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噪音分析
8893
2
70
鄭鈞 Adam
??? 6年前
帖子
ZEMAX軟件技術(shù)應(yīng)用專題:利用Kogelnik方法模擬體積全像光柵的繞射效率
為了對VHG進(jìn)行建模,需要使用高效的Kogelnik理論或嚴(yán)格
耦合
波分析(RCWA)等算法。 圖1(a)所示的SRG,可以通過幾種方法製造,如電子束寫入,光刻,納米
壓
印,或鑽石車削。與VHG不同,SRG沒有空間變化的折射率。相反,光柵的表面是由周期性的微
結(jié)
構(gòu)
組成的。為了對SRG進(jìn)行建模,需要採用類似傅里葉模態(tài)法(也叫RCWA)的算法。本文將介紹VHG的工具。
2122
w**elab86_Swsp
??? 3年前
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