功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究

摘要

高端變頻空調(diào)在實際應(yīng)用中出現(xiàn)大量外機不工作,經(jīng)過大量失效主板分析確認是主動式PFC電路中IGBT擊穿失效,本文結(jié)合大量失效品分析與電路設(shè)計分析,對IGBT失效原因及失效機理分析,分析結(jié)果表明:經(jīng)過對IGBT失效分析及IGBT工作電路失效分析及整機相關(guān)波形檢測、熱設(shè)計分析、IGBT極限參數(shù)檢測對比發(fā)現(xiàn)IGBT失效由多種原因?qū)е?,IGBT在器件選型、器件可靠性、閂鎖效應(yīng)、驅(qū)動控制、ESD能力等方面存在不足,逐一分析論證后從IGBT本身及電路設(shè)計方面全部提升IGBT工作可靠性。

關(guān)鍵詞:主動式PFC升壓電路,IGBT,SOA,閂鎖效應(yīng),ESD,熱擊穿失效



作者:黎長源、項永金、王少輝,格力電器(合肥)有限公司


IGBT(絕緣柵雙極型晶體管)是由BJT(雙極型三極管)和MOS(絕緣柵型場效應(yīng)管)組成的復(fù)合全控型電壓驅(qū)動式功率半導(dǎo)體器件,兼有MOSFET的高輸入阻抗和GTR的低導(dǎo)通壓降兩方面優(yōu)點。IGBT綜合了以上兩種器件的優(yōu)點,耐高壓、驅(qū)動功率小而飽和壓降低、開關(guān)速度快、開關(guān)損耗小,非常適合應(yīng)用于直流電壓為600V及以上的變流系統(tǒng),如交流電機、開關(guān)電源、照明電路、牽引傳動。目前IGBT是綠色經(jīng)濟領(lǐng)域里的核心技術(shù)之一,規(guī)范應(yīng)用于在航空航天、新能源、軌道交通、工業(yè)變頻、智能電網(wǎng)等領(lǐng)域。IGBT作為自動控制和功率變換的關(guān)鍵核心部件,是必不可少的功率“核芯”。采用IGBT 進行功率變換,能夠提高用電效率,提升用電質(zhì)量,實現(xiàn)30%~40%的節(jié)能效果。即使對傳統(tǒng)設(shè)備進行IGBT技術(shù)改造,平均節(jié)電率仍可提升20%。此外,IGBT還是實現(xiàn)能源轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵元件,光伏發(fā)電、風(fēng)力發(fā)電、太陽能發(fā)電等新能源都要借助IGBT產(chǎn)品將電能輸送到電網(wǎng)中[1-4]。


1 分析與生效機理研究

1.1 失效器件無損檢測分析


1.1.1 X-ray透射分析

失效IGBT表面無損傷,萬用表測試1、2、3腳互相短路,X光透射內(nèi)部IGBT芯片金線焊接等無異常,片芯表面有燒毀點(圖1),分析內(nèi)部過電損傷導(dǎo)致失效。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖1

圖1 IGBT X光透射圖片

1.1.2 開封解析

對主板失效IGBT進行開封解析,內(nèi)部片芯表面有擊穿燒痕跡,IGBT失效均為有源區(qū)(active area)受到高能量損壞,分析主要為過電擊穿失效,如表1所示。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖2

1.1.3 IGBT結(jié)構(gòu)描述

絕緣柵雙極性晶體管IGBT等效電路如圖2所示。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖3

圖2 IGBT結(jié)構(gòu)描述

1.1.4 失效IGBT應(yīng)用電路

如圖3, 紅框部分為PFC電路整流濾波部分,C401電容具有濾波和抑制EMI作用,PFC主電路部分由PFC電感L3、IGBT及快恢復(fù)二極管D901組成。當(dāng)IGBT閉合時電感L3充能,IGBT斷開時電感L3釋放電能。IGBT應(yīng)用電路結(jié)構(gòu)圖如圖3所示。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖4

圖3 IGBT應(yīng)用電路


2 失效原因及失效機理分析

經(jīng)過對失效IGBT器件ESD能力檢測、極限參數(shù)測試分析(極限耐壓、SOA安全工作區(qū)、開關(guān)損耗)、應(yīng)用環(huán)境、驅(qū)動電路設(shè)計、整機工作波形分析、熱設(shè)計分析發(fā)現(xiàn)其存在眾多不足,總結(jié)歸納如下。1)IGBT柵極ESD水平低,經(jīng)過對IGBT柵極ESD水平測試,ST IGBT柵極ESD水平平均在3400V,最低只有2900V, 生產(chǎn)過程易出現(xiàn)靜電放電損傷IGBT。ST IGBT與Renesas、Farichild( 編者注:2016年被安森美收購)靜電能力測試對比結(jié)果如表2。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖5

