但是,對(duì)於包含 DOE 或超穎透鏡的系統(tǒng)進(jìn)行模擬和設(shè)計(jì)總是很棘手的。沒(méi)有通用的方法可以處理所有情況。設(shè)計(jì)人員需要根據(jù)具體情況決定其系統(tǒng)的策略。許多設(shè)計(jì)過(guò)程需要兩種不同的光學(xué)理論/算法來(lái)分別處理光束在自由空間和微結(jié)構(gòu)中的傳播,而其他一些過(guò)程僅使用純光線追跡來(lái)達(dá)到目標(biāo)。由於模擬技術(shù)發(fā)展迅速,因此本文可能沒(méi)有涵蓋所有可用方法。
相反,光柵的表面是由周期性的微結(jié)構(gòu)組成的。為了對(duì)SRG進(jìn)行建模,需要採(cǎi)用類(lèi)似傅里葉模態(tài)法(也叫RCWA)的算法。本文將介紹VHG的工具。關(guān)於SRG的工具,請(qǐng)參見(jiàn)知識(shí)庫(kù)文章Simulating diffraction efficiency of surface-relief grating using the RCWA method。