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UVC殺菌燈即是一種低壓汞燈，它是利用較低汞蒸氣壓( <10-2 Pa)被激化而發出紫外光，其發光譜線主要有兩條：一是253.7nm波長；另一條是185nm波長，這兩條都是肉眼看不見的C波段紫外線。 紫外消毒技術具有其他技術無可比擬的殺菌效率，殺菌效率可達99%-99.9%。而傳統臭氧等化學消毒方法要達到殺菌效果一般需要20分鐘至1個小時。

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經歷了約一個世紀的發展，實驗室光源已有封閉式碳弧燈、陽光型碳弧燈、熒光紫外燈、氙弧燈、金屬鹵素燈、高壓汞燈等各種光源供選擇。國際標準化組織(ISO）中與高分子材料相關的各技術委員會主要推薦使用陽光型碳弧燈、熒光紫外燈、氙弧燈三種光源。

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436nm和365nm光源分別是高壓汞燈中能量最高，波長最短的兩個譜線。高壓汞燈技術成熟，因此最早被用來當作光刻光源。使用波長短，能量高的光源進行光刻工藝更容易激發光化學反應、提高光刻分別率。以研究光譜而聞名的近代德國科學家約瑟夫·弗勞恩霍夫將這兩種波長的光譜分別命名為G線和I線。這也是 g-line光刻和 i-line光刻技術命名的由來。

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KrF光刻膠主要用于KrF激光光源光刻工藝，對應工藝制程在250nm-150nm；而g/i線光刻膠主要用于高壓汞燈光源的光刻工藝，對應350nm及以上工藝制程。

該數字化光場引擎包含一套由液晶顯示(LCD)裝置、MicroLED陣列、數字微鏡陣列(DMD)、硅基液晶空間光調制器(LC-LSM)等組成的數字掩模生成系統，以及一套誘發單、雙光子聚合反應的光源，如紫外激光、汞燈、LED燈、超快飛秒激光等。2)光路傳輸控制裝置。該裝置主要包含光快門、光衰減器、擴束器、勻化器、反光鏡、分束鏡等，可以調節光束的功率、光束通斷時間，并可實現能量均勻化。