2)IGBT超出絕對最大值發(fā)生過電壓事件(RBSOA安全工作區(qū))、閂鎖效應(yīng)導(dǎo)致IGBT失效問題,經(jīng)過分析與廠家測試有關(guān),廠家測試標(biāo)準(zhǔn)較為寬松,對于離散在邊緣位置的一部分物料沒有有效篩選剔除,在過負荷環(huán)境,在電源質(zhì)量差環(huán)境易出現(xiàn)IGBT閂鎖效應(yīng)導(dǎo)致?lián)舸┱ㄊ?,廠家在片芯測試環(huán)節(jié)沒有實施片芯閂鎖效應(yīng)測試篩選。

3)IGBT應(yīng)用電路設(shè)計存在缺陷,在特殊條件下檢測有負壓存在,在PFC電路中若IGBT兩端存在負壓沒有二極管續(xù)流會損傷IGBT,導(dǎo)致?lián)舸┦А?/span>

4)IGBT柵極耐壓測試發(fā)現(xiàn)IGBT及2個廠家驅(qū)動芯片存在差異,東芝IGBT柵極極限耐壓在25~27V,ST IGBT柵極極限耐壓在24V,TC4427驅(qū)動芯片極限耐壓23V,IR4427驅(qū)動芯片極限耐壓25~27V。TC4427 IGBT驅(qū)動芯片耐壓偏低,低于實際應(yīng)用24V穩(wěn)壓二極管工作電壓,當(dāng)柵極電壓存在突變波動時,過壓沖擊將TC4427芯片擊穿,導(dǎo)致24V穩(wěn)壓二極管實際上沒有工作電壓。穩(wěn)壓二極管選型不合理,需降低穩(wěn)壓二極管耐壓水平。TC4427 IGBT驅(qū)動芯片極限耐壓水平在22V,測試數(shù)據(jù)如表3。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖6

IGBT驅(qū)動電路穩(wěn)壓管選型為24V,在TC4427的引腳Vout上會出現(xiàn)瞬態(tài)大電壓,在空調(diào)機組關(guān)閉的瞬間,實際檢測IGBT驅(qū)動波形發(fā)現(xiàn)最大脈沖電壓約為24V,比TC4427規(guī)格書中的最大值22V高出2V,脈沖電壓超過最大值,器件的可靠性或使用壽命可能受影響。穩(wěn)壓管值24V是基于保護IR4427選擇的,無法有效保護TC4427。需要改變穩(wěn)壓管值到22V下,增大穩(wěn)壓管功率,從而有效保護TC4427免受過壓沖擊損壞。IGBT柵極極限耐壓測試如圖5~圖6,可見①G-E擊穿電壓:ST 比東芝明顯偏低。②E-G 擊穿電壓:ST比東芝明顯偏低。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖7

圖5 東芝ST IGBT柵極耐壓測試對比(1)


功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖8

圖6 東芝ST IGBT柵極耐壓測試對比(2)

TC4427芯片極限電壓測試,TC4427芯片VCC測試首次出現(xiàn)擊穿拐點在18~19V,隨著施加電壓增加擊穿電壓增大,總體測試芯片擊穿電壓大致范圍在21~23V之間。

5)模塊散熱效率差,散熱器使用金屬拉絲,表面粗糙度大(0.15mm),影響模塊散熱效率,散熱器拉絲工藝外貌如圖7,需要降低粗糙度。更改散熱器銑削工藝。部分IGBT失效,通過分析為過流燒壞,進一步分析為功率器件散熱不良失效,對應(yīng)IGBT螺釘鎖緊無異常。通過對故障件上匹配的散熱器粗糙度進行檢查,確認部分使用金屬拉絲工藝散熱器表面粗糙度較差,容易導(dǎo)致IGBT工作過程中局部地區(qū)散熱效果不佳,溫度積聚升高,過熱燒毀。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖9

圖7 散熱器金屬拉絲外貌

6)IGBT銅板與散熱器電氣間隙不合格導(dǎo)致燒毀問題,經(jīng)過分析是硅膠片尺寸設(shè)計不合理,員工裝配存在差異,在硅膠片貼偏情況下,IGBT銅板與散熱器電氣出現(xiàn)間隙不合格擊穿燒毀IGBT。IGBT引腳與散熱器凸臺有一定間隙,硅膠片未能完全覆蓋,IGBT引腳與散熱器凸臺電氣間隙過小,也存在過電打火隱患。IGBT打火失效如圖8所示,需要增加硅膠片尺寸,保證有效電氣間隙。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖10

