按照清洗原理來(lái)分,清洗工 藝可分為干法清洗和濕法清洗,目前 90%以上的清洗步驟以濕法工藝為主。在濕法清洗工藝路線 下,主要包括單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、組合式清洗設(shè)備和批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備等,其中 以單片清洗設(shè)備為主流。Screen 為全球清洗設(shè)備市場(chǎng)龍頭,國(guó)內(nèi)盛美上海、芯源微等廠商加速突破。
2785
第三代半導(dǎo)體聯(lián)合創(chuàng)新孵化中心 ??? 3年前