圍內(nèi)，該方式稱為<strong>熱彈效應(yīng)</strong>。在高能作用下，物體的溫度升高，超過(guò)了其蒸發(fā)溫度，產(chǎn)生燒蝕現(xiàn)象，使材料表面氣化，形成等離子體，于是有一垂直表面的反作用力作用在表面，形成彈性波源，該方式稱為<strong>熱蝕效應(yīng)</strong>。在熱彈性區(qū)，激光產(chǎn)生的應(yīng)力波大小與吸收光的能量呈正比，對(duì)于均勻能量分布，可用一維模型描述激光束在材料表面產(chǎn)生的應(yīng)力，其在材料表面產(chǎn)生的應(yīng)力-應(yīng)變與材料表面吸收的激光能量呈正比。
展開(kāi) 從零搭建Comsol 5.6版本的激光超聲仿真模型
自己搭建的Comsol 5.6版本的激光超聲仿真模型，視頻內(nèi)容詳細(xì)，歡迎觀看。
激光超聲二維位移圖如下：
激光超聲表面波波形如下：
點(diǎn)擊下方↓↓↓課程鏈接進(jìn)行觀看。
課程鏈接
Abaqus激光+橢圓超聲振動(dòng)多能場(chǎng)輔助車削案例講解
[圖片]
SiCp/Al復(fù)合材料超聲檢測(cè)中波粒相互作用的有限元研究
1 模型
SiCp/Al采用隨機(jī)多邊形顆粒模型表示，左右兩邊采用無(wú)限元邊界。
激勵(lì)源函數(shù)：
2 仿真結(jié)果
邊界條件相同的情況下，對(duì)比純Al和SiCp/Al復(fù)合材料的結(jié)果。
進(jìn)一步研究顆粒大小的影響。
激光全息無(wú)損檢測(cè)技術(shù)
在激光照射下進(jìn)行成像時(shí)，所看到的波紋圖樣在對(duì)應(yīng)與有缺陷的局部區(qū)域就會(huì)出現(xiàn)不連續(xù)的、突然的形狀變化和間距變化。根據(jù)這些條紋情況，可以分析判斷物體的內(nèi)部是否含有缺陷，以及缺陷的大小和位置。
激光全息無(wú)損檢測(cè)的特點(diǎn)
（1）激光全息無(wú)損檢測(cè)是一種干涉計(jì)量技術(shù)，其干涉計(jì)量的精度與激光波長(zhǎng)同數(shù)量級(jí)，因此，其檢測(cè)靈敏度甚高，極微小的變形都能檢驗(yàn)出來(lái)。
（2）用激光作為光源，而激光的相干長(zhǎng)度很大，因此可以檢驗(yàn)大尺寸物體，只要激光能夠充分照射到的物體表面，都能一次檢驗(yàn)完畢。
（3）對(duì)被檢對(duì)象沒(méi)有特殊要求，可以對(duì)任何材料、任意粗糙的表面進(jìn)行檢測(cè)。
（4）可借助于干涉條紋的數(shù)量和分布狀態(tài)來(lái)確定缺陷的大小、部位和深度，便于對(duì)損傷、缺陷進(jìn)行定量分析。
另外，這種檢測(cè)方法還具有非接觸檢測(cè)、直觀感強(qiáng)、檢測(cè)結(jié)果便于保存等特點(diǎn)。但是，激光全息無(wú)損檢測(cè)技術(shù)也并非萬(wàn)能，物體內(nèi)部缺陷的檢測(cè)靈敏度，取決于物體內(nèi)部的缺陷在外力作用下能否造成物體表面的相應(yīng)變形。如果物體內(nèi)部的缺陷過(guò)深或過(guò)于微小，那么，這種檢測(cè)方法就無(wú)能為力了。