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖11

圖8 失效件IGBT打火圖片


3 IGBT工作可靠性提升方案

1)提升IGBT柵極ESD水平,由之前3400V提升至8000V?;径沤^生產(chǎn)過程ESD損傷IGBT導(dǎo)致失效問題。ST新品ESD水平測試測試數(shù)據(jù)如表4,AB兩個廠家IGBT柵極ESD測試對比數(shù)據(jù)如圖9所示。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖12

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖13

圖9 IGBT柵極ESD水平測試對比

2)實施汽車級PPAT篩選測試標(biāo)準(zhǔn),增加100%片芯閂鎖效應(yīng)測試,廠家在片芯測試(增加PPAT測試篩選VTH、BVCES、VCESAT參數(shù))環(huán)節(jié)實施片芯閂鎖效應(yīng)測試篩選。PPAT測試能夠消除任何可能離群值或鎖存弱點如圖10所示,把離散的有質(zhì)量可靠性問題物料全部剔除。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖14

圖10 片芯測試篩選標(biāo)準(zhǔn)圖

3)IGBT內(nèi)部增加5A/600V續(xù)流二極管,用于防止IGBT可能出現(xiàn)的負壓,解決IGBT反向負壓導(dǎo)致IGBT失效問題,提高IGBT在復(fù)雜環(huán)境工作的可靠性。

4)IGBT柵極驅(qū)動穩(wěn)壓二極管重新選型,將工作電壓由24V改為20V。

調(diào)整前段穩(wěn)壓二極管穩(wěn)壓值,保證工作冗余量。TC4427芯片極限工作電壓大于22V,實際測試平均工作極限耐壓值23V,IGBT驅(qū)動電路使用穩(wěn)壓二極管為24V,不能有效驅(qū)動IGBT保護電路,驅(qū)動芯片失效,導(dǎo)致IGBT擊穿失效。測試TC4427芯片(IGBT驅(qū)動芯片)各個批次的極限工作電壓大于22V(符合規(guī)格書),普遍小于24V,分析將線路設(shè)計中的24V穩(wěn)壓二極管變更成20V后,可以更好保護電路中的驅(qū)動芯片和IGBT,如圖11所示。

功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究的圖15

圖13 IGBT驅(qū)動電路圖

5)驅(qū)動芯片改為IR4427芯片,該芯片柵極耐壓相對較高,TC4427耐壓在22~23V,IR4427極限耐壓在25~27V。

6)提升散熱效率,改變散熱器加工工藝,由金屬拉絲工藝改為銑削工藝,提高散熱器裝配面的粗糙度,由0.15mm降低0.05mm,IGBT散熱效率大幅度提升。IGBT整體溫升降低5℃。

7)硅膠片尺寸加長,更改硅膠片尺寸,杜絕硅膠片尺寸過小造成的IGBT與散熱器接觸打火燒毀。比之前加長8mm,能更好包裹住IGBT本體底部及IGBT引腳,防止硅膠片與散熱器接觸出現(xiàn)漏電,以及電氣間隙不足導(dǎo)致的打火異常。

8)選取低熱阻的硅膠片,提高IGBT散熱效率,經(jīng)過對新物料IGBT溫升及散熱效率測試,可以降低溫升5℃左右。降低IGBT熱擊穿失效概率,提高IGBT工作可靠性。


4 整改總結(jié)及意義

本文結(jié)合大量失效品分析與電路設(shè)計分析,對IGBT失效原因及失效機理分析的結(jié)果表明:經(jīng)過對IGBT失效分析及IGBT工作電路失效分析及整機相關(guān)波形檢測、熱設(shè)計分析、IGBT極限參數(shù)檢測對比發(fā)現(xiàn)IGBT失效由多種原因?qū)е?,IGBT在器件選型、器件可靠性、閂鎖效應(yīng)、驅(qū)動控制、ESD能力等方面存在不足,逐一分析論證后,從IGBT本身及電路設(shè)計方面提升IGBT工作可靠性。


參考文獻

[1] 王瑞.大功率IGBT柵極驅(qū)動電路的研究[J].電氣自動化,2014(3):115-117.

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[3] 尹新.基于柵極控制的IGBT關(guān)斷過電壓研究[J].電源技術(shù),2016(3):680-683.

[4] 唐勇.高溫下的IGBT可靠性與在線評估[J].電工技術(shù)學(xué)圖13 IGBT驅(qū)動電路圖 報,2014(6):17-23.

*本文選自《電子產(chǎn)品世界》雜志2021年8月期

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