[VirtualLab] 用于光學檢測的斐索干涉儀
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摘要
斐索干涉儀是工業(yè)上常見的光學計量設備，通常用于高精度測試光學表面的質(zhì)量。在VirtualLab Fusion中通道配置的幫助下，我們建立了一個Fizeau干涉儀，并將其用于測試不同的光學表面，例如圓柱形和球形表面。結(jié)果表明，表面輪廓對干涉條紋的產(chǎn)生是敏感的。
![[VirtualLab] 用于光學檢測的斐索干涉儀的圖1](https://q2.itc.cn/images01/20260408/a52c15d869894638ada9df5387d72d0c.png)
建模任務
![[VirtualLab] 用于光學檢測的斐索干涉儀的圖2](https://q1.itc.cn/images01/20260408/77708a7322454b48b27564388dc73ffd.png)
測試表面
![[VirtualLab] 用于光學檢測的斐索干涉儀的圖3](https://q4.itc.cn/images01/20260408/701e9c666dc743449f0755fa32de2a8b.png)
非序列追跡
![[VirtualLab] 用于光學檢測的斐索干涉儀的圖4](https://q4.itc.cn/images01/20260408/05f7ad3cae094a128ef109760cd6f122.png)
通用探測器和探測器附加組件
![[VirtualLab] 用于光學檢測的斐索干涉儀的圖5](https://q2.itc.cn/images01/20260408/9ff65ed9b1ab437783c30d808a4327a3.png)
總結(jié)-組件…
![[VirtualLab] 用于光學檢測的斐索干涉儀的圖6](https://q9.itc.cn/images01/20260408/401c9a4462214b9f83f5a5030f69d27a.png)
![[VirtualLab] 用于光學檢測的斐索干涉儀的圖7](https://q1.itc.cn/images01/20260408/c19e4b1e53564de6a74f659b1ffe2fba.png)
觀測下的傾斜平面
![[VirtualLab] 用于光學檢測的斐索干涉儀的圖8](https://q6.itc.cn/images01/20260408/2c71e819e6ed49079b6878732acb22ab.png)
被觀測圓柱面
![[VirtualLab] 用于光學檢測的斐索干涉儀的圖9](https://q0.itc.cn/images01/20260408/bb669ec8322d42e68d4c54e442bc9d64.png)
被觀測球面
![[VirtualLab] 用于光學檢測的斐索干涉儀的圖10](https://q5.itc.cn/images01/20260408/59bdc5237b194a5da22253a102bb9352.png)
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