展開(kāi) 激光跟蹤儀的檢測(cè)功能與應(yīng)用實(shí)例
激光跟蹤儀的檢測(cè)功能及應(yīng)用實(shí)例如下：
1、檢測(cè)功能
- 三維坐標(biāo)測(cè)量：能精確測(cè)量目標(biāo)點(diǎn)的三維坐標(biāo)，確定物體在空間中的位置和姿態(tài)，為后續(xù)的尺寸測(cè)量、形位公差檢測(cè)等提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù)。
- 尺寸測(cè)量：可測(cè)量物體的長(zhǎng)度、寬度、高度、直徑等尺寸參數(shù)，通過(guò)測(cè)量物體上多個(gè)特征點(diǎn)的坐標(biāo)，計(jì)算出相應(yīng)的尺寸值，檢測(cè)物體尺寸是否符合設(shè)計(jì)要求。
- 形位公差檢測(cè)：能檢測(cè)直線度、平面度、圓度、圓柱度、垂直度、平行度、同軸度等形位公差。如通過(guò)測(cè)量一系列點(diǎn)的坐標(biāo)，擬合出直線或平面，進(jìn)而評(píng)估直線度和平面度。
- 輪廓檢測(cè)：對(duì)物體的輪廓進(jìn)行掃描測(cè)量，獲取物體表面的點(diǎn)云數(shù)據(jù)，與設(shè)計(jì)模型對(duì)比，分析輪廓偏差，檢測(cè)物體外形是否合格。
- 動(dòng)態(tài)測(cè)量：可實(shí)時(shí)跟蹤運(yùn)動(dòng)目標(biāo)的位置和姿態(tài)變化，測(cè)量運(yùn)動(dòng)物體的速度、加速度等參數(shù)，用于監(jiān)測(cè)生產(chǎn)線上運(yùn)動(dòng)部件的運(yùn)行狀態(tài)，或?qū)C(jī)器人等運(yùn)動(dòng)設(shè)備進(jìn)行性能測(cè)試。
2、應(yīng)用實(shí)例
- 汽車制造：在汽車工裝檢測(cè)中，如某型號(hào)汽車總拼工裝定位銷位置檢測(cè)。將激光跟蹤儀布設(shè)于待測(cè)工裝周邊，用高精度靶球測(cè)量工裝基準(zhǔn)點(diǎn)數(shù)據(jù)，使跟蹤儀與工裝處于統(tǒng)一坐標(biāo)系，導(dǎo)入數(shù)模后，觸碰待測(cè)位置，跟蹤儀以高采集速率測(cè)量三維坐標(biāo)并記錄，與數(shù)模數(shù)據(jù)比對(duì)分析差值，精度優(yōu)于0.1mm，還可根據(jù)實(shí)時(shí)坐標(biāo)數(shù)據(jù)指導(dǎo)調(diào)裝。
- 軌道交通：以GTS系列激光跟蹤儀測(cè)量軌道為例，在測(cè)量約800米軌道時(shí)，將激光跟蹤儀架設(shè)在軌道上，連接電源，調(diào)整水平并建立軌道坐標(biāo)系，把反射靶標(biāo)固定在軌道檢測(cè)小車上，推動(dòng)小車用連續(xù)距離模式測(cè)量軌跡，布置轉(zhuǎn)站定位點(diǎn)并移動(dòng)跟蹤儀進(jìn)行多次轉(zhuǎn)站測(cè)量，最后將數(shù)據(jù)導(dǎo)入分析工具，數(shù)據(jù)拼接處誤差小于0.3mm。
