諾冠(IMI Norgren)的提升閥產(chǎn)品,專為應(yīng)對(duì)此類難題而生,在化學(xué)氣相沉積(CVD)或物理氣相沉積(PVD)設(shè)備中,提升閥利用獨(dú)特的“無(wú)滑動(dòng)摩擦”密封結(jié)構(gòu),極大減少了顆粒生成的風(fēng)險(xiǎn),超低內(nèi)泄漏率(通常小于0.01L/min)確保了反應(yīng)氣體的純度與工藝的一致性,無(wú)論是高純度的氮?dú)狻鍤猓€是具有腐蝕性的特種氣體,諾冠提升閥都能通過(guò)全金屬密封或高性能復(fù)合材料,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制,為芯片制造的良率保駕護(hù)航
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埃邁諾冠氣動(dòng)器材(上海)有限公司 ??? 1月前