高數值孔徑物鏡廣泛用于光學光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應。

 

摘要

?接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統進行模擬。

?樣品系統預設為包含高數值孔徑物鏡。

概覽

 

如何計算包含矢量效應的焦點的強度分布？

如何進行整個系統的光線追跡分析？

 

沿x方向線偏振

光斑直徑： 3mm

波長 2.08 nm

入射平面波