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摘要可變角度橢圓偏振光譜儀（VASE）是一種常用的技術(shù)，由于其對(duì)光學(xué)參數(shù)的微小變化具有高靈敏度，而被用在許多使用薄膜結(jié)構(gòu)的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體、光學(xué)涂層、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、平板制造等。在本用例中，我們演示了VirtualLab Fusion中的橢圓偏振分析器在二氧化硅（SiO2）涂層上的使用。對(duì)于系統(tǒng)的參數(shù)，我們參考Woollam等人的工作 "可變角度橢圓偏振光譜儀（VASE）概述。I.

摘要 可變角度橢圓偏振光譜儀（VASE）是一種常用的技術(shù)，由于其對(duì)光學(xué)參數(shù)的微小變化具有高靈敏度，而被用在許多使用薄膜結(jié)構(gòu)的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體、光學(xué)涂層、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、平板制造等。在本用例中，我們演示了VirtualLab Fusion中的橢圓偏振分析器在二氧化硅（SiO2）涂層上的使用。對(duì)于系統(tǒng)的參數(shù)，我們參考Woollam等人的工作 "可變角度橢圓偏振光譜儀（VASE）概述。

摘要可變角度橢圓偏振光譜儀（VASE）是一種常用的技術(shù)，由于其對(duì)光學(xué)參數(shù)的微小變化具有高靈敏度，而被用在許多使用薄膜結(jié)構(gòu)的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體、光學(xué)涂層、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、平板制造等。在本用例中，我們演示了VirtualLab Fusion中的橢圓偏振分析器在二氧化硅（SiO2）涂層上的使用。對(duì)于系統(tǒng)的參數(shù)，我們參考Woollam等人的工作 "可變角度橢圓偏振光譜儀（VASE）概述。I.

摘要可變角度橢圓偏振光譜儀（VASE）是一種常用的技術(shù)，由于其對(duì)光學(xué)參數(shù)的微小變化具有高靈敏度，而被用在許多使用薄膜結(jié)構(gòu)的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體、光學(xué)涂層、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、平板制造等。在本用例中，我們演示了VirtualLab Fusion中的橢圓偏振分析器在二氧化硅（SiO2）涂層上的使用。對(duì)于系統(tǒng)的參數(shù)，我們參考Woollam等人的工作 "可變角度橢圓偏振光譜儀（VASE）概述。I.

實(shí)例系統(tǒng)請(qǐng)參閱完整的用例：SiO2涂層的可變角度橢偏光譜(VAS)分析分析器的示例輸出分析器的示例輸出——穆勒矩陣文件信息延伸閱讀SiO2涂層的可變角度橢偏光譜(VAS)分析

橢圓偏振分析器 本用例展示了橢圓偏振法的基本原理，并說(shuō)明了VirtualLab Fusion中內(nèi)置的橢圓儀分析器的使用。 SiO2涂層的可變角度光譜橢圓偏振（VASE）分析 本用例說(shuō)明了在VirtualLab Fusion中實(shí)現(xiàn)的橢圓偏振分析器在文獻(xiàn)中的使用：Woollam et al., Proc.

SiO2涂層的可變角度光譜橢圓偏振（VASE）分析本用例說(shuō)明了在VirtualLab Fusion中實(shí)現(xiàn)的橢圓偏振分析器在文獻(xiàn)中的使用：Woollam et al., Proc. SPIE 10294, 1029402 (1999).

實(shí)例系統(tǒng) 請(qǐng)參閱完整的用例： SiO2涂層的可變角度橢偏光譜(VAS)分析 分析器的示例輸出 分析器的示例輸出——穆勒矩陣 文件信息

與入射面成45°角的線(xiàn)偏振光，由一個(gè)完善的系統(tǒng)反射或透射，輸出時(shí)將保持不變。ψ將保持在45°和Δ在0°或180°之間，取決于奇偶校驗(yàn)。我們通過(guò)測(cè)量所需方向的輸出輻照度和任何正交偏振光的輸出輻照度來(lái)檢查這一點(diǎn)，并將PM定義為所需偏振模式的輻照度與總輻照度之比，其比例為0至100.0%。PM是一個(gè)可優(yōu)化的量。圖4. 115nm SiO2保護(hù)膜銀反射鏡在45°入射時(shí)的反射和反射PM。

我們通過(guò)測(cè)量所需方向的輸出輻照度和任何正交偏振光的輸出輻照度來(lái)檢查這一點(diǎn)，并將PM定義為所需偏振模式的輻照度與總輻照度之比，其比例為0至100.0%。PM是一個(gè)可優(yōu)化的量。 圖4. 115nm SiO2保護(hù)膜銀反射鏡在45°入射時(shí)的反射和反射PM。 可以在堆棧文檔或包含介質(zhì)的設(shè)計(jì)中進(jìn)行錐角光源入射計(jì)算。在這里，我們相對(duì)于入射光的軸向光線(xiàn)及其入射平面定義p和s偏振。

圖4. 115nm SiO2保護(hù)膜銀反射鏡在45°入射時(shí)的反射和反射PM。 可以在堆棧文檔或包含介質(zhì)的設(shè)計(jì)中進(jìn)行錐角光源入射計(jì)算。在這里，我們相對(duì)于入射光的軸向光線(xiàn)及其入射平面定義p和s偏振。無(wú)論偏振是什么，接收器都測(cè)量總輻照度。錐角光線(xiàn)中的偏斜光線(xiàn)具有局部入射平面，并且它們的p和s方向可以與軸向光線(xiàn)不同，從而導(dǎo)致錐體的偏振模式之間的泄漏。如圖5 圖5.

