comsol雙層薄膜非線性電容式壓力傳感器分析
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電容式壓力傳感器(capacitive type pressure transducer),是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關系的電量輸出的壓力傳感器。特點是,輸入能量低,高動態響應,自然效應小,環境適應性好。
它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極,當薄膜感受壓力而變形時,薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化,通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器,可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器。
單電容式壓力傳感器
編輯它由圓形薄膜與固定電極構成。薄膜在壓力的作用下變形,從而改變電容器的容量,其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比而與薄膜的張力和薄膜到固定電極的距離成反比。另一種型式的固定電極取凹形球面狀,膜片為周邊固定的張緊平面,膜片可用塑料鍍金屬層的方法制成。這種型式適于測量低壓,并有較高過載能力。還可以采用帶活塞動極膜片制成測量高壓的單電容式壓力傳感器。這種型式可減小膜片的直接受壓面積,以便采用較薄的膜片提高靈敏度。它還與各種補償和保護部以及放大電路整體封裝在一起,以便提高抗干擾能力。這種傳感器適于測量動態高壓和對飛行器進行遙測。單電容式壓力傳感器還有傳聲器式(即話筒式)和聽診器式等型式。
器件電容值隨壓力變化 :1)第一階段壓力增大,電容平緩線性增大
2)第二階段電容陡然上升
3)第三階段電容隨壓力變化趨緩,敏感度下降趨0

器件內雙極板接觸面積隨壓力變化趨勢
雙極板位置變化

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