微環(huán)諧振腔:1) 結(jié)構概述:微環(huán)諧振器(Micro-Ring Resonator, MRR)作為典型的光學諧振器件,具有良好的波長選擇性、腔內(nèi)增強特性以及高品質(zhì)因數(shù),因此廣泛應用于光學傳感、光學濾波、激光器、調(diào)制器等領域。隨著微納加工工藝的發(fā)展,已經(jīng)實現(xiàn)了半徑為1.5μm的微環(huán)。對于激光器、調(diào)制器等有源器件而言,小的微環(huán)尺寸可實現(xiàn)小的驅(qū)動電流、高的調(diào)制頻率。
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摩爾芯創(chuàng) ??? 3月前