衍射光學(xué)元件(DOE, Diffractive Optical Element)是近幾年蓬勃發(fā)展的新興光學(xué)元件。衍射光學(xué)元件是通常采用微納刻蝕工藝構(gòu)成二維分布的衍射單元,每個(gè)衍射單元可以有特定的形貌、折射率等,對(duì)激光波前位相分布進(jìn)行精細(xì)調(diào)控。激光經(jīng)過每個(gè)衍射單元后發(fā)生衍射,并在一定距離(通常為無窮遠(yuǎn)或透鏡焦平面)處產(chǎn)生干涉,形成特定的光強(qiáng)分布。