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測(cè)量需求圓柱滾子軸承由軸承滾道與圓柱滾子等部分組成，通過(guò)滾子在軸承滾道的運(yùn)動(dòng)完成對(duì)應(yīng)工作。測(cè)量需求主要包括：1、測(cè)量軸承滾道錐面直線度與粗糙度；2、測(cè)量圓柱滾子不同位置的凸度、滾子素線、對(duì)稱性等。解決方案使用SJ5730高精度粗糙度輪廓一體測(cè)量儀與配套軟件測(cè)量軸承滾道，在行業(yè)內(nèi)創(chuàng)新性地實(shí)現(xiàn)“一次測(cè)量掃描后，在同一個(gè)界面顯示粗糙度評(píng)價(jià)結(jié)果與輪廓分析結(jié)果”。

超智能的非球面光學(xué)軟件分析系統(tǒng)，專業(yè)定制的非球面測(cè)量軟件系統(tǒng)，非球面全參數(shù)都能測(cè)量。

Abaqus隨機(jī)高度表面粗糙度 ANSYS隨機(jī)表面高度模型 COMSOL隨機(jī)表面生成表面粗糙度模型 插件生成的隨機(jī)粗糙度表面模型對(duì)有限元計(jì)算提供完美支持，以下為COMSOL中生成隨機(jī)表面進(jìn)行達(dá)西滲流流速模型。

測(cè)量能力： 1.表面粗糙度分析：能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過(guò)計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等數(shù)十項(xiàng)參數(shù)。 2.臺(tái)階高度與薄膜測(cè)量范圍：能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度。

6、SJ5730粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī)SJ5730粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī)具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到0.1nm，一次掃描即可評(píng)價(jià)Ra粗糙度參數(shù)及微觀輪廓Pt參數(shù)，適合測(cè)量大曲面上的粗糙度，同時(shí)具備專業(yè)的軸承輪廓度評(píng)價(jià)功能，是大曲面測(cè)量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、光學(xué)鏡片）領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測(cè)量的利器。

1、表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能； 2、自動(dòng)拼接功能：能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量； 3、一體化操作的測(cè)量與分析軟件：預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能； 4、數(shù)據(jù)處理功能：調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊； 5、五大分析功能：粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析

其中表面形貌的3D測(cè)量，包括了輪廓的測(cè)量以及表面粗糙度的測(cè)量，是微納結(jié)構(gòu)測(cè)量最為基礎(chǔ)和重要的項(xiàng)目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量方法分為接觸式和非接觸式。運(yùn)用非接觸式測(cè)量技術(shù)的3D光學(xué)檢測(cè)儀器，大多是基于光學(xué)方法（干涉顯微法、自動(dòng)聚焦法、激光干涉法、光學(xué)顯微干涉法等），可對(duì)精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實(shí)現(xiàn)微納級(jí)測(cè)量，在微納米結(jié)構(gòu)檢測(cè)中有著重要意義。

它是以白光干涉技術(shù)為原理，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

本文原刊登于Ansys.com：《Analyzing Noise, Vibration, and Harshness With Ansys Motor-CAD NVH Tuning》作者： Shi-Uk Chung | Ansys 高級(jí)應(yīng)用工程師編輯整理：王楊 | Ansys 主任應(yīng)用工程師噪聲、振動(dòng)和聲振粗糙度（NVH）是電機(jī)設(shè)計(jì)與性能的關(guān)鍵因素。

噪聲、振動(dòng)和聲振粗糙度（NVH）是電機(jī)設(shè)計(jì)與性能的關(guān)鍵因素。過(guò)高的NVH會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品壽命縮短、維護(hù)成本增加和客戶滿意度下降。因此，在設(shè)計(jì)階段早期解決NVH挑戰(zhàn)至關(guān)重要，以避免設(shè)計(jì)階段后期出現(xiàn)重大NVH問(wèn)題。電機(jī)NVH分析本質(zhì)上是一個(gè)結(jié)合了電磁和機(jī)械分析的、復(fù)雜的多物理場(chǎng)問(wèn)題——因?yàn)殡姍C(jī)NVH問(wèn)題通常源于電磁力與結(jié)構(gòu)組件（如定子）之間的相互作用。

參數(shù)測(cè)量功能1）臺(tái)階高度：能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料；2）粗糙度與波紋度：能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過(guò)計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項(xiàng)參數(shù)；3）翹曲與形狀：能夠測(cè)量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中

