VisualDOC工程應(yīng)用[2]——化學(xué)汽相沉積反應(yīng)器的優(yōu)化
瀏覽：418711
化學(xué)汽相沉積反應(yīng)器的優(yōu)化
采用VisualDOC和CFDRC軟件尋找最優(yōu)的反應(yīng)器形狀，使其汽相沉積層盡可能與薄層隔板一致，且盡可能達(dá)到預(yù)定的厚度
優(yōu)化后的形狀 H2質(zhì)量百分比云圖
薄層隔板上的Si沉積曲線
VisualDOC用于優(yōu)化反應(yīng)器形狀，以得到更薄的均衡沉積層直至預(yù)定目標(biāo)厚度。
技術(shù)鄰APP
工程師必備
工程師必備
- 項(xiàng)目客服
- 培訓(xùn)客服
- 平臺(tái)客服
TOP
