本案例分析了一種長條型的石英微振器，主要用于硅MENS諧振器。案例論文主要介紹了如何實現諧振器的低熱敏性。熱敏性的計算基于有限元軟件Samcef及Oofelie，利用這兩個軟件的聯合能夠計算出諧振器的機熱耦合及壓電特性。

  論文題目：

Multiphysical Finite Element Modeling of a Quartz Micro-Resonator Thermal Sensitivity

Multiphysical Finite Element Modeling of a Quartz.pdf