中國大硅片發展現狀

編者按

最近兩年,隨著國內晶圓廠的興建,終端帶動需求的增加,價格的飛漲,吸引了整個產業界對硅晶圓產業的關注。但和集成電路的其他領域一樣,中國在硅晶圓產業方面的不完善,在某種程度上看來,會成為中國集成電路發展的瓶頸。有見及此,最近兩年,國內掀起了一股硅片建設潮。在本文里,楊院士給我們深入闡述了國產硅晶圓的現狀,謝謝關注。

摘要:

1)2017年全球需求:1160萬片,國內110萬片。2020年國內對12寸大硅片需求從42萬片增加到105萬片;2020年對8寸硅片需求從70萬片增加到96.5萬片。

2)硅片全球市場規模87億美元,占比31-33%,是份額最大的材料。預計到2020年,全球硅片市場規模110億美元。

3)國內規劃中的12寸大硅片合計:145萬片,覆蓋國內需求。包括:新昇30萬片,金瑞泓10萬片,中環領先15萬片,京東方30萬片,寧夏銀和10萬片,鄭州合晶20萬片,超硅30萬片。

4)國內規劃中的8寸大硅片合計:168萬片,總投資規模超過500億元,覆蓋國內需求。包括:金瑞泓40萬片(2019年),寧夏銀和25萬片(2020年),鄭州合晶20萬片(2019年),中環領先60-70萬片(2019年),安徽易芯8萬片(2018年)。

中國大硅片發展現狀的圖1

硅材料是集成電路的基礎材料,

中國大硅片發展現狀的圖2

2017年全球需求:1160萬片,國內110萬片。

中國大硅片發展現狀的圖3

12寸大硅片 預計2020年將需求將從42萬片增加到105萬片。

中國大硅片發展現狀的圖4

8寸大硅片 預計2020年將需求將從70萬片增加到96.5萬片。

中國大硅片發展現狀的圖5

硅片全球市場規模87億美元,占比31-33%,是份額最大的材料。預計到2020年,全球硅片市場規模110億美元。

中國大硅片發展現狀的圖6

多晶硅純度達到9-11N,10億個硅原子中只能有一個雜志原子;

目前國際通用技術分為兩種:改良西門子工藝和硅烷工藝。

中國大硅片發展現狀的圖7

全球多晶硅2007-2017年增長了10倍,增加的主要是光伏多晶硅。2017年占比54.8%,其中江蘇中能(協鑫)生產7.5萬噸,全球占比23%。

中國大硅片發展現狀的圖8

IC用大硅片,低端的電子級高純多晶硅,黃河水電產能1250噸,實際銷售200噸。

中國大硅片發展現狀的圖9

2017年,12寸占比63%,8寸占比27%,6寸占比10%。

中國大硅片發展現狀的圖10

2006-2010年全球硅片增長很緩慢,2017年開始需求快速增長,硅片價格也開始上升態勢。硅片缺口一直會延續到2020年,硅片短缺將成為未來兩年的常態。

中國大硅片發展現狀的圖11

高度壟斷市場:硅片生產企業由幾百家縮減到現在的幾十家。前5家占比94%。目前能夠供應12寸硅片不足10家。

中國大硅片發展現狀的圖12

02專項支持下,上海新昇,設計產能:拋光、外延片產能10萬/月。

有研半導體:檢測國內第一條中試線,5萬片/月產能拋光片。

金瑞泓:月產能10萬片/月產能拋光片。

中國大硅片發展現狀的圖13

8寸,拋光片產能15萬/月,生產廠商:金瑞泓(10萬片)、有研(5萬片);外延片產能15萬/片,生產企業:金瑞泓、新傲、國盛電子、普興電子。

中國大硅片發展現狀的圖14

光伏用直拉單晶硅:隆基和中環產能65Gw,占全球比重較大。

中國大硅片發展現狀的圖15

中國大硅片發展現狀的圖16

中國大硅片發展現狀的圖17

中國大硅片發展現狀的圖18

12寸單晶生長,需要用磁場,抑制生長時的擾動。

中國大硅片發展現狀的圖19

中國大硅片發展現狀的圖20

45nm芯片上有缺陷,會導致漏電現象。

中國大硅片發展現狀的圖21

中國大硅片發展現狀的圖22

中國大硅片發展現狀的圖23

中國大硅片發展現狀的圖24

中國大硅片發展現狀的圖25

全球90%直拉硅采用摻氮的工藝,理論為浙江大學首次提出。

中國大硅片發展現狀的圖26

中國大硅片發展現狀的圖27

中國大硅片發展現狀的圖28

中國大硅片發展現狀的圖29

中國大硅片發展現狀的圖30

中國大硅片發展現狀的圖31

國內規劃中的12寸大硅片合計:145萬片,覆蓋國內需求。包括:新昇30萬片,金瑞泓10萬片,中環領先15萬片,京東方30萬片,寧夏銀和10萬片,鄭州合晶20萬片,超硅30萬片。

中國大硅片發展現狀的圖32

國內規劃中的8寸大硅片合計:168萬片,總投資規模超過500億元,覆蓋國內需求。包括:金瑞泓40萬片(2019年),寧夏銀和25萬片(2020年),鄭州合晶20萬片(2019年),中環領先60-70萬片(2019年),安徽易芯8萬片(2018年)。

中國大硅片發展現狀的圖33

中國大硅片發展現狀的圖34

來源:本文內容來自中科院院士楊德仁先生在2018中國集成電路產業發展研討會上的演講,由「中銀機械」整理

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