布瑯軻鍶特-氣體質(zhì)量流量控制器:https://www.bronkhorst-china.com/ 從工作原理來看,氣體質(zhì)量流量控制器本質(zhì)上是質(zhì)量流量傳感器與比例控制閥的有機(jī)結(jié)合體,傳感器負(fù)責(zé)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣體質(zhì)量流量,并將數(shù)據(jù)傳輸至微處理器;微處理器將實(shí)測(cè)值與設(shè)定值進(jìn)行比對(duì),隨即驅(qū)動(dòng)控制閥進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié),以消除偏差,這一過程遵循著嚴(yán)格的物理閉環(huán)邏輯。