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使用性能良好的聚光鏡、性能良好的投影透鏡和分布均勻的光源，臨界照明可以實現非常好的效果。科勒照明系統科勒照明是一種典型的用于非均勻光源的照明系統，典型的非均勻光源如燈絲和燈泡。臨界照明系統的限制是照明均勻性依賴于光源中間像面的均勻性，任何不均勻都會直接反映在最終成像效果上，而科勒照明則在聚光鏡和投影鏡上都使用完全散焦的圖像。

如上圖所示，整體裝置是一個科勒照明系統，其中有一個聚光元件能夠將非相干光源的光進入轉像透鏡的孔徑中。在一個經典的科勒照明系統中，點光源通過一個聚光鏡成像在轉像系統的光瞳中。光源照亮物體掩膜面，并在最后的成像面上得到適當的放大。為了對光束合理采樣，光源放在物的共軛點處，這樣在光源面上，點光源將是有一定維度的，而不是像理想點光源那樣，會引起混沌。對一個具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。

如上圖所示，整體裝置是一個科勒照明系統，其中有一個聚光元件能夠將非相干光源的光進入轉像透鏡的孔徑中。在一個經典的科勒照明系統中，點光源通過一個聚光鏡成像在轉像系統的光瞳中。光源照亮物體掩膜面，并在最后的成像面上得到適當的放大。為了對光束合理采樣，光源放在物的共軛點處，這樣在光源面上，點光源將是有一定維度的，而不是像理想點光源那樣，會引起混沌。對一個具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。

如上圖所示，整體裝置是一個科勒照明系統，其中有一個聚光元件能夠將非相干光源的光進入轉像透鏡的孔徑中。在一個經典的科勒照明系統中，點光源通過一個聚光鏡成像在轉像系統的光瞳中。光源照亮物體掩膜面，并在最后的成像面上得到適當的放大。為了對光束合理采樣，光源放在物的共軛點處，這樣在光源面上，點光源將是有一定維度的，而不是像理想點光源那樣，會引起混沌。對一個具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。

儀器構造相關 1、白光干涉儀主要由哪些部分構成：主要由光源及科勒照明系統、成像系統、圖像采集系統、垂直掃描系統、調整系統、干涉物鏡等組成。其中，干涉物鏡是核心組件，SuperViewW白光干涉儀不通倍率的鏡頭，適應于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。 2、各部分的作用是什么： （1）光源及科勒照明系統：提供穩定的白光源，并使光線均勻照亮被測物體。

實例：科勒照明18. 轉換為非序列模式19. 黑盒系統20. OpticStudio 中的優化工具21. 尋找最佳非球面 / 轉換非球面類型22. 公差分析簡介23. 制造誤差和裝配誤差24. 公差評價標準25. 靈敏度 / 反靈敏度 / 蒙特卡羅分析26. 公差補償器27. 公差操作數28. 公差示例：對單透鏡 / 庫克三片鏡進行公差分析29.

如圖1所示，整體結構是一個科勒照明系統。一個聚光元件將非相干光源傳遞到轉像透鏡的入瞳處。非相干光源照亮物體掩膜面，并在最后的像面上得到適當放大的像。為了對光束合理采樣，光源放在物體掩膜的共軛面處，以便光源具有一定的尺寸，而不是理想點光源。對于具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。當光源大到可以填滿轉像透鏡入瞳時，其所成的像就將是非相干的。

如圖1所示，整體結構是一個科勒照明系統。一個聚光元件將非相干光源傳遞到轉像透鏡的入瞳處。非相干光源照亮物體掩膜面，并在最后的像面上得到適當放大的像。為了對光束合理采樣，光源放在物體掩膜的共軛面處，以便光源具有一定的尺寸，而不是理想點光源。對于具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。當光源大到可以填滿轉像透鏡入瞳時，其所成的像就將是非相干的。

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6、投影系統設計：經典科勒照明系統優化設計，包含成像鏡頭轉投影鏡頭方法，聚光系統優化設計，系統組合優化方法等。 7、公差方面：全面系統地描述各種公差來源、公差分析流程及技巧、分布特征，公差操作數設置，補償器設置，公差分析方法（敏感度或反敏感度），簡單光學系統及復雜系統公差分析。

· 優化· 局部/全局/錘形優化/優化操作數· 局部/全局/錘形優化/優化操作數· 熱分析· 二元面及衍射光學表面· 鬼像及雜散光分析· 調制傳遞函數和成像質量評估· 調制傳遞函數和成像質量評估· OpticStudio 中的坐標系統· 坐標間斷面及其使用技巧· 序列模式中的棱鏡模型第二天· 實例：掃描振鏡· 實例：科勒照明

如圖1所示，整體結構是一個科勒照明系統。一個聚光元件將非相干光源傳遞到轉像透鏡的入瞳處。非相干光源照亮物體掩膜面，并在最后的像面上得到適當放大的像。為了對光束合理采樣，光源放在物體掩膜的共軛面處，以便光源具有一定的尺寸，而不是理想點光源。對于具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。當光源大到可以填滿轉像透鏡入瞳時，其所成的像就將是非相干的。

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