橢圓偏振對小厚度變化的敏感性為了評估橢偏儀對涂層厚度即使是非常小的變化的敏感性,對10納米厚的二氧化硅層和10.1納米厚的二氧化硅膜的結果進行了比較。即使是厚度的微小變化,1埃的差異也高于普通橢圓偏振的分辨率(0.02°為??,0.1°為??*)。因此,即使是涂層中的亞納米變化也可以通過橢偏儀來測量。* 數值根據Woollam et al., Proc.
橢圓偏振對小厚度變化的敏感性為了評估橢偏儀對涂層厚度即使是非常小的變化的敏感性,對10納米厚的二氧化硅層和10.1納米厚的二氧化硅膜的結果進行了比較。即使是厚度的微小變化,1埃的差異也高于普通橢圓偏振的分辨率(0.02°為??,0.1°為??*)。因此,即使是涂層中的亞納米變化也可以通過橢偏儀來測量。* 數值根據Woollam et al., Proc.
橢圓偏振對小厚度變化的敏感性為了評估橢偏儀對涂層厚度即使是非常小的變化的敏感性,對10納米厚的二氧化硅層和10.1納米厚的二氧化硅膜的結果進行了比較。即使是厚度的微小變化,1埃的差異也高于普通橢圓偏振的分辨率(0.02°為??,0.1°為??*)。因此,即使是涂層中的亞納米變化也可以通過橢偏儀來測量。* 數值根據Woollam et al., Proc.