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SJ5730-100高精度粗糙度輪廓一體測量儀 SJ5730-200高精度粗糙度輪廓一體測量儀

典型應用 5、SJ5718系列——小型粗糙度輪廓測量儀 SJ5718系列小型粗糙度/輪廓測量儀大小600×350×890（mm），粗糙度模塊更適合于深孔及高精度場合，可測量各種精密機械零件的輪廓/粗糙度形狀參數。

1、節溫器內筒輪廓粗糙度檢測 2、氣門搖臂內孔粗糙度檢測 3、發動機凸輪軸輪廓尺寸及粗糙度檢測 技術參數概覽 SJ5800輪廓儀的技術參數包括但不限于測量范圍、分辨率、測量精度、移動速度、掃描速度等，均達到行業領先水平。

在精密制造領域，表面粗糙度的測量是確保產品質量的關鍵步驟。光學3D表面輪廓儀為這一需求提供了解決方案。 在半導體制造、3C電子、光學加工等高精度行業，表面粗糙度的測量精度直接影響到產品的性能和可靠性。SuperView W系列光學3D表面輪廓儀正是為了滿足這一需求而設計的。

原理與操作類 - 工作原理是什么：觸針式接觸測量原理，將很尖的觸針垂直安置在被測表面上作橫向移動，觸針隨被測表面輪廓起伏，其微小位移通過電路轉換、放大和運算處理，得到表面粗糙度和輪廓參數值。

白光干涉儀的形貌測量，以表面形貌為主，即工件某一個表面上的微觀形貌：1、微觀輪廓尺寸測量：主要是臺階高、槽深之類，涉及到最小縱向10nm量級，在驗證上可以與原子力顯微鏡、臺階儀交叉驗證。2、粗糙度測量：白光測量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm級別。面和線粗糙度測量，最高可確保0.1nm的測量可靠性，不限制材質和形狀。

再將大規模波紋以及輪廓的小波長粗糙度從較長波長中分離出來，即測量儀做電子過濾。 *測針型粗糙度測量儀特性的定義可參考ISO 3274：1996。

一般將僅能顯示表面粗糙度數值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀，同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀。這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機，它能自動計算出輪廓算術平均偏差Ra，微觀不平度十點高度Rz，輪廓*大高度Ry和其他多種評定參數，測量效率高，適用于測量Ra為0.025～6.3微米的表面粗糙度。

一般將僅能顯示表面粗糙度數值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀，同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀。這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機，它能自動計算出輪廓算術平均偏差Ra，微觀不平度十點高度Rz，輪廓*大高度Ry和其他多種評定參數，測量效率高，適用于測量Ra為0.025～6.3微米的表面粗糙度。

（2）白光干涉儀也可以測量臺階高，但更多的是測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。特別是能滿足超光滑表面所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求。

白光干涉儀以白光干涉為原理，廣泛應用于材料科學等領域，對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析，是一種常見的光學輪廓測量儀器。但是許多人對白光干涉儀的使用范圍和限制性存在疑問，本文將圍繞“白光干涉儀是否智能測量同質材料？”進行深入探討。

按照工作原理不同，可分為接觸式輪廓儀（觸針式）和光學3D表面輪廓儀（白光干涉儀）。1、接觸式輪廓儀（1）產品概述接觸式輪廓儀是測量輪廓形狀及表面粗糙度的一體機，具備分析測量輪廓形狀和表面租糙度的強大功能，實現尺寸、形狀、粗糙度三個要素的精準測量。（2）產品特點接觸式輪廓儀主要是來測工件測長寬高尺寸、角度、直徑、半徑等零件輪廓尺寸的測量，還可以進行一些形位公差的評定。

尤其在近幾年，先進節點走向10nm、7nm、5nm......白光3D輪廓測量儀適配芯片制造生產線，致力于滿足時下半導體封裝中晶圓減薄厚度、晶圓粗糙度、激光切割后槽深槽寬的測量需求，助力半導體行業發展。W1白光3D輪廓測量儀X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高、彈坑等微納米級別精度的測量。

6、SJ5730粗糙度輪廓測量一體機SJ5730粗糙度輪廓測量一體機具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測量范圍，分辨率達到0.1nm，一次掃描即可評價Ra粗糙度參數及微觀輪廓Pt參數，適合測量大曲面上的粗糙度，同時具備專業的軸承輪廓度評價功能，是大曲面測量（軸承、人工關節、精密模具、齒輪、葉片、光學鏡片）領域精細粗糙度測量的利器。

測量能力： 1.粗糙度測量范圍：SuperViewW光學3D表面輪廓儀能夠測量從超光滑表面（0.1nm粗糙度）到相對粗糙表面（1mm粗糙度）的三維形貌。 2.垂直分辨率：SuperViewW光學3D表面輪廓儀可以達到0.1nm的垂直分辨率，這對于測量光滑表面的微小高度變化至關重要。

臺階儀 臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、粗糙度等微觀形貌參數的測量。

軸承測量解決方案3 SJ5730系列粗糙度輪廓一體測量儀 納米級光學傳感器，可大量程(24mm)測量軸承圓弧溝槽表面粗糙度； 拔插式測桿、0.5mN超低測力保護工件測量面； 多方向運動軸保護措施，確保測針、保護儀器關鍵部位； 具備軸承溝道測量功能：桃形溝尺寸、圓弧溝道、油溝形狀、角度及對稱度、套圈越程槽、成品軸承外圈凹槽距離、軸承滾道與擋邊角度測量

光學 3D 表面輪廓儀能夠精確測量芯片的微觀結構，確保芯片的質量和性能符合嚴格的標準； 在機械制造領域，它可以用于檢測零部件的表面質量，為加工工藝的優化提供依據； 例如，光學 3D 表面輪廓儀通過納米傳動與掃描技術、白光干涉與高精度3D重建技術實現0.1nm級表面粗糙度測量，在光通信行業中輕松實現針對光纖端面粗糙度的測量

SuperViewW1能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。 總之，光學3D表面輪廓儀在金屬測量方面應用廣泛，可以實現非接觸式、高精度的測量。但是在測量前需要充分了解被測金屬的特性，通過合理的儀器操作和數據處理，才能得到精準的測量結果。想了解更多可咨詢中圖儀器。

彈坑深度測量 在涂層表面粗糙度和厚度的研究上，可以監測納米級結構的生長過程，為科學研究提供了更準確的測量手段。 此外，不管是從超光滑到粗糙，還是低反射率到高反射率的物體表面，光學3D表面輪廓儀都能夠以優于納米級的分辨率，自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。