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模板壽命低，更換成本高：不管是DUV光刻、EUV光刻還是納米壓印，最貴的耗材都是掩膜版或者壓印模板。納米壓印的模板，因?yàn)槭切枰苯咏佑|壓印膠工作的，在接觸的過程中，難免會(huì)有各種各樣的損傷或者污染，縮短模板壽命。 對(duì)準(zhǔn)復(fù)雜：壓印模板需要與承載壓印膠的基臺(tái)精確對(duì)準(zhǔn)與貼合，需要精密的機(jī)械裝置配合檢測(cè)設(shè)備實(shí)施壓印過程。然而現(xiàn)有納米壓印設(shè)備在平行與垂直對(duì)準(zhǔn)方面缺少高精密的調(diào)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)。

圖11 航電系統(tǒng)建模示意 3.3 文檔自動(dòng)生成工具 在完成了系統(tǒng)建模之后，可以借助文檔生成工具插件，基于模型數(shù)據(jù)和文檔模板生成所需要的文檔，從而減少了重復(fù)編寫文檔的工作，有效的提高效率（圖12）。