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線鋸切割以鋼線做刃具，主要分為游離磨料（砂漿線切割）和固結(jié)磨料切割（金剛石線鋸切割技術(shù)）兩類。目前，碳化硅晶棒的切割技術(shù)有：金剛石線切割（固結(jié)磨料線鋸切割）、砂漿線切割（游離磨料線鋸切割）、激光切割。線鋸切割技術(shù)成熟，是主流切割技術(shù)。高鳥家為砂漿線切割工藝，此次研發(fā)的多線切割設(shè)備（Multi Wire Saw）可以從直徑為10吋的硅棒（Ingot）上同時(shí)切割出多片晶圓。

氮化硅磨介圈相對(duì)氮化硅陶瓷磨介球，氮化硅陶瓷磨介球研磨粉體是點(diǎn)切割，氮化硅磨介圈研磨粉體是線切割，線切割比點(diǎn)切割研磨效率高，氮化硅磨介圈線切割比點(diǎn)切割研磨粉體粒徑分布窄, 粉體粒度形體更整齊,研磨效率也更高。

冷卻后，使用線切割放電或金剛石切割工具將磁鐵加工成所需形狀，并在電鍍前進(jìn)行清潔和干燥，以防腐蝕。鍍層釹會(huì)腐蝕，因此為防止腐蝕，磁體上有鍍層，大多數(shù)釹磁鐵都是先鍍上一層鎳，然后再鍍上一層銅，最后再鍍上一層鎳，也可以根據(jù)具體要求，使用其他專業(yè)鍍層及涂層。

國內(nèi)切割環(huán)節(jié)主要用固結(jié)磨料多線切割。由于碳化硅硬度高、脆性大、化學(xué)性 質(zhì)穩(wěn)定，無法使用傳統(tǒng)鋸切工具。國內(nèi)目前最多使用固結(jié)磨料多線切割法來加工， 將金剛石磨料固結(jié)在金屬絲上，隨鋸絲運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)磨粒的鋸切加工。目前國內(nèi)外正在 研究激光切割、冷分離和電火花切片等技術(shù)。 研磨主要是為了去除晶片切割后表面的缺陷，并達(dá)到預(yù)定厚度，同時(shí)將晶片的 翹曲、彎曲、總厚度變化、表面粗糙度降至最小。

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