TRCX應用:顯示面板工藝裕量分析

制造顯示面板的主要挑戰之一是研究由工藝余量引起的主要因素,如CD余量,掩膜錯位和厚度變化。TRCX提供批量模擬和綜合結果,包括分布式計算環境中的寄生電容分析,以改善顯示器的電光特性并最大限度地減少缺陷。

TRCX應用:顯示面板工藝裕量分析的圖1

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