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為了對(duì)SRG進(jìn)行建模，需要採(cǎi)用類(lèi)似傅里葉模態(tài)法（也叫RCWA）的算法。本文將介紹VHG的工具。關(guān)於SRG的工具，請(qǐng)參見(jiàn)知識(shí)庫(kù)文章Simulating diffraction efficiency of surface-relief grating using the RCWA method。耦合波理論我們來(lái)回顧一下耦合波理論，它主要用於體積全像光柵模型。