3、PVD北方華創(chuàng)磁控濺射技術(shù)屬于PVD(物理氣相沉積)技術(shù)的一種,是制備薄膜材料的重要方法之一。它是利用帶電荷的粒子在電場(chǎng)中加速后具有一定動(dòng)能的特點(diǎn),將離子引向被濺射的物質(zhì)制成的靶電極(陰極),并將靶材原子濺射出來(lái)使其沿著一定的方向運(yùn)動(dòng)到襯底并在襯底上沉積成膜的方法。磁控濺射設(shè)備使得鍍膜厚度及均勻性可控,且制備的薄膜致密性好、粘結(jié)力強(qiáng)及純凈度高。
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半導(dǎo)體材料與工藝設(shè)備 ??? 3年前