通過(guò)腳本可以繪制圓偏振片在正入射時(shí)的反射光譜，選擇波片的厚度以使目標(biāo)波長(zhǎng)為0.55μm時(shí)的反射最小，圖3中可以得到證實(shí)。反射光譜中的小波紋可以歸因于多層膜的法布里-珀羅共振。 圖 3 步驟2：角度掃描 在該步驟中，通過(guò)掃描入射角（θ和φ）來(lái)表征圓偏振器的反射特性，在幾何光學(xué)工具（如 Ansys SPEOS）中根據(jù)視角進(jìn)一步評(píng)估顯示器的性能時(shí)很有用。

摘要 消偏振分光膜是一種在特定入射角下實(shí)現(xiàn)偏振無(wú)關(guān)分光的光學(xué)薄膜。相比普通分光膜對(duì)p光和s光存在明顯的透射或反射差異，消偏振分光膜對(duì)于不同偏振態(tài)的光具有接近一致的光譜性能，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)偏振狀態(tài)不敏感的分光效果。 本案例中，成功實(shí)現(xiàn)了一種在530 nm-570 nm波長(zhǎng)、45°入射條件下具有 50:50 分束比的消偏振分光膜。

R1表示空氣/偏振器界面處的反射，R2與圓偏振器相關(guān)。在本例中我們將關(guān)注如何最小化R2，關(guān)于R1的最小化，請(qǐng)參閱原文。 為了分解R1和R2，一種方法是添加折射率為1.5的人工層，如下圖所示。 圖2 折射率1.5被選擇為接近線(xiàn)性偏振器的折射率，使得圓形偏振器在有或沒(méi)有人工層的情況下的總反射幾乎相同。

冷光鏡反射和透射光的光譜分析。請(qǐng)注意，由于膜層是0度入射，0.55um為中心波長(zhǎng)，所以在這個(gè)較大的入射角處反射較短的中心波長(zhǎng)。 圖4. 準(zhǔn)直白光束（左），透射光束（中）和反射光束（右）的彩色圖像 圖5. 圖中十字線(xiàn)表示的光束反射（左）和透射（右）分量的平均色度坐標(biāo)。通過(guò)將分析面減少到一個(gè)像素并評(píng)估其彩色圖像來(lái)確定該值。

第二個(gè)系統(tǒng)利用線(xiàn)偏振器和波片來(lái)顯示雙折射材料的波長(zhǎng)依賴(lài)性。案例FRED中可以指定幾種膜層類(lèi)型，例如采樣膜層，薄膜膜系，四分之一波長(zhǎng)單層膜層，一般采樣膜層（入射角，波長(zhǎng)和偏振相關(guān)），偏振片/波片膜層（瓊斯矩陣） 和腳本膜層。 在此案例中，使用Thin Film Layered Coating類(lèi)型（圖1）創(chuàng)建冷鏡。

第二個(gè)系統(tǒng)利用線(xiàn)偏振器和波片來(lái)顯示雙折射材料的波長(zhǎng)依賴(lài)性。案例FRED中可以指定幾種膜層類(lèi)型，例如采樣膜層，薄膜膜系，四分之一波長(zhǎng)單層膜層，一般采樣膜層（入射角，波長(zhǎng)和偏振相關(guān)），偏振片/波片膜層（瓊斯矩陣） 和腳本膜層。 在此案例中，使用Thin Film Layered Coating類(lèi)型（圖1）創(chuàng)建冷鏡。

孔徑可以是圓形、橢圓或矩形。 2. 反射鏡：可以由半徑，曲率或焦距，中心厚度，材料及圓形、橢圓或矩形外邊界和可選的中心孔進(jìn)行指定。 3. 棱鏡：多種常見(jiàn)的棱鏡類(lèi)型是可使用的，每個(gè)類(lèi)型都有自己的一組設(shè)置選項(xiàng)。 4. 自定義元件：由多個(gè)表面和曲線(xiàn)組成的自定義幾何形狀可以使用這個(gè)元件類(lèi)型。 5. 元件基元：由最小的一組參數(shù)定義常用的實(shí)體類(lèi)型。

同時(shí)OpticStudio的鍍膜數(shù)據(jù)庫(kù)包含了大量常用的膜層數(shù)據(jù)。雖然鍍膜可以用于多種不同的應(yīng)用環(huán)境，但本文將只關(guān)注鍍膜對(duì)光線(xiàn)偏振態(tài)的影響。

第二個(gè)系統(tǒng)利用線(xiàn)偏振器和波片來(lái)顯示雙折射材料的波長(zhǎng)依賴(lài)性。案例FRED中可以指定幾種膜層類(lèi)型，例如采樣膜層，薄膜膜系，四分之一波長(zhǎng)單層膜層，一般采樣膜層（入射角，波長(zhǎng)和偏振相關(guān)），偏振片/波片膜層（瓊斯矩陣） 和腳本膜層。 在此案例中，使用Thin Film Layered Coating類(lèi)型（圖1）創(chuàng)建冷鏡。