相反,光柵的表面是由周期性的微結(jié)構(gòu)組成的。為了對(duì)SRG進(jìn)行建模,需要採(cǎi)用類(lèi)似傅里葉模態(tài)法(也叫RCWA)的算法。本文將介紹VHG的工具。關(guān)於SRG的工具,請(qǐng)參見(jiàn)知識(shí)庫(kù)文章Simulating diffraction efficiency of surface-relief grating using the RCWA method。
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w**elab86_Swsp ??? 3年前