2、共聚焦顯微鏡技術(shù)：適用于微觀形貌和輪廓尺寸的檢測(cè)，能夠在納米到微米級(jí)別測(cè)量工件的粗糙度、平整度等。 考慮設(shè)備的功能與性能 在選擇測(cè)量設(shè)備時(shí)，需要考慮設(shè)備的功能是否滿足測(cè)量需求，以及設(shè)備的性能指標(biāo)是否達(dá)到工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。如： 1、VX8000系列閃測(cè)儀 - 適用于快速精準(zhǔn)測(cè)量，特別適合CNC模式下的批量測(cè)量。

因此，高分辨率分析表面形貌對(duì)確定表面粗糙度、反光特性、摩擦學(xué)性能及表面質(zhì)量等相關(guān)參數(shù)具有重要意義。共焦技術(shù)能夠測(cè)量各種表面反射特性的材料并獲得有效的測(cè)量數(shù)據(jù)。以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡，是用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。

，因?yàn)樵摲椒ㄍ耆裾諊?guó)際ISO和美國(guó)ANSI Y14.5標(biāo)準(zhǔn)對(duì)GD&T評(píng)價(jià)的定義。

軸承測(cè)量解決方案3 SJ5730系列粗糙度輪廓一體測(cè)量儀 納米級(jí)光學(xué)傳感器，可大量程(24mm)測(cè)量軸承圓弧溝槽表面粗糙度； 拔插式測(cè)桿、0.5mN超低測(cè)力保護(hù)工件測(cè)量面； 多方向運(yùn)動(dòng)軸保護(hù)措施，確保測(cè)針、保護(hù)儀器關(guān)鍵部位； 具備軸承溝道測(cè)量功能：桃形溝尺寸、圓弧溝道、油溝形狀、角度及對(duì)稱度、套圈越程槽、成品軸承外圈凹槽距離、軸承滾道與擋邊角度測(cè)量

在精密制造領(lǐng)域，表面粗糙度的測(cè)量是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵步驟。光學(xué)3D表面輪廓儀為這一需求提供了解決方案。 在半導(dǎo)體制造、3C電子、光學(xué)加工等高精度行業(yè)，表面粗糙度的測(cè)量精度直接影響到產(chǎn)品的性能和可靠性。SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀正是為了滿足這一需求而設(shè)計(jì)的。

- 軟件維護(hù)：定期更新測(cè)量機(jī)的操作軟件，確保軟件的功能正常，并且能夠兼容新的測(cè)量任務(wù)和數(shù)據(jù)格式。同時(shí)，對(duì)軟件中的測(cè)量程序和數(shù)據(jù)進(jìn)行備份，防止數(shù)據(jù)丟失。 - 環(huán)境維護(hù)：保持測(cè)量環(huán)境的穩(wěn)定，包括溫度、濕度和潔凈度。如果有條件，可以安裝空調(diào)、除濕機(jī)和空氣凈化器等設(shè)備來(lái)控制環(huán)境條件。

Z 軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器以及軟件 ZSTOP 防撞保護(hù)功能，為精密的測(cè)量過(guò)程提供了雙重保障，讓用戶在進(jìn)行半導(dǎo)體制造的高精度測(cè)量時(shí)多一重安心。 （2）光學(xué)加工：用于光學(xué)鏡片、透鏡、棱鏡等光學(xué)元件的表面形貌測(cè)量和質(zhì)量檢測(cè)。可以測(cè)量光學(xué)元件的表面粗糙度、曲率半徑、面形精度等參數(shù)，幫助優(yōu)化光學(xué)加工工藝，提高光學(xué)元件的質(zhì)量。

3、粗糙度輪廓儀 SJ57系列粗糙度輪廓儀一體機(jī)一次測(cè)量同時(shí)評(píng)定輪廓和粗糙度參數(shù)。SJ5730具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，分辨率高達(dá)0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。納米級(jí)大量程粗糙度測(cè)量，高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性特點(diǎn)，是大曲面測(cè)量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測(cè)量的利器。

表面粗糙度表面粗糙度是工程師在設(shè)計(jì)時(shí)可以控制的參數(shù)，以保持或破壞層流。表面越粗糙，邊界層的摩擦阻力就越大，如果剪切應(yīng)力增長(zhǎng)到足以克服粘性力，流動(dòng)就將從層流過(guò)渡到湍流。渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)壓縮機(jī)葉片的設(shè)計(jì)就是一個(gè)良好例證，其中金屬表面的粗糙度會(huì)極大地影響湍流邊界層的形成，從而影響葉片的性能。