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T型槽地軌的出現，恰好破解了這一痛點，它以模塊化拼接的靈活特性，將分散的工裝構件整合為可按需定制的多功能工作臺，讓偌大車間的每一寸空間都能得到有效利用，成為工業生產中的“空間魔術手”。 T型槽地軌，又稱地梁、地槽鐵，本質上是一種經精加工的條形鑄鐵構件，核心特征是工作面加工有標準T型凹槽，這一設計既是其區別于傳統工裝的關鍵，也是實現多功能拼接的核心支撐。

2016年中芯國際（天津）公布T2/T3產線擴產計劃，其中T2/T3產線計劃分別新增0.18um的 9萬片/月的8寸產能和90nm 的1萬片/月的12寸產能。經測算，T2產線每1萬片/月8寸產能分別需要9.9臺CVD和4.8臺PVD，T3產線每1萬片/月12寸產能分別需要42臺CVD和24臺PVD（折合1萬片/月8寸產能分別需要18.6臺CVD和10.6臺PVD）。