光刻技術(shù)第3期 | 光刻中的SMO技術(shù) 
圖形選擇：用測試圖形（如through pitch線寬、尖端對(duì)尖端等）結(jié)合SRAM結(jié)構(gòu)和工藝弱點(diǎn)，通過頻譜分析篩選關(guān)鍵圖形。</p><p>2. 仿真計(jì)算：建立光刻仿真條件（機(jī)臺(tái)信息、照明方式、薄膜堆棧等），開展SMO計(jì)算。</p><p>3.
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武漢二元 ??? 6月前
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