SEM是掃描電鏡,英文全稱為Scanning Electron Microscope。以下是關(guān)于掃描電鏡的一些基本信息: 1、工作原理:掃描電鏡是一種利用電子束掃描樣品表面,通過(guò)檢測(cè)電子與樣品相互作用產(chǎn)生的各種信號(hào)來(lái)獲取樣品表面微觀結(jié)構(gòu)信息的電子顯微鏡。電子槍發(fā)射出的電子束,經(jīng)過(guò)電磁透鏡聚焦和加速后,形成一束高能量的細(xì)電子束,掃描線圈控制電子束在樣品表面進(jìn)行逐行掃描。