國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商進(jìn)行差異化布局,在PVD領(lǐng)域,北方華創(chuàng)是國(guó)內(nèi)第一大龍頭;在PECVD和SACVD領(lǐng)域,拓荊率先實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用;在ALD領(lǐng)域,由于ALD設(shè)備制程和工藝進(jìn)步帶來(lái)的新興市場(chǎng)增量,布局玩家較多,包括拓荊科技、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米等;在電鍍領(lǐng)域,盛美設(shè)備實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),同時(shí)LPCVD設(shè)備穩(wěn)定量產(chǎn),也在布局其他CVD設(shè)備的研發(fā);在MOCVD領(lǐng)域,中微公司10年前便開(kāi)始布局,在2018下半年,便實(shí)現(xiàn)在全球GaN