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早期大多數研究機構主要聚焦于應用微機電系統技術的新型裝置的原理論證與闡述，而成功從概念性設計到實現成熟產品的技術則較少．文獻[ 13 ]報道了美國噴氣推進實驗室(jet propulsion laboratory，JPL)微機電系統技術小組的相關項目研究進展．