應(yīng)用：

高聚物材料表面清洗與改性

產(chǎn)品特性：

本品采用遠(yuǎn)程微波等離子體（Remote Microwave Plasma），等離子體產(chǎn)生效率高，樣品處理均勻；

真空系統(tǒng)采用2XZ-2型旋片真空泵，極限真空6×10－2帕；

2～4路氣體輸入，1路或2路進(jìn)入微波等離子體源處形成遠(yuǎn)程等離子體進(jìn)入反應(yīng)室，另外的氣路由反應(yīng)室內(nèi)頂部（樣品臺上方）呈環(huán)形均流輸入；可用氮?dú)?、氧氣、氦氣和大氣等常用氣體；流量控制可用玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)或者M(jìn)FC；