- 船舶制造：在大型船用發(fā)電機(jī)檢測(cè)中，使用激光跟蹤儀測(cè)量永磁轉(zhuǎn)子、定子多段槽楔的直徑、圓柱度、同軸度。
展開(kāi) 近期激光雷達(dá)點(diǎn)云的3D目標(biāo)檢測(cè)方法
作者 | 黃浴@知乎
編輯 | 3D視覺(jué)工坊
來(lái)源 | https://zhuanlan.zhihu.com/p/370650927
知圈 | 進(jìn)“激光雷達(dá)社群”請(qǐng)加微信13636581676，備注激光
看到的一些近期激光雷達(dá)做目標(biāo)檢測(cè)的論文。
1 Offboard 3D Object Detection from Point Cloud Sequences, 3, 2021.
這是講自動(dòng)標(biāo)注。
3D Auto Labeling pipeline
static object auto labeling
dynamic object auto labeling
2 SIENet: Spatial Information Enhancement Network for 3D Object Detection from Point Cloud, 3, 2021.
預(yù)測(cè)前景點(diǎn)的空間形狀，提取結(jié)構(gòu)信息。
Spatial Information Enhancement Network (SIENet)
Network architecture of the HP（hybrid paradigm）-RPN
3 Back-tracing Representative Points for Voting-based 3D Object Detection in Point Clouds, 4, 2021.
展開(kāi) 
光纖激光尺實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位置控制精度檢測(cè)
激光干涉測(cè)量技術(shù)具有靈敏度高、量程大及可適應(yīng)惡劣環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)，光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義且容易溯源。中圖儀器自研的PLR3000系列光纖激光尺基于激光干涉測(cè)量原理，是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的先進(jìn)位置檢測(cè)設(shè)備，在非接觸高精度測(cè)量領(lǐng)域具有其它測(cè)量方法無(wú)可比擬的優(yōu)勢(shì)，相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，同時(shí)具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
光纖激光尺組成
光纖激光尺由激光發(fā)射裝置、干涉測(cè)量探頭、反射鏡等部分組成。
1.激光發(fā)射裝置
激光發(fā)射裝置內(nèi)置高穩(wěn)定度氦氖激光光源，穩(wěn)頻精度0.05ppm（可選0.02ppm）。通過(guò)鎧裝光纖將激光傳導(dǎo)至干涉測(cè)量探頭，實(shí)現(xiàn)熱源與測(cè)量探頭隔離。激光發(fā)射裝置內(nèi)置高精度信號(hào)處理系統(tǒng)，可直接輸出用戶可配置分辨率的實(shí)時(shí)RS422數(shù)字正交信號(hào)和正交模擬信號(hào)，還可通過(guò)USB-SDK進(jìn)行二次開(kāi)發(fā)。
2.干涉測(cè)量探頭
2.1.差分干涉（DI）探頭
差分干涉探頭輸出兩束激光（參考光和測(cè)量光），分別經(jīng)過(guò)固定平面反射鏡和移動(dòng)平面反射鏡反射，實(shí)現(xiàn)光學(xué)四倍頻，具有更高的系統(tǒng)分辨率和更小的非線性誤差。尤其適用于測(cè)量Z軸立柱與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，消除因內(nèi)壁熱漂移和立柱振動(dòng)/移動(dòng)而產(chǎn)生的誤差，是納米級(jí)精度方案首選。
展開(kāi) 光纖激光尺實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位置控制精度檢測(cè)
激光干涉測(cè)量技術(shù)具有靈敏度高、量程大及可適應(yīng)惡劣環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)，光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義且容易溯源。中圖儀器自研的PLR3000系列光纖激光尺基于激光干涉測(cè)量原理，是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的先進(jìn)位置檢測(cè)設(shè)備，在非接觸高精度測(cè)量領(lǐng)域具有其它測(cè)量方法無(wú)可比擬的優(yōu)勢(shì)，相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，同時(shí)具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
