[VirtualLab] 共聚焦掃描顯微鏡的工作原理
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摘要
![[VirtualLab] 共聚焦掃描顯微鏡的工作原理的圖1](https://q5.itc.cn/images01/20260209/295a9fb752954191a0421a5fd917804c.png)
共聚焦掃描顯微鏡在 1950 年代由 M. L. Minsky 發明并獲得專利，后來又以采用激光作為光源的新穎性獲得了廣泛的應用。 通過使用空間針孔來阻擋從焦平面外散射或反射的光，有助于提高縱向分辨率和對比度。 在本例中，我們在VirtualLab Fusion 中構建了一個共聚焦掃描顯微鏡，并使用具有交替脊和凹槽的金屬光柵作為測試對象來演示其工作原理。
建模任務
共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的，它如何檢測物體橫向位移導致的功率變化？
![[VirtualLab] 共聚焦掃描顯微鏡的工作原理的圖2](https://q9.itc.cn/images01/20260209/eb07a09da18f4909b1ebd4a04a7ee758.png)
焦點區域的探測場
![[VirtualLab] 共聚焦掃描顯微鏡的工作原理的圖3](https://q4.itc.cn/images01/20260209/97f2ec60e52848b1bcfa6fb85d130fdf.png)
測試對象的直接反射
![[VirtualLab] 共聚焦掃描顯微鏡的工作原理的圖4](https://q0.itc.cn/images01/20260209/5fe7579a82fd4576ac5371719d521ba9.png)
測試對象的直接反射
![[VirtualLab] 共聚焦掃描顯微鏡的工作原理的圖5](https://q6.itc.cn/images01/20260209/1a8adc051a9f4edeb2eb31b031ef5064.png)
測試對象的像
![[VirtualLab] 共聚焦掃描顯微鏡的工作原理的圖6](https://q2.itc.cn/images01/20260209/067a848c6ee041429584b54793782cae.png)
測試對象的像
![[VirtualLab] 共聚焦掃描顯微鏡的工作原理的圖7](https://q0.itc.cn/images01/20260209/855dc7a570a14b24b86afc99cbb84658.png)
功率測量與測試對象的橫向偏移
![[VirtualLab] 共聚焦掃描顯微鏡的工作原理的圖8](https://q3.itc.cn/images01/20260209/d46c6a286462493999aebd6a9e30ccc9.png)
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