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光刻工藝深度研究報告
截至2020年底,公司已
申請
專利
275項,其中發明
專利
139項 。集成電路制造用高端光刻膠項目是2020年內公司研發投入的重點項目之一。 公司穩步推進光刻膠項目,部分產品已取得優異的線外測試數據 。
2557
半導體材料與工藝設備
??? 4年前
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