光纖激光尺組成
光纖激光尺由激光發(fā)射裝置、干涉測(cè)量探頭、反射鏡等部分組成。
1.激光發(fā)射裝置
激光發(fā)射裝置內(nèi)置高穩(wěn)定度氦氖激光光源，穩(wěn)頻精度0.05ppm（可選0.02ppm）。通過(guò)鎧裝光纖將激光傳導(dǎo)至干涉測(cè)量探頭，實(shí)現(xiàn)熱源與測(cè)量探頭隔離。激光發(fā)射裝置內(nèi)置高精度信號(hào)處理系統(tǒng)，可直接輸出用戶可配置分辨率的實(shí)時(shí)RS422數(shù)字正交信號(hào)和正交模擬信號(hào)，還可通過(guò)USB-SDK進(jìn)行二次開(kāi)發(fā)。
2.干涉測(cè)量探頭
2.1.差分干涉（DI）探頭
差分干涉探頭輸出兩束激光（參考光和測(cè)量光），分別經(jīng)過(guò)固定平面反射鏡和移動(dòng)平面反射鏡反射，實(shí)現(xiàn)光學(xué)四倍頻，具有更高的系統(tǒng)分辨率和更小的非線性誤差。尤其適用于測(cè)量Z軸立柱與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，消除因內(nèi)壁熱漂移和立柱振動(dòng)/移動(dòng)而產(chǎn)生的誤差，是納米級(jí)精度方案首選。
展開(kāi) 激光干涉儀快速檢測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)垂直度
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量精度高、效率高，廣泛應(yīng)用在精密加工檢測(cè)領(lǐng)域。它與數(shù)控機(jī)床是保證工件測(cè)量與加工精度的關(guān)鍵設(shè)備。其中作為高精度的測(cè)量基準(zhǔn)，幾何誤差的快速、高精度檢測(cè)技術(shù)都是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)性能提升的關(guān)鍵。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)運(yùn)行速度的加快，動(dòng)態(tài)誤差往往會(huì)比靜態(tài)/準(zhǔn)靜態(tài)誤差對(duì)測(cè)量精度影響更大。特別在高速測(cè)量過(guò)程中，產(chǎn)生的自激振動(dòng)和受迫振動(dòng)，都會(huì)產(chǎn)生動(dòng)態(tài)誤差。激光干涉儀是常用的機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)幾何誤差檢測(cè)的手段。
其中垂直度測(cè)量是通過(guò)比較正交軸的直線度值從而確定正交軸的非直角度。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的垂直度誤差可能是導(dǎo)軌磨損、事故造成導(dǎo)軌損壞、機(jī)器地基差、正交軸上兩原點(diǎn)傳感器未準(zhǔn)直等因素造成的，垂直度誤差將對(duì)機(jī)器的定位精度及插補(bǔ)能力產(chǎn)生直接影響。SJ6000激光干涉儀以光波為載體，在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件的配合下，可實(shí)現(xiàn)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的垂直度檢測(cè)分析。
垂直度測(cè)量構(gòu)建
SJ6000激光干涉儀垂直度的測(cè)量是直線度測(cè)量在二維方向上的延伸。垂直度測(cè)量由正交軸的兩組直線度測(cè)量組成，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原為，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差=光學(xué)直角尺誤差-斜度θ1-斜度。
SJ6000激光干涉儀
垂直度測(cè)量的光路原理構(gòu)件圖
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)XY軸的垂直度測(cè)量
展開(kāi) 適合批量檢測(cè)的激光干涉儀
產(chǎn)品特點(diǎn) 1.小型、低成本、操作簡(jiǎn)單、移動(dòng)靈活、耗電量低，適合批量檢測(cè) 2.干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步，無(wú)需切換，對(duì)操作人員無(wú)專業(yè)要求。 3.加長(zhǎng)的導(dǎo)軌配合測(cè)量尺可以測(cè)試曲率半徑（102系列）
激光干涉儀及其他儀器咨詢及訂購(gòu)方式：
手機(jī)號(hào)：15051861513
微信號(hào)：13627124798
儀器參數(shù) 產(chǎn)品型號(hào)： GY-102 光束直徑： Φ100mm 波 長(zhǎng)： 632.8 標(biāo)配鏡頭： F0.7 精 度： PV λ/10 儀器尺寸： 520mm×400mm×1100mm
展開